现场光谱过程监控
    11.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110702619B

    公开(公告)日:2023-04-21

    申请号:CN201911000964.5

    申请日:2016-08-05

    Abstract: 本申请公开了现场光谱过程监控。如果在制造过程中传感器采用与流动材料一起漂浮的移动探头的形式,而不是仅当过程移动经过传感器固定位置时采样,那么增强过程监控的精确度可被改进。探头包括与流动材料密封隔离的外壳以及用于通过外壳中的窗口将光传送到流动材料上的光源。空间可变光学滤波器(SVF)捕获从流动材料返回的光,并且将捕获的光分为成分波长信号的光谱,以用于传送至探测器阵列,这提供了对于每个成分波长信号的功率读数。

    现场光谱过程监控
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110702619A

    公开(公告)日:2020-01-17

    申请号:CN201911000964.5

    申请日:2016-08-05

    Abstract: 本申请公开了现场光谱过程监控。如果在制造过程中传感器采用与流动材料一起漂浮的移动探头的形式,而不是仅当过程移动经过传感器固定位置时采样,那么增强过程监控的精确度可被改进。探头包括与流动材料密封隔离的外壳以及用于通过外壳中的窗口将光传送到流动材料上的光源。空间可变光学滤波器(SVF)捕获从流动材料返回的光,并且将捕获的光分为成分波长信号的光谱,以用于传送至探测器阵列,这提供了对于每个成分波长信号的功率读数。

    使用窄带光学滤波器的高分辨率单光电二极管光谱仪

    公开(公告)号:CN110657889A

    公开(公告)日:2020-01-07

    申请号:CN201910570183.3

    申请日:2019-06-27

    Abstract: 本申请涉及使用窄带光学滤波器的高分辨率单光电二极管光谱仪。光学设备可以包括窄带光学滤波器,该窄带光学滤波器用于接收在选定入射角下的光束,其中通过在光学设备中包括的转向元件来使该光束在选定入射角下由窄带光学滤波器接收;以及输出与光束相关联的经过滤的光束,其中经过滤的光束的波长取决于所述光束在窄带光学滤波器上的选定入射角。光学设备可以包括光电二极管以在经过滤的光束被窄带光学滤波器输出之后接收经过滤的光束的至少一部分。

    现场光谱过程监控
    14.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106442337B

    公开(公告)日:2019-11-08

    申请号:CN201610636017.5

    申请日:2016-08-05

    Abstract: 本申请公开了现场光谱过程监控。如果在制造过程中传感器采用与流动材料一起漂浮的移动探头的形式,而不是仅当过程移动经过传感器固定位置时采样,那么增强过程监控的精确度可被改进。探头包括与流动材料密封隔离的外壳以及用于通过外壳中的窗口将光传送到流动材料上的光源。空间可变光学滤波器(SVF)捕获从流动材料返回的光,并且将捕获的光分为成分波长信号的光谱,以用于传送至探测器阵列,这提供了对于每个成分波长信号的功率读数。

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