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公开(公告)号：CN1156738C
公开(公告)日：2004-07-07
申请号：CN00801645.3
申请日：2000-07-27
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 饭田精一 , 东京毅力科创株式会社
Abstract: 在利用节流孔的压力式流量控制装置上，一面进行流体的流量控制，一面简便地检测节流孔的堵塞的方法。即在将上游侧压力Pi保持在下游侧压力P2的约2倍以上，按QC＝KP1(K为常数)计算下游侧流量QS，根据该计算流量QC与设定流量Qs的差信号Qy对控制阀CV进行开闭控制的流量控制装置FCS中，由另外设置的检定回路或流量设定回路向控制阀CV输出具有检定振幅VO的检定用信号ΔQS，测定应答该控制阀CV的开闭而产生的上游侧压力P1的脉动压力ΔP1的压力振幅V，当该压力振幅V小于极限振幅Vt时，报知节流孔堵塞的方法。将检定用信号ΔQS叠加在正常设定流量信号QSO上向控制阀CV输出时，能一面根据正常设定流量信号QSO进行流量控制一面检知流量异常。
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公开(公告)号：CN1506607A
公开(公告)日：2004-06-23
申请号：CN03178745.2
申请日：2000-07-27
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 饭田精一 , 东京毅力科创株式会社
IPC: F17D3/00
Abstract: 一种压力式流量控制装置的流量异常检知方法，该装置由控制阀(CV)、节流孔(2)、检测控制阀(CV)与节流孔(2)之间的上游侧压力P1的压力检测器(14)、流量设定回路(32)构成，所述方法包括以下步骤：在将上游测压力P1保持为下游侧压力P2的约2倍以上的状态下，根据Qc＝KP1(K为常数)计算下游侧流量Qc，根据该计算流量Qc与设定流量Qs之差信号Qy对控制阀(CV)进行开闭控制的，由流量设定回路(32)向控制阀(CV)输出具有检定振幅V0的检定用信号ΔQs，测定应答该控制阀(CV)的开闭而产生的上游侧压力P1的脉动压力ΔP1的压力振幅V，当该压力振幅V小于极限振幅Vt时，报知节流孔堵塞。
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公开(公告)号：CN1145790C
公开(公告)日：2004-04-14
申请号：CN00801614.3
申请日：2000-08-03
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供提供一种压力检测器的安装结构，把隔膜型压力检测器组装到管路或机器等上设置的安装用具本体上时，可防止压力检测器的应力引起隔膜变形，避免组装后输出特性或温度特性较组装前的特性发生大的变动。为此，本发明为一种将具有隔膜的隔膜基座和内置有通过上述隔膜变位驱动的传感器元件的传感器基座组合并固定在一起构成的压力检测器隔以密封片地插装在安装于配管管路或机械装置上的安装用具本体的插装孔内，通过从上方向插装孔插入的推压部件，以气密状推压并固定该压力检测器，其中，推压部件与上述隔膜基座的本体部上面接触，密封片与隔膜基座的本体部下面接触，同时在上述本体部下面的与密封片接触的部位的内侧位置形成环状浅槽，推压部件推压所产生的变形由该浅槽吸收。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1320230A
公开(公告)日：2001-10-31
申请号：CN00801645.3
申请日：2000-07-27
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 饭田精一 , 东京毅力科创株式会社
Abstract: 在利用节流孔的压力式流量控制装置上,一面进行流体的流量控制,一面简便地检测节流孔的堵塞的方法。即在将上游侧压力P1保持在下游侧压力P2的约2倍以上,按Qc=KP1(K为常数)计算下游侧流量Qs,根据该计算流量Qc与设定流量Qs的差信号Qy对控制阀CV进行开闭控制的流量控制装置FCS中,由另外设置的检定回路或流量设定回路向控制阀CV输出具有检定振幅Vo的检定用信号ΔQs,测定应答该控制阀CV的开闭而产生的上游侧压力P1的脉动压力ΔP1的压力振幅V,当该压力振幅V小于极限振幅Vt时,报知节流孔堵塞的方法。将检定用信号ΔQs叠加在正常设定流量信号Qso上向控制阀CV输出时,能一面根据正常设定流量信号Qso进行流量控制一面检知流量异常。
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公开(公告)号：CN1319181A
公开(公告)日：2001-10-24
申请号：CN00801614.3
申请日：2000-08-03
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供提供一种压力检测器的安装结构,把隔膜型压力检测器组装到管路或机器等上设置的安装用具本体上时,可防止压力检测器的应力引起隔膜变形,避免组装后输出特性或温度特性较组装前的特性发生大的变动。为此,本发明为一种将具有隔膜的隔膜基座和内置有通过上述隔膜变位驱动的传感器元件的传感器基座组合并固定在一起构成的压力检测器隔以密封片地插装在安装于配管管路或机械装置上的安装用具本体的插装孔内,通过从上方向插装孔插入的推压部件,以气密状推压并固定该压力检测器,其中,推压部件与上述隔膜基座的本体部上面接触,密封片与隔膜基座的本体部下面接触,同时在上述本体部下面的与密封片接触的部位的内侧位置形成环状浅槽,推压部件推压所产生的变形由该浅槽吸收。
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公开(公告)号：CN301411498S
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN201030217460.2
申请日：2010-06-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 1.名称：晶片处理用加热器单元。2.用途：本产品是装配在对晶片进行等离子体处理的腔室内的用于处理晶片的加热器单元。如使用状态参考图所示，在腔室内与喷头相对地配置，该喷头作为电极与高频电源连接。3.设计要点：本外观设计的设计要点在于形状。4.指定图片：立体图。5.其它：后视图与主视图对称，故省略后视图。
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公开(公告)号：CN301411499S
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN201030217489.0
申请日：2010-06-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 1.名称：晶片处理用加热器单元。2.用途：本产品是装配在对晶片进行等离子体处理的腔室内的用于处理晶片的加热器单元。如使用状态参考图所示，在腔室内与喷头相对地配置，该喷头作为电极与高频电源连接。3.设计要点：本外观设计的设计要点在于形状。4.指定图片：立体图。5.其它：后视图与主视图对称，故省略后视图。
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公开(公告)号：CN301411497S
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN201030217457.0
申请日：2010-06-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 1.名称：晶片处理用加热器单元。2.用途：本产品是装配在对晶片进行等离子体处理的腔室内的用于处理晶片的加热器单元。如使用状态参考图所示，在腔室内与喷头相对地配置，该喷头作为电极与高频电源连接。3.设计要点：本外观设计的设计要点在于形状。4.指定图片：立体图。5.其它：后视图与主视图对称，故省略后视图。
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