一种基于MEMS的电容式红外气体传感器

    公开(公告)号:CN205786303U

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:CN201620455500.9

    申请日:2016-05-18

    Abstract: 一种基于MEMS的电容式红外气体传感器,该传感器以阵列的形式布置,通过对比分析特定波长下红外光强度的变化来测定CO、CH4、SO2的浓度,并采用电容作为感应元件。此外,太阳辐射检测技术在监测天气气候状况、预测未来天气、农业生产、太阳能开发等都有着重要意义,大气臭氧层的损耗,照射到地面的太阳光紫外线增强,使得人们越来越关注太阳辐射的变化。本实用新型设计的传感器还带有一个简便系统,可以用于太阳辐射量检测。本实用新型采用电容作为感应元件,温度漂移低、精度高。

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