公开(公告)号：CN106596581B

公开(公告)日：2019-04-30

申请号：CN201611016108.5

申请日：2016-11-18

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王晓婷 ,  王春青

IPC: G01N21/95

Abstract: 本发明公开了一种测量表面形貌检测多层薄膜层间内部缺陷的方法，属于微电子及微电子机械制造技术领域。为了解决现有薄膜器件、微电子、微电子机械等器件制备、检测过程中需要破坏性加工、费时长、成本高等的问题，本发明提供了一种测量表面形貌检测多层薄膜层间内部缺陷的方法，利用老化、热循环或者机械循环前后薄膜表面由于内部缺陷出现造成的形貌变化的现象识别出缺陷的部位和尺寸。该方法具有快速、无损、实时、检测成本低的特点，将其应用于微电子、微电子机械等信息电子制造领域，可以使制造成本、测试成本大幅降低，质量得以提高，在这些领域以及类似结构的制造领域具有广阔的应用前景。

公开(公告)号：CN213100514U

公开(公告)日：2021-05-04

申请号：CN202020571155.1

申请日：2020-04-17

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)

Inventor： 祝温泊 ,  李明雨 ,  王晓婷 ,  顾佳慧

IPC: A62B23/02 ,  A62B7/10 ,  A62B9/06

Abstract: 本实用新型提供了一种过滤网及防护口罩，所述过滤网包括金属气凝胶层和与电源连接的导电电极，所述导电电极与金属气凝胶层电连接；其中，所述金属气凝胶层包含有杀菌功能的金属。采用本实用新型的技术方案的过滤网和防护口罩，具有杀菌效果，可以接通电源以负载强静电场或定向电场，进一步改善对微纳尺寸颗粒、细菌、病毒的吸附能力和灭杀效果，还可以重复利用；同时，制备工艺简单，材料和设备的成本及要求较低，能够实现大规模的工业化生产。