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公开(公告)号：CN114647077B
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202210269727.4
申请日：2022-03-18
Applicant: 北京理工大学 , 北京理工大学重庆微电子中心
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明公开的一种集成压阻反馈的电热式微镜，属于微纳光学系统技术领域。本发明所述驱动器包括常规驱动器和岛状结构驱动器。通过在微镜上集成具有角度传感作用的压阻传感器，以实时检测微镜的偏转姿态，并将该姿态信息反馈到控制中枢，通过压阻反馈提高微镜控制精度。此外，通过优化驱动器应力分布，优化压阻输出，实现较大压阻电压输出的同时，通过对压阻热绝缘隔离有效降低压阻区域的温度，进而抑制压阻的热噪声，进一步提高压阻对电热式微镜反馈控制精度。本发明的微镜驱动器采用并联对称式的驱动器，能够产生较大的驱动能力，增大微镜的垂直位移范围和角度扫描范围。对称分布式的桥式电阻，能够最大程度抑制温度差异导致的温度漂移。
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公开(公告)号：CN114660800A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210269726.X
申请日：2022-03-18
Applicant: 北京理工大学 , 北京理工大学重庆微电子中心
Abstract: 本发明公开的一种补偿侧向位移式微镜及调控方法，属于微纳光学领域。本发明通过优化补偿驱动器以补偿微镜侧向位移，避免表面光斑偏离微镜镜面，避免微镜失去操控光束的能力；因此，消除侧向位移能够避免或减小微镜的光功率损失。驱动器采用对称式阵列式结构，在增强驱动能力的同时，能够产生对称式的作用力分布，提高微镜的稳定性，同时能够增强微镜对光束的操控能力，避免微镜工作失效。采用V‑型驱动器，是补偿微镜侧向位移的另一种方式，本发明通过优化V‑型驱动器和微镜框架之间的连接，以平衡微镜两侧因作用力不稳定带来的抖动，同时阵列式的V‑型臂能够增强器件的刚度，避免微镜受到干扰，同时能够增强微镜对光束的操控能力。
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公开(公告)号：CN119394439A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411067061.X
申请日：2024-08-05
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院 , 北京理工大学 , 无锡微文半导体科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种高光谱成像装置，是基于MEMS微镜的微型傅里叶变换光谱仪为核心的高光谱系统，包含光束处理单元、含MEMS矩阵式微镜的迈克尔逊干涉系统、单颗/阵列式光电探测器。MEMS矩阵式微镜接收二维平面图像的每个子区域的光信号并产生与之对应的干涉信号。单颗/阵列式光电探测器接收干涉信号，并根据干涉信号和二维平面图像处理后得到被测物体的高光谱图像立方体，以实现将被测物体分区块检测的功能。本申请具备以下特点：矩阵式微镜的每颗微镜单独运动，将该子区域的光束调制后，依次传入单颗光电探测器最后按顺序拼接成整张图像，或者传入阵列式光电探测器实现一次成像。
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公开(公告)号：CN116222782A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310390875.6
申请日：2023-04-13
Applicant: 北京理工大学 , 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开的一种基于MEMS可动微平台及其阵列的成像光谱仪，属于光谱成像技术领域。本发明包括超表面、MEMS可动微平台阵列、光阑、图像传感器。超表面由特征尺寸小于光谱仪工作波段的微结构构成。本发明采用超表面作为色散元件，显著压缩分光元器件的体积；通过将超表面集成于MEMS可动微平台阵列上，并实现使用半导体工艺进行MEMS可动微平台阵列加工，能够降低成像光谱仪的生产成本，提高成像光谱仪的集成度；利用MEMS可动微平台阵列将物方空间划分为多个区域进行成像，能够获得最大与阵列单元数量相同的空间分辨率，而不需要添加额外的扫描元件来获取空间分辨能力；通过灵活选择每个MEMS可动微平台单元的工作状态，获得任意大小的空间分辨率。
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公开(公告)号：CN118618508A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410718225.4
申请日：2024-06-04
Applicant: 北京理工大学 , 北京理工大学重庆微电子研究院
IPC: B62D57/032 , B81C1/00 , B81B7/02
Abstract: 本发明公开了一种基于电热驱动的MEMS微型爬行机器人及其制作方法，涉及微型机器人技术领域，爬行机器人包括运动足和本体，本体的两侧分别设置有多个运动足，多个运动足的延伸方向相同，各运动足均包括悬臂梁和第一材料，悬臂梁的一端与本体连接，另一端为自由端，悬臂梁上堆叠有第一材料，悬臂梁和第一材料之间设置有加热组件，第一材料的热膨胀系数大于悬臂梁，常态下，悬臂梁的自由端悬空，当加热组件通电产热时，运动足的自由端向下翘曲并与支撑面接触。本发明还提供了一种基于电热驱动的MEMS微型爬行机器人的制作方法，本发明提供的方案能够提高热驱动微型机器人的驱动效率以及结构拓展能力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117977163A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202311742589.8
申请日：2023-12-18
Applicant: 北京理工大学 , 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明提供了一种太赫兹MEMS可调谐反射阵天线及其波束扫描实现方法，其中反射阵天线包括：MEMS阵列包括多个MEMS单元，每个MEMS单元包括基体，金属反射板，以及固定在金属反射板与所述基体之间的驱动组件；基板，MEMS阵列、电源接口和控制接口固定在基板上，控制接口用于对驱动组件进行控制，实现金属反射板的位移和偏转；馈源天线，位于基板设置有所述MEMS单元的一侧，用于辐射太赫兹波经过自由空间传播到所述MEMS阵列上。而扫描实现方法包括：确定MEMS单元的周期、确定MEMS单元的设置数量、确定馈源天线尺寸、确定各金属反射板的位移、确定各金属反射板的偏转角度、驱动组件控制。使得本申请具有扫描角度大、成本低、带宽大的优点。
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公开(公告)号：CN116364385A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202211698049.X
申请日：2022-12-28
Applicant: 北京理工大学 , 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明涉及一种集成磁芯的自卷曲电感，用于提高磁芯填充的良率以及器件制造良率，属于MEMS加工制造领域。本发明的目的是为了优化3D自卷曲功率电感制造工艺，提高磁芯填充良率及器件制造速率，且实现器件全流程制造工艺与MEMS工艺相互兼容，提供一种集成磁芯的自卷曲电感。自卷曲电感包含衬底、磁芯、结构层下层薄膜、结构层上层薄膜、金属走线。其中，结构层下层薄膜，结构层上层薄膜和金属走线自下而上顺序堆叠于衬底上。磁芯沉积在结构层上层薄膜端部。该方案具有磁芯大小形貌可控、与MEMS工艺和IC工艺兼容、低成本、可量产等优势。
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公开(公告)号：CN116320960A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310354785.1
申请日：2023-04-06
Applicant: 北京理工大学 , 北京理工大学重庆微电子研究院
IPC: H04R31/00
Abstract: 本发明公开的一种电磁式大声阻活塞运动式MEMS扬声器及其制造方法。所述电磁式大声阻活塞运动式MEMS扬声器，包括基底、腔体、电磁式驱动组件、连接组件、振膜；所述基底包括基座和沿所述基座厚度方向延伸的支撑结构，所述支撑结构的四周围合从而形成所述腔体；所述连接组件用于连接所述振膜和所述支撑结构；所述振膜为悬空结构且悬设于所述腔体中；所述振膜与所述连接组件不共面；所述振膜的垂直方向的位移范围一般不超过所述空腔高度范围；所述电磁式驱动组件包括可动部件和固定部件；所述可动部件构成所述振膜的一部分，包含线圈和磁性材料中的一种；所述固定部件位于所述基底中；所述电磁式驱动组件通过电磁力带动所述振膜沿垂直方向做活塞式运动。
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公开(公告)号：CN114911051B
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202210493453.7
申请日：2022-04-26
Applicant: 北京理工大学 , 重庆虹势科技有限公司 , 北京理工大学重庆微电子研究院
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明公开的一种低温漂静电MEMS微镜及其实现方法，属于微光机电(MOEMS)领域。本发明包括镜面、扭转梁、梳齿驱动器、梳齿支撑结构，电隔离沟道，焊盘和空腔，微镜结构从上到下依次为结构层、绝缘层和衬底层。本发明通过优化微镜结构调节微镜阻尼，实现对静电MEMS微镜低角度温漂补偿；利用结构层和衬底层之间的热应力补偿结构层材料硅杨氏模量引入的频率温漂，实现低频率温漂补偿；在对静电MEMS微镜进行低角度温漂补偿、低频率温漂补偿基础上，提高静电MEMS微镜工作稳定性和运动控制的精确性。本发明无需额外增加位置检测模块和反馈控制，具有结构简单、体积小、成本低、易于实现的优点。所述低温漂包括低频率温漂和低角度温漂。
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公开(公告)号：CN114647077A
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN202210269727.4
申请日：2022-03-18
Applicant: 北京理工大学 , 北京理工大学重庆微电子中心
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明公开的一种集成压阻反馈的电热式微镜，属于微纳光学系统技术领域。本发明所述驱动器包括常规驱动器和岛状结构驱动器。通过在微镜上集成具有角度传感作用的压阻传感器，以实时检测微镜的偏转姿态，并将该姿态信息反馈到控制中枢，通过压阻反馈提高微镜控制精度。此外，通过优化驱动器应力分布，优化压阻输出，实现较大压阻电压输出的同时，通过对压阻热绝缘隔离有效降低压阻区域的温度，进而抑制压阻的热噪声，进一步提高压阻对电热式微镜反馈控制精度。本发明的微镜驱动器采用并联对称式的驱动器，能够产生较大的驱动能力，增大微镜的垂直位移范围和角度扫描范围。对称分布式的桥式电阻，能够最大程度抑制温度差异导致的温度漂移。
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