公开(公告)号：CN217740508U

公开(公告)日：2022-11-04

申请号：CN202221838983.2

申请日：2022-07-18

Applicant: 华侨大学

Inventor： 程方 ,  葛明鑫 ,  崔长彩 ,  张岩 ,  陈涛

IPC: H01L21/687

Abstract: 本实用新型提供了一种用于承载不同直径衬底的承载样品台及其装置，包括承载衬底直径依次递减的第一、第二、第三、第四承载机构；第一承载机构包括中心部为空的第一承载面、可拆卸配置在第一承载面的第一位置上的第一悬臂梁结构，第一悬臂梁结构用于承载衬底，第一承载面的第二位置用于与承载样品装置可拆卸连接；依次类推，可得到第二、第三、第四承载机构，第二承载面的第二位置可拆卸配置在第一承载面的第一位置上，第三承载面的第二位置可拆卸配置在第二承载面的第一位置上，所述第四承载面的第二位置可拆卸配置在第三承载面的第一位置上。此外，现有承载设备在承载大直径衬底时，存在补偿范围过大，影响补偿精度、测量具有不确定度的问题。

公开(公告)号：CN214576459U

公开(公告)日：2021-11-02

申请号：CN202022647675.9

申请日：2020-11-16

Applicant: 华侨大学

Inventor： 王韦辰 ,  张一凡 ,  陈涛 ,  何书棋 ,  吴德华

IPC: E05F15/71 ,  E05F15/635

Abstract: 本实用新型提供了一种测风自动开闭窗户装置，包括风速传感器、传送带、固定装置及驱动组件；所述传送带固定连接所述固定装置，所述固定装置固定连接窗户；所述风速传感器连接控制器，所述控制器连接所述驱动组件；所述传送带的两端分别与第一齿轮及第二齿轮啮合；所述第一齿轮及第二齿轮分别设置于窗户的两端；所述风速传感器感应风速并发送风速信号至控制器，所述控制器发送第一驱动信号或第二驱动信号至驱动组件，所述驱动组件驱动所述第一齿轮正转或反转转动带动所述传送带传动使得所述固定装置移动，使得所述窗户开闭。应用本技术方案可实现根据风速情况来自动判断是否需要关闭窗户。