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公开(公告)号：CN103322912A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201310206690.1
申请日：2013-05-29
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明属于光学干涉检测领域，特别涉及一种反射式点衍射离轴同步移相的干涉检测装置。反射式点衍射离轴同步移相干涉检测装置，包括光源、准直扩束系统、第一偏振片、四分之一波片、第一透镜、非偏振分光棱镜、第二偏振片、平面反射镜、带有小孔的平面反射镜、第二透镜、偏振分光棱镜、图像传感器。本发明兼顾了CCD带宽利用率、CCD视场利用率、测量实时性、抗干扰能力和系统复杂性，使系统的整体性能有了提高；本发明结构简单，成本低；在操作中不需要改变光路，也不需要移动任何实验器件，操作方便灵活，稳定性高，系统复杂性低。
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公开(公告)号：CN102914259A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210371596.7
申请日：2012-09-29
Applicant: 哈尔滨工程大学
Abstract: 基于分光同步移相的干涉检测装置及检测方法，属于光学干涉检测领域，本发明为解决现有光学相移干涉检测方法操作复杂困难、测量精度低的问题。本发明方案：光源发射的光束经偏振片和准直扩束系统的准直扩束后形成线偏振光，该线偏振光通过第一偏振分光棱镜后分成物光束和参考光束；汇合于第二偏振分光棱镜的物光束和参考光束通过λ/4波片和矩形窗口后，再依次经过第一傅里叶透镜、一维周期光栅、第二傅里叶透镜、消偏振分光棱镜和四象限偏振片组后，在图像传感器平面上产生干涉图样，计算机将采集获得的干涉图样处理，获取待测物体的相位分布。
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公开(公告)号：CN102589483A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210020995.9
申请日：2012-01-10
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 反射式差动强度调制光纤角位移传感方法与装置属于光纤传感及光电检测技术；该方法将两路接收光纤和分别配置在发射光纤两侧形成两路接收光路，两路接收光路产生具有不同位相的响应信号，将不同位相的响应信号差动相减，获得响应误差信号，测量输出响应误差信号即可测出待测反射面角位移；其装置由光源、光纤耦合器、发射光纤、两路接收光纤、两路光电探测器、差动相减探测系统和显示系统构成；本发明与装置具有结构简单、灵敏度高的优点，并可抑制光源等光强波动以及探测器和后续电路产生的电子噪声影响。
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公开(公告)号：CN103217096B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201310086092.5
申请日：2013-03-18
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明属于光学干涉检测领域；本发明的光源发射的光束经偏振片、第一准直扩束系统和第一分光棱镜后，分成物光和参考光，物光依次经过第一反射镜和待测物体后，射向第二分光棱镜；参考光依次经过第二反射镜、第二准直扩束系统后，射向高通矩形光整形器，经高通矩形光整形器分成两束出射光后射向第二分光棱镜；并排汇合于第二分光棱镜的物光和参考光再依次经过矩形窗口、第一透镜、一维周期光栅和第二透镜后，射向图像传感器形成干涉图样，由与图像传感器相连的计算机采集处理完成检测；本发明只需一维光栅便可实现同步移相，同时待测物体尺寸不受测量窗口限制，具有结构简单、成本低的特点。
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公开(公告)号：CN103322912B
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201310206690.1
申请日：2013-05-29
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明属于光学干涉检测领域，特别涉及一种反射式点衍射离轴同步移相的干涉检测装置。反射式点衍射离轴同步移相干涉检测装置，包括光源、准直扩束系统、第一偏振片、四分之一波片、第一透镜、非偏振分光棱镜、第二偏振片、平面反射镜、带有小孔的平面反射镜、第二透镜、偏振分光棱镜、图像传感器。本发明兼顾了CCD带宽利用率、CCD视场利用率、测量实时性、抗干扰能力和系统复杂性，使系统的整体性能有了提高；本发明结构简单，成本低；在操作中不需要改变光路，也不需要移动任何实验器件，操作方便灵活，稳定性高，系统复杂性低。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102865811B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201210374744.0
申请日：2012-09-29
Applicant: 哈尔滨工程大学
Abstract: 基于正交双光栅的同步移相共光路干涉显微检测装置及检测方法，属于光学干涉检测技术领域。它解决了现有同步相移干涉显微检测方法中，对检测数据进行处理的过程复杂并且测量精度低的问题。它将干涉显微技术和正交双光栅共光路分光同步移相技术相结合，将准直扩束后的线偏振平行光经第一偏振分光棱镜和第二偏振分光棱镜分成物光和参考光后最终并排汇合于矩形窗口，计算机通过采集获得一幅含有四个图样的干涉图，最终根据四幅干涉图样的强度分布计算获得待测物体的相位分布。本发明适用于微小物体三维形貌和位相分布测量。
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公开(公告)号：CN102967258A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201210424240.5
申请日：2012-10-30
Applicant: 哈尔滨工程大学
Abstract: 基于同步载频移相的共光路干涉显微检测装置与方法，属于光学领域，本发明为解决现有技术的不足之处。本发明的技术方案：打开光源，使光源发射的光束经线偏振片和准直扩束系统的准直扩束后形成平行偏振光后，入射至第一分光棱镜，经第一分光棱镜反射与透射后最终分别形成参考光束和物光束汇合至矩形窗口，并排汇合于矩形窗口的参考光束和物光束再依次通过第一傅里叶透镜、一维周期光栅、第二傅里叶透镜和偏振片组，偏振片组出射的偏振光束在图像传感器平面上产生干涉图样，将计算机将采集获得的干涉图样根据矩形窗口的小窗口的尺寸分割获得两幅干涉图样，通过计算得到待测物体的相位分布。
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公开(公告)号：CN102878922A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210336467.4
申请日：2012-09-12
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 基于分光棱镜的三窗口共光路干涉检测装置及检测方法，属于干涉检测技术领域。它解决了现有干涉检测法测量精度低的问题。它采用光源、偏振片、准直扩束系统、三个λ/4波片、待测物体、矩形窗口、第一透镜、一维周期光栅、第二透镜、分光同步相移系统、图像传感器和计算机形成干涉检测装置，其中分光同步相移系统由消偏振分光棱镜和偏振片组组成，所述消偏振分光棱镜呈立方体结构；检测方法通过一次曝光采集获得待测物体的六幅干涉图，达到物体相位恢复的目的，它根据一维周期光栅引起的相移角θ，计算出待测物体的相位分布φ(x，y)，相位恢复算法简单。本发明适用于对待测物体的干涉检测。
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公开(公告)号：CN102840823A
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201210341301.1
申请日：2012-09-14
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 基于分光同步相移的共光路干涉检测装置及检测方法，属于光学干涉检测领域，本发明为解决现有光学相移干涉检测方法操作复杂困难，且需要高质量λ/4波片，成本高，测量精度低的问题。本发明方案：光源发射的光束经偏振片入射至准直扩束系统的光接收面，经该准直扩束系统准直扩束后的出射光束经过两个λ/4波片、待测物体及矩形窗口后入射至第一透镜，经第一透镜汇聚后的出射光束通过一维周期光栅后入射至第二透镜，经第二透镜透射后的衍射光束入射至分光同步相移系统，该分光同步相移系统的出射光束由图像传感器的光接收面接收，图像传感器的图像信号输出端连接计算机的图像信号输入端，获取待测物体的相位分布。
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公开(公告)号：CN102538986A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210022766.0
申请日：2012-01-05
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01J9/02
Abstract: 基于三窗口的共光路干涉检测方法与装置属于光学干涉检测领域；该方法与装置将平行光通过待测物体和矩形窗口构成的三窗口后，再依次经过第一透镜、一维周期光栅和第二透镜后，射向图像传感器，经由图像传感器及与图像传感器相连的计算机采集获得一幅含有三个图样的干涉图，强度分布分别为I-D/3、I0和ID/3，代入公式计算待测物体的相位分布；本方法与装置具有稳定性好、系统复杂度低、相位恢复算法简单的特点。
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