一种用于原子层沉积薄膜疲劳定角弯曲测试机

    公开(公告)号:CN207396238U

    公开(公告)日:2018-05-22

    申请号:CN201721525761.4

    申请日:2017-11-16

    Abstract: 本实用新型属于薄膜折弯相关领域,并公开了一种用于原子层沉积薄膜疲劳定角弯曲测试机。该测试机包括底板和设置在该底板上的折弯机构、传动机构和驱动机构,折弯机构包括固定连接在底板上第一托架和第二托架,以及相对设置的第一盖板和第二盖板,第一盖板通过薄膜上夹具与第一托架和第二托架连接,第二盖板通过薄膜下夹具与底板连接;传动机构用于连接折弯机构和驱动机构,包括曲柄、连杆和摇杆;驱动机构包括电机和第三托架,电机转动后通过传动机构带动第一盖板翻转,从而实现薄膜的折弯。通过本实用新型,实现对薄膜进行定角度反复弯曲,折弯时不破坏折弯区域,利于后期观察,且结构简单,效率高。

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