公开(公告)号：CN2817066Y

公开(公告)日：2006-09-13

申请号：CN200420057785.8

申请日：2004-12-15

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈实 ,  曾亦可 ,  姜胜林 ,  刘梅冬 ,  刘少波

IPC: H01L21/306 ,  H01L21/3063 ,  H01L31/18 ,  G01J5/10 ,  B81C1/00

Abstract: 一种铁电薄膜红外探测器硅微桥腐蚀装置，属于单晶硅基片制备的有关设备，目的在于有效地防止腐蚀液渗漏，使得薄膜沉积工艺先于微桥制备工艺成为可能，提高器件的质量及成品率。本实用新型加热器上安置水浴缸，水浴缸中置有烧杯，冷凝器通过密封盖设置于烧杯上，水浴缸中同时置有温度计，温度计、温控仪和加热器串联构成温度控制回路；其特征在于烧杯中设有不锈钢圆筒，该不锈钢圆筒由不同直径的两个不锈钢圆筒构成一体、直径较大的不锈钢圆筒内壁旋有固紧螺栓；该固紧螺栓为中心透空的螺栓。应用该装置，能有效地保护硅基片正面图形，使薄膜沉积工艺先于微桥制备工艺进行，提高器件的质量及成品率。

公开(公告)号：CN2747587Y

公开(公告)日：2005-12-21

申请号：CN200420072099.8

申请日：2004-07-26

Applicant: 深圳华中科技大学研究院

Inventor： 曾亦可 ,  吕文中 ,  姜胜林 ,  刘梅冬 ,  梁飞 ,  孙建 ,  邓传益 ,  陈实 ,  汪小红

IPC: G01R31/00

Abstract: 一种铁电材料参数测试仪，用于铁电材料的电滞回线、I－V特性和开关特性测量，包括机壳，面板和位于机壳内的电路，所述面板上包括用于与示波器相连的X接线柱、Y接线柱以及接地柱，用于与被测铁电材料相连的一对接线柱，该对接线柱分别与所述X接线柱和Y接线柱短接，所述Y接线柱与接地柱之间串有用于电滞回线测量的标准电容/用于I－V特性和开关特性测量的标准电阻；所述机壳内的电路包括电压源、模拟信号产生电路、功率驱动电路、高压驱动电路、高压选择开关、正矩形脉冲产生电路、负矩形脉冲产生电路、双极性双脉冲合成电路和模拟/脉冲信号选择开关。本测试仪，能够满足一般工程技术人员的实际需要，并且构建成本低。