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公开(公告)号：CN112658818B
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202011509886.4
申请日：2020-12-19
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于精密加工领域，并具体公开了一种用于晶圆超精密加工的超声振动辅助磨削装置，其包括固定单元、磨削单元、振动单元及带动它们旋转的主轴电机，固定单元安装在主轴电机输出轴上；磨削单元布置在固定单元远离主轴电机的一端，其包括超声磨削砂轮，超声磨削砂轮安装在振动传递盘上，并由砂轮夹具夹紧；振动单元包括压电驱动模块和非接触式电能传输模块，非接触式电能传输模块安装在固定单元靠近主轴电机的一端内，并与压电驱动模块相连；压电驱动模块安装在振动传递盘内，用于将交流电信号转化为振动信号，并将振动传递给振动传递盘，使超声磨削砂轮在旋转的同时产生沿径向的高频振动。本发明可实现高效率、高精度、高质量的晶圆磨削。
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公开(公告)号：CN112658818A
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN202011509886.4
申请日：2020-12-19
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于精密加工领域，并具体公开了一种用于晶圆超精密加工的超声振动辅助磨削装置，其包括固定单元、磨削单元、振动单元及带动它们旋转的主轴电机，固定单元安装在主轴电机输出轴上；磨削单元布置在固定单元远离主轴电机的一端，其包括超声磨削砂轮，超声磨削砂轮安装在振动传递盘上，并由砂轮夹具夹紧；振动单元包括压电驱动模块和非接触式电能传输模块，非接触式电能传输模块安装在固定单元靠近主轴电机的一端内，并与压电驱动模块相连；压电驱动模块安装在振动传递盘内，用于将交流电信号转化为振动信号，并将振动传递给振动传递盘，使超声磨削砂轮在旋转的同时产生沿径向的高频振动。本发明可实现高效率、高精度、高质量的晶圆磨削。
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公开(公告)号：CN111070433B
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN201911413516.8
申请日：2019-12-31
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于超精密加工相关技术领域，其公开了一种多场辅助的金刚石切削设备，所述金刚石切削设备包括激光辅助装置、超声振动辅助装置、磁场辅助装置及加工辅助装置，所述磁场辅助装置及所述超声振动辅助装置分别设置在所述加工辅助装置上，且两者相对设置；所述激光辅助装置与所述超声振动辅助装置相对设置；所述加工辅助装置还用于承载工件；加工过程中，所述磁场辅助装置产生磁场，所述工件位于所述磁场内；所述激光辅助装置发射激光束以对所述工件进行预热软化或者退化，所述超声振动辅助装置在金刚石刀具的刀尖处产生二维椭圆振动，同时激光束聚焦在所述金刚石刀具的刀尖上。本发明提高了加工效率及质量，延长了刀具寿命，灵活性较好。
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