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公开(公告)号:CN102975112B
公开(公告)日:2015-08-05
申请号:CN201210568634.8
申请日:2012-12-24
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B37/04 , B24B37/005
Abstract: 一种在线可控抛光装置,涉及一种化学机械抛光设备。设有浮动盘、伸缩架、引导滑块、调节滑块、可拆卸夹持工具、压电传感器、底座和电磁铁;所述浮动盘上设有6条滑槽,伸缩架顶端与引导滑块相连,引导滑块嵌入滑槽内,伸缩架底端与调节滑块相连,调节滑块嵌入滑槽内,引导滑块上装有可拆卸夹持工具,压电传感器固定于浮动盘表面,浮动盘嵌入底座内且底部4个角落装有电磁铁,底座内与其相对应的位置也分别装有电磁铁。克服了现有的抛光装置对工件的尺寸和表面要求严格等问题,通过尺寸调整结构和压电传感器控制系统的互相配合,可以根据工件的尺寸大小和表面形貌进行尺寸和压力调整,从而达到固定工件和保证工件表面受力实时均匀的目的。
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公开(公告)号:CN103331694A
公开(公告)日:2013-10-02
申请号:CN201310314412.8
申请日:2013-07-24
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B39/06
Abstract: 一种抛光区域可调式抛光装置,涉及抛光装置。设有工作台、夹具、抛光盘自转机构、抛光盘倾斜机构;所述工作台设有底座、X轴承载板、X轴导轨、X轴滑块、X轴直线电机、Y轴承载板、Y轴导轨、Y轴滑块、Y轴直线电机、Z轴承载板、Z轴导轨、Z轴滑块、Z轴直线电机和竖直板;所述抛光盘自转机构设有抛光盘、端面抛光垫、圆面抛光垫、伺服电机及电机座;所述抛光盘倾斜机构设有一个旋转圆盘、弧形齿条、齿轮、伺服电机和电机座。可根据工件不同尺寸和形貌调整抛光位置和抛光方式,实现工件局部抛光、全局抛光和角度抛光,调整灵活,方便可行。
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公开(公告)号:CN102909629A
公开(公告)日:2013-02-06
申请号:CN201210470351.X
申请日:2012-11-16
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B9/14
Abstract: 光学元件端面抛光倒边机,涉及一种端面抛光倒边机。提供一种结构简单、可显著提高工效的光学元件端面抛光倒边机。设有机床主体、抛光装置和倒边装置;机床主体设有框架座、导轨、导轨滑块、限制臂、龙门臂、龙门臂滑块、第一电机、第一带轮副、研磨盘、导流板、限流环和操作面板;抛光装置设有支撑架,手摇轮、升降螺杆、主轴、主螺杆、侧螺杆、端面夹板、侧夹板、第二带轮副和第二电机;倒边装置设有底板、弹簧、工件架、棘爪棘轮机构、偏心轮、侧压板和顶压板。
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公开(公告)号:CN102975106B
公开(公告)日:2015-03-11
申请号:CN201210568640.3
申请日:2012-12-24
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种精密气囊抛光工具系统,涉及抛光工具。设有抛光头、液压胀套、动平衡固定盘、动平衡滑环、下端盖、通气孔软管接头、主轴箱体、摆臂、上端盖、电机、螺旋水套、主轴、套筒、电机编码器、电机罩和轴承;抛光头固定于主轴末端,主轴经轴承和上下端盖定位于主轴箱体中,主轴箱体套于摆臂上,通气孔软管接头穿过摆臂与主轴箱体连通;动平衡固定盘固定于摆臂底部,动平衡滑环固定在主轴端部的轴肩上,电机动子固定于主轴上,螺旋水套固定于电机定子上并置于电机动子外部;电机编码器固定于主轴顶端,套筒套于螺旋水套上部,电机罩压紧套筒并固定于电机外壳上;抛光头的气囊套于轴端连接头上,弹性套套于气囊上,传感器贴于气囊内壁。
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公开(公告)号:CN102554749B
公开(公告)日:2015-03-11
申请号:CN201210028331.7
申请日:2012-02-08
Applicant: 厦门大学
Abstract: 动载式柔性抛光头,涉及一种曲面加工工具。设有电机、电机座、联轴器、上端盖、转轴、轴承、箱体、下端盖、轴前套、轴端连接头、弹性套、锁紧套和气囊;箱体连接在电机座下方,上端盖固定在箱体上,下端盖固定在箱体下部,轴前套与转轴之间相连,轴端连接头与轴前套之间连接,弹性套将气囊紧固在轴端连接头上,锁紧套与轴端连接头联接并将弹性套和气囊夹紧于锁紧套与轴端连接头之间;气囊通过弹性套紧固在轴端连接头上,锁紧套与轴端连接头联接并将弹性套和气囊夹紧于锁紧套与轴端连接头之间。
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公开(公告)号:CN102909629B
公开(公告)日:2014-08-27
申请号:CN201210470351.X
申请日:2012-11-16
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B9/14
Abstract: 光学元件端面抛光倒边机,涉及一种端面抛光倒边机。提供一种结构简单、可显著提高工效的光学元件端面抛光倒边机。设有机床主体、抛光装置和倒边装置;机床主体设有框架座、导轨、导轨滑块、限制臂、龙门臂、龙门臂滑块、第一电机、第一带轮副、研磨盘、导流板、限流环和操作面板;抛光装置设有支撑架,手摇轮、升降螺杆、主轴、主螺杆、侧螺杆、端面夹板、侧夹板、第二带轮副和第二电机;倒边装置设有底板、弹簧、工件架、棘爪棘轮机构、偏心轮、侧压板和顶压板。
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公开(公告)号:CN103042470A
公开(公告)日:2013-04-17
申请号:CN201310025371.0
申请日:2013-01-23
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B57/02
Abstract: 一种抛光液添加装置,涉及抛光设备。提供一种能够提高抛光液的利用效率,减少花费及提高抛光效果的抛光液添加装置。包括工件夹具连接座、工件夹具、上端盖、下端盖、箱体和电子节流阀;夹具连接座外接抛光机转轴,夹具连接座与工件夹具上端螺接,工件夹具内设有引流槽,引流槽进口露于工件夹具外表面,引流槽出口设有至少3个,各引流槽出口分布在工件夹具底表面;箱体套在工件夹具外部,上端盖和下端盖分别固于箱体的上端面和下端面,箱体壁上设有通液孔,电子节流阀设于箱体外壁上,电子节流阀出液口与箱体壁上的通液孔及引流槽连通,工件夹具通过轴承与箱体转动配合。
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公开(公告)号:CN102975106A
公开(公告)日:2013-03-20
申请号:CN201210568640.3
申请日:2012-12-24
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种精密气囊抛光工具系统,涉及抛光工具。设有抛光头、液压胀套、动平衡固定盘、动平衡滑环、下端盖、通气孔软管接头、主轴箱体、摆臂、上端盖、电机、螺旋水套、主轴、套筒、电机编码器、电机罩和轴承;抛光头固定于主轴末端,主轴经轴承和上下端盖定位于主轴箱体中,主轴箱体套于摆臂上,通气孔软管接头穿过摆臂与主轴箱体连通;动平衡固定盘固定于摆臂底部,动平衡滑环固定在主轴端部的轴肩上,电机动子固定于主轴上,螺旋水套固定于电机定子上并置于电机动子外部;电机编码器固定于主轴顶端,套筒套于螺旋水套上部,电机罩压紧套筒并固定于电机外壳上;抛光头的气囊套于轴端连接头上,弹性套套于气囊上,传感器贴于气囊内壁。
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公开(公告)号:CN102756333A
公开(公告)日:2012-10-31
申请号:CN201210263041.0
申请日:2012-07-27
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B41/06
Abstract: 一种用于抛光机床的在线可调式夹具,涉及一种工装夹具。设有底盘和至少3套相同结构的夹紧调整机构;每套夹紧调整机构以底盘中轴线为基准,向心均布安装于底盘表面;夹紧调整机构设有水平滑块、水平气缸、垂直滑块、垂直气缸、垂直压力传感器和响应速度可调的水平压力传感器;水平滑块与底盘向心滑动配合,水平气缸活塞杆与水平滑块连接,垂直滑块设于水平滑块上并且与水平滑块垂向滑动配合,垂直气缸设于水平滑块上,垂直气缸活塞杆与垂直滑块连接,垂直压力传感器设于垂直滑块夹持部的水平表面上,水平压力传感器设于垂直滑块夹持部的垂直表面。可在线(实时)对工件加工表面进行水平位置调整,保证工件加工表面受力均匀的与抛光机床配用。
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