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公开(公告)号：CN107167244A
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201710436293.1
申请日：2017-06-12
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01J4/00
CPC classification number: G01J4/00 , G01J2004/001
Abstract: 本发明提供一种基于衍射相位共路数字全息的偏振态参量测量装置与方法，属于偏振态参量测量领域，本发明利用衍射相位共路结构生成汇合的参考光和物光，再经过偏振分光棱镜分成偏振态正交的两束光，分别经过第一四分之一波片和第一角反射镜以及第二四分之一波片和第二角反射镜并被反射；再次汇合于偏振分光棱镜的光束在图像传感器的光接收面产生干涉，形成载频方向正交的全息图，并被采集全息图计算机中；分别采集+45°和‑45°线偏振光入射时的全息图，通过计算机获得斯托克斯矩阵参量和琼斯矩阵参量。本发明在保证抗干扰能力的同时，不需要二维光栅、复杂空间滤波器阵列等特殊光学元件，方法简单易行。
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公开(公告)号：CN107101724A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201710436260.7
申请日：2017-06-12
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01J4/00
CPC classification number: G01J4/00
Abstract: 本发明提供一种基于共路数字全息的偏振态参量测量装置与方法，属于偏振态参量测量领域。本发明包括光源、偏振调制系统、准直扩束系统、第一透镜、非偏振分光棱镜、小孔反射镜、偏振分光棱镜、第一角反射镜、第二角反射镜、第二透镜、图像传感器、计算机。入射光分成参考光和物光后，参考光照射在小孔反射镜上并被反射；物光经过偏振分光棱镜后分成两束偏振态正交的物光，并被第一角反射镜和第二角反射镜反射回偏振分光棱镜合成一束物光；物光和参考光汇合后，调整第一角反射镜和第二角反射镜，可在图像传感器上生成载频方向正交的全息图；分别曝光采集+45°和‑45°线偏振光入射时的全息图，通过计算机获得Stokes矩阵参量和Jones矩阵参量。
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公开(公告)号：CN104165582B
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201410431707.8
申请日：2014-08-28
Applicant: 哈尔滨工程大学
Abstract: 本发明属于光学干涉检测技术领域，具体涉及一种基于反射光栅的相移点衍射干涉检测装置及检测方法。基于反射光栅的相移点衍射干涉检测装置，包括光源、准直扩束系统、窗口、待测物体、第一透镜、非偏振分光棱镜、反射光栅、小孔反射镜、第二透镜、图像传感器，光源发射的光束经准直扩束系统准直扩束后的出射光束经过窗口、待测物体后入射至第一透镜，经第一透镜聚焦后的光束被非偏振分光棱镜分成一束参考光和一束物光；参考光照射在小孔反射镜上，物光照射在反射光栅上。本发明装置系统复杂度低，结构简单，操作灵活方便，成本低，不需要偏振片组等特殊光学元件。
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公开(公告)号：CN103217096B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201310086092.5
申请日：2013-03-18
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明属于光学干涉检测领域；本发明的光源发射的光束经偏振片、第一准直扩束系统和第一分光棱镜后，分成物光和参考光，物光依次经过第一反射镜和待测物体后，射向第二分光棱镜；参考光依次经过第二反射镜、第二准直扩束系统后，射向高通矩形光整形器，经高通矩形光整形器分成两束出射光后射向第二分光棱镜；并排汇合于第二分光棱镜的物光和参考光再依次经过矩形窗口、第一透镜、一维周期光栅和第二透镜后，射向图像传感器形成干涉图样，由与图像传感器相连的计算机采集处理完成检测；本发明只需一维光栅便可实现同步移相，同时待测物体尺寸不受测量窗口限制，具有结构简单、成本低的特点。
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公开(公告)号：CN103322912B
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201310206690.1
申请日：2013-05-29
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明属于光学干涉检测领域，特别涉及一种反射式点衍射离轴同步移相的干涉检测装置。反射式点衍射离轴同步移相干涉检测装置，包括光源、准直扩束系统、第一偏振片、四分之一波片、第一透镜、非偏振分光棱镜、第二偏振片、平面反射镜、带有小孔的平面反射镜、第二透镜、偏振分光棱镜、图像传感器。本发明兼顾了CCD带宽利用率、CCD视场利用率、测量实时性、抗干扰能力和系统复杂性，使系统的整体性能有了提高；本发明结构简单，成本低；在操作中不需要改变光路，也不需要移动任何实验器件，操作方便灵活，稳定性高，系统复杂性低。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102865811B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201210374744.0
申请日：2012-09-29
Applicant: 哈尔滨工程大学
Abstract: 基于正交双光栅的同步移相共光路干涉显微检测装置及检测方法，属于光学干涉检测技术领域。它解决了现有同步相移干涉显微检测方法中，对检测数据进行处理的过程复杂并且测量精度低的问题。它将干涉显微技术和正交双光栅共光路分光同步移相技术相结合，将准直扩束后的线偏振平行光经第一偏振分光棱镜和第二偏振分光棱镜分成物光和参考光后最终并排汇合于矩形窗口，计算机通过采集获得一幅含有四个图样的干涉图，最终根据四幅干涉图样的强度分布计算获得待测物体的相位分布。本发明适用于微小物体三维形貌和位相分布测量。
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公开(公告)号：CN102967258A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201210424240.5
申请日：2012-10-30
Applicant: 哈尔滨工程大学
Abstract: 基于同步载频移相的共光路干涉显微检测装置与方法，属于光学领域，本发明为解决现有技术的不足之处。本发明的技术方案：打开光源，使光源发射的光束经线偏振片和准直扩束系统的准直扩束后形成平行偏振光后，入射至第一分光棱镜，经第一分光棱镜反射与透射后最终分别形成参考光束和物光束汇合至矩形窗口，并排汇合于矩形窗口的参考光束和物光束再依次通过第一傅里叶透镜、一维周期光栅、第二傅里叶透镜和偏振片组，偏振片组出射的偏振光束在图像传感器平面上产生干涉图样，将计算机将采集获得的干涉图样根据矩形窗口的小窗口的尺寸分割获得两幅干涉图样，通过计算得到待测物体的相位分布。
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公开(公告)号：CN102878922A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210336467.4
申请日：2012-09-12
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 基于分光棱镜的三窗口共光路干涉检测装置及检测方法，属于干涉检测技术领域。它解决了现有干涉检测法测量精度低的问题。它采用光源、偏振片、准直扩束系统、三个λ/4波片、待测物体、矩形窗口、第一透镜、一维周期光栅、第二透镜、分光同步相移系统、图像传感器和计算机形成干涉检测装置，其中分光同步相移系统由消偏振分光棱镜和偏振片组组成，所述消偏振分光棱镜呈立方体结构；检测方法通过一次曝光采集获得待测物体的六幅干涉图，达到物体相位恢复的目的，它根据一维周期光栅引起的相移角θ，计算出待测物体的相位分布φ(x，y)，相位恢复算法简单。本发明适用于对待测物体的干涉检测。
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公开(公告)号：CN102840823A
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201210341301.1
申请日：2012-09-14
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 基于分光同步相移的共光路干涉检测装置及检测方法，属于光学干涉检测领域，本发明为解决现有光学相移干涉检测方法操作复杂困难，且需要高质量λ/4波片，成本高，测量精度低的问题。本发明方案：光源发射的光束经偏振片入射至准直扩束系统的光接收面，经该准直扩束系统准直扩束后的出射光束经过两个λ/4波片、待测物体及矩形窗口后入射至第一透镜，经第一透镜汇聚后的出射光束通过一维周期光栅后入射至第二透镜，经第二透镜透射后的衍射光束入射至分光同步相移系统，该分光同步相移系统的出射光束由图像传感器的光接收面接收，图像传感器的图像信号输出端连接计算机的图像信号输入端，获取待测物体的相位分布。
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公开(公告)号：CN102538986A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210022766.0
申请日：2012-01-05
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01J9/02
Abstract: 基于三窗口的共光路干涉检测方法与装置属于光学干涉检测领域；该方法与装置将平行光通过待测物体和矩形窗口构成的三窗口后，再依次经过第一透镜、一维周期光栅和第二透镜后，射向图像传感器，经由图像传感器及与图像传感器相连的计算机采集获得一幅含有三个图样的干涉图，强度分布分别为I-D/3、I0和ID/3，代入公式计算待测物体的相位分布；本方法与装置具有稳定性好、系统复杂度低、相位恢复算法简单的特点。
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