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公开(公告)号：CN106541711A
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201610899309.8
申请日：2016-10-12
Applicant: 华中科技大学
IPC: B41J3/407 , B41J29/393 , B05C9/02
CPC classification number: B41J3/407 , B05C9/02 , B41J29/393
Abstract: 本发明属于气敏膜合成技术领域，更具体地，涉及一种基于微滴预混和转印的气敏膜的并行合成装置及合成方法，该气敏膜并行合成装置包括限位载物台、控制模块、三维滑台、微滴预混模块和微滴转印模块，微滴预混模块采用阵列蠕动泵和阵列微滴针头相结合来实现气敏原材料预混，微滴转印模块采用气密自动微量进样器、图像定位摄像头和预制定位膜的基片共同协调实现转印过程中的定量微滴和气敏膜的精准定位定形。本发明还公开了气敏膜的制备方法。本发明能够实现不同材料不同组份气敏材料的定量均匀混合，精准快速地制备多种气敏膜，同时能够避免打印过程中的堵塞问题，且适用于尺寸不大于1μm的纳米气敏原材料悬浊液的nL级定量微滴预混转印。
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公开(公告)号：CN102841077B
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201210243871.7
申请日：2012-07-13
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种光热联合激发条件下的气敏材料高通量筛选平台，该平台包括计算机、温度控制模块、气路控制模块、光源控制模块、测试腔和信号调理模块；测试腔用于为待测试的气敏材料提供包括温度、气体种类、气体浓度和光信号在内的测试环境，及待测试的气敏材料的测试信号的引出；与平台配套的材料芯片是采用丝网印刷或其它的方式将信号电极和材料集成到氧化铝陶瓷片上。该平台以模块化的方式协同完成对特定温度、气体种类与浓度及光激发条件下的气敏材料的高通量表征，从而针对测试结果快速筛选出可以实际应用的气敏材料，用于人们生产和生活中有毒有害气体的检测和预警。
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公开(公告)号：CN101158661A
公开(公告)日：2008-04-09
申请号：CN200710168368.9
申请日：2007-11-16
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种半导体氧化物气敏元件制备方法，①将印有加热电极和测量电极的基片清洗干燥后放置在可溶性金属盐的水或醇溶液中浸泡，烘干、加热分解，形成晶种；②将同种金属离子的可溶性盐配成水或醇溶液；采用相同的溶剂配制沉淀剂溶液，并将其滴入水或醇溶液中混合均匀，然后将有晶种的基片悬挂浸泡其中，密封并加热；③取出基片，洗涤、烧结得到气敏元件。本发明利用简单工艺制备出高敏感性纳米半导体氧化物气敏元件，克服了传统工艺材料制备与元件制作分离的缺点，实现了元件表面敏感材料微结构有效调控；其制备方法对生产设备、环境要求低，且节能，能实现低成本、批量生产，可望在气敏传感器领域得到广泛应用。
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公开(公告)号：CN116354726B
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202310274431.6
申请日：2023-03-20
Applicant: 广东华中科技大学工业技术研究院
IPC: C04B35/563 , C04B35/622 , C04B35/645
Abstract: 本发明公开一种超高硬度碳化硼陶瓷材料，该超高硬度碳化硼陶瓷材料的原料成分为B4C粉末和Ti6Al4V粉末，B4C粉末的体积百分比含量为95～99.5％，Ti6Al4V粉末的体积百分比含量为0.5～5％。其制备方法包括以下步骤：A、粉末混合：将B4C粉末和Ti6Al4V粉末按比例进行行星球磨混合，球磨介质为氧化锆球和无水乙醇；B、放电等离子烧结：将球磨后的混合粉体放入石墨模具中，再将石墨模具放入放电等离子烧结腔体中进行烧结即得到超高硬度碳化硼陶瓷材料，待冷却后将超高硬度碳化硼陶瓷材料从石墨模具中取出。本发明克服了现有对于碳化硼陶瓷的致密化问题，成功制备出超高硬度碳化硼陶瓷材料。
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公开(公告)号：CN114994146A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210553654.1
申请日：2022-05-20
Applicant: 华中科技大学
Inventor： 张顺平
IPC: G01N27/16
Abstract: 本发明公开了一种基于催化温阻峰位信号的气体传感器及气体检测方法，属于气体传感器技术领域，传感器包括：微热板单元、气敏膜、催化膜和处理单元；微热板单元包括绝缘基底以及设置在绝缘基底上的加热电极、测温电极和测量电极，气敏膜涂覆在测量电极表面，催化膜包覆气敏膜；处理单元控制加热电极加热，使得催化膜的温度以设定速度在预设温度区间内周期变化，以相应改变催化膜对被测气体中目标气体的催化速率，气敏膜的阻值与催化速率相关；处理单元根据测温电极反馈的温度以及测量电极反馈的阻值，计算升降温阶段同一温度下电阻的比值，并在计算得到大于设定阈值的比值时，判定检测到目标气体。提高气体选择性，从而提高气体检测准确度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111957276B
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202010676666.4
申请日：2020-07-14
Applicant: 华中科技大学
Inventor： 张顺平
Abstract: 本发明属于气敏材料合成领域，并具体公开了一种基于溶剂热法的气敏材料并行自动合成装置。该装置包括供料单元和制备单元，其中：供料单元中注射泵的入口与其对应的原料腔连接，其出口与第一切换阀连接，用于从原料腔中定量抽取气敏原料并混合；第一切换阀的出口与反应模块连接，进而将混合后的气敏原料送入反应模块；制备单元中反应釜用于为气敏原料提供反应场所，以制得反应产物，同时该反应釜的出口依次与第一蠕动泵和第一自动进样器连接，进而将反应产物自动转移至样品架组件中；第二蠕动泵与自动抽样器连接，用于从样品架组件中抽取废液，以此制得气敏材料。本发明能够避免人为操作导致误差过大的问题，同时能够有效提高气敏材料的合成效率。
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公开(公告)号：CN113156775A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN202110458931.6
申请日：2021-04-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明属于半导体制程技术领域，并具体公开了一种接近式曝光光源及曝光方法，其包括紫外线激光器和光学透镜，其中：紫外线激光器安装在光学透镜的光心连线上，位于光学透镜焦深范围内；紫外线激光器和光学透镜间安装有狭缝。曝光时：S1接近式曝光光源与待曝光样品相对移动，光源发出的紫外线光区扫描通过整个待曝光样品表面；S2判断是否曝光结束，若未结束，使接近式曝光光源与样品均反向，再次相对移动，使紫外线光区扫描通过整个样品表面；若结束，完成曝光；S3重复S2，直至完成样品曝光。本发明利用紫外线激光器作为光源，配合狭缝和光学透镜得到高度平行线光源，简化了曝光光源结构，且体积小、集成性好，可实现面区域扫描式曝光。
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公开(公告)号：CN111413375B
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202010346070.8
申请日：2020-04-27
Applicant: 华中科技大学
Inventor： 张顺平
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明属于气敏传感器相关技术领域，其公开了一种基于气敏膜‑电极界面电阻信号的气体传感器，传感器包括基底、测温电极、加热电极及多个气敏组件，所述测温电极、所述加热电极及多个所述气敏组件间隔设置在所述基底上；所述气敏组件包括至少三个测量电极及气敏膜，至少三个所述测量电极对称设置；至少三个所述测量电极间隔设置在所述基底上，所述气敏膜设置在所述基底上，且覆盖至少三个所述测量电极。本发明可以提供更多且更均匀的活性位点分布，可进一步增强传感器对气体的选择性；气敏膜‑测量电极接触界面易于调控，能够从器件层面增强对气体的选择性；且气敏膜‑测量电极接触电阻信号不易受到气敏膜颗粒生长的影响，长期稳定性好。
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公开(公告)号：CN111505210A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010354221.4
申请日：2020-04-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于气体传感器相关技术领域，并一种气体传感器芯片一体化微加工装置。该微加工装置集成激光刻蚀、紫外曝光和微喷成膜功能于一体，包括光学平台、激光器、吸附平台、曝光灯、微喷机构和滑移台，其中，光学平台是其它部件的载体；吸附平台用于放置待成形气体传感器的基片；滑移台具备X、Y和Z方向的自由度，用于吸附掩模版并将掩模版放置在吸附平台上的基片上；曝光灯用于对放置有掩模版的基片进行曝光；激光器用于对基片按照预设图案进行激光刻蚀；微喷机构用于在待成形气体传感器上成型气敏膜。通过本发明，解决了传统方式制造气体传感器需要一系列复杂设备的问题，减少了因为人为操作带来的误差，改善气敏传感器的一致性。
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公开(公告)号：CN111007109A
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201911345088.X
申请日：2019-12-24
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明属于气体传感器制造领域，并具体公开了一种梯度微孔过滤气体传感器及其制备方法。该传感器包括从上至下依次设置的采样上腔室、传感阵列、电路板和采样下腔室，其中：采样上腔室用于通入测试气体并将其送入传感阵列；传感阵列包括预设数量的传感单元，用于对测试气体进行梯度微孔过滤；电路板与传感阵列连接，用于接收传感阵列的识别信号；采样下腔室用于通入零气，从而保证采样下腔室的气压小于采样上腔室的气压，提高测试气体的通过速度。本发明能够在上下腔室内形成气压差，有效提高测试气体的通过速度，进而缩短响应恢复时间，同时能够实现测试气体的梯度微孔过滤，实现复杂气氛的多组分气体检测。
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