公开(公告)号：CN112444194B

公开(公告)日：2022-06-14

申请号：CN201910827857.3

申请日：2019-09-03

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 胡鹏程 ,  王嘉宁 ,  常笛 ,  谭久彬

IPC: G01B9/02015 ,  G01B11/02 ,  G01D5/353

Abstract: 本发明提出二自由度位移测量的法布里珀罗光栅干涉仪及其测量方法和六自由度干涉仪，所述二自由度位移测量干涉仪包括激光光源、分光镜、光栅、二自由度位移发生装置、用于形成第一F‑P腔具有部分透射表面1的光学器件、用于形成第二F‑P腔具有部分透射表面2的光学器件、光电探测模块1、光电探测模块2和信号处理模块；本发明所述二自由度位移测量干涉仪及其测量方法将可动的光栅作为被测目标腔镜，两F‑P腔基本单元对称放置，实现以光栅栅距为基准的、对光栅面内平动位移的测量和以激光波长‑光栅栅距为基准的、对垂直光栅面的运动的测量。本发明还以二自由度F‑P光栅干涉仪作为测头，以四测头布局实现对光栅平面的六自由度测量。

公开(公告)号：CN112444194A

公开(公告)日：2021-03-05

申请号：CN201910827857.3

申请日：2019-09-03

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 胡鹏程 ,  王嘉宁 ,  常笛 ,  谭久彬

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/02 ,  G01D5/353

Abstract: 本发明提出二自由度位移测量的法布里珀罗光栅干涉仪及其测量方法和六自由度干涉仪，所述二自由度位移测量干涉仪包括激光光源、分光镜、光栅、二自由度位移发生装置、用于形成第一F‑P腔具有部分透射表面1的光学器件、用于形成第二F‑P腔具有部分透射表面2的光学器件、光电探测模块1、光电探测模块2和信号处理模块；本发明所述二自由度位移测量干涉仪及其测量方法将可动的光栅作为被测目标腔镜，两F‑P腔基本单元对称放置，实现以光栅栅距为基准的、对光栅面内平动位移的测量和以激光波长‑光栅栅距为基准的、对垂直光栅面的运动的测量。本发明还以二自由度F‑P光栅干涉仪作为测头，以四测头布局实现对光栅平面的六自由度测量。

公开(公告)号：CN112304213A

公开(公告)日：2021-02-02

申请号：CN201910712531.6

申请日：2019-08-02

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 胡鹏程 ,  常笛 ,  王嘉宁 ,  谭久彬

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/02 ,  G01D5/353 ,  G01D5/38

Abstract: 本发明提出单自由度位移测量的法布里珀罗光栅干涉仪及其测量方法，所述干涉仪包括激光光源、光栅、位移发生装置、用于形成F‑P腔部分具有透射表面的光学器件、光电探测模块和信号处理模块；激光光源与光栅按Littrow角放置，光栅固定在所述位移发生装置上且与位移发生装置的运动方向平行设置，所述光栅在所述位移发生装置的驱动下在垂直于光栅刻线的方向上运动，所述光栅表面和部分透射表面之间形成F‑P腔，光电探测模块用于接收部分透射表面透过的多光束干涉光，所述信号处理模块对所述光电探测模块得到的干涉信号进行处理和解算。本发明提出的法布里珀罗光栅干涉仪，融合了光栅干涉和法布里珀罗干涉技术，可以实现光栅面内的位移测量。