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公开(公告)号：CN104769499B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201380056176.2
申请日：2013-10-25
Applicant: 日本化药株式会社
Abstract: 本发明的目的是提供：感光环氧树脂组合物和/或所述树脂组合物的抗蚀剂层压体，其使得可以利用光刻法形成具有垂直侧壁形状和高分辨率、低应力和耐湿热性的图像；以及所述树脂组合物和所述抗蚀剂层压体的固化产物。本发明是包含如下的感光树脂组合物：(A)环氧树脂；(B)具有特定结构的多元醇化合物；(C)光阳离子聚合引发剂；和(D)含环氧基的硅烷化合物。环氧树脂(A)包含：通过式(1)表示的苯酚衍生物与表卤代醇反应得到的环氧树脂(a)；和式(2)表示的环氧树脂(b)。
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公开(公告)号：CN104769499A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201380056176.2
申请日：2013-10-25
Applicant: 日本化药株式会社
CPC classification number: G03F7/0755 , B32B27/06 , B32B27/38 , B32B2559/00 , G03F7/038
Abstract: 本发明的目的是提供：感光环氧树脂组合物和/或所述树脂组合物的抗蚀剂层压体，其使得可以利用光刻法形成具有垂直侧壁形状和高分辨率、低应力和耐湿热性的图像；以及所述树脂组合物和所述抗蚀剂层压体的固化产物。本发明是包含如下的感光树脂组合物：(A)环氧树脂；(B)具有特定结构的多元醇化合物；(C)光阳离子聚合引发剂；和(D)含环氧基的硅烷化合物。环氧树脂(A)包含：通过式(1)表示的苯酚衍生物与表卤代醇反应得到的环氧树脂(a)；和式(2)表示的环氧树脂(b)。
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公开(公告)号：CN104813235B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201380061192.0
申请日：2013-11-21
Applicant: 日本化药株式会社
Abstract: 本发明的目的是提供以下：感光环氧树脂组合物，其通过光刻法可形成高分辨率、低应力图像，所述图像具有垂直侧壁和并且耐湿热；和/或利用所述感光环氧树脂组合物的抗蚀剂层压体；以及通过固化所述感光环氧树脂组合物和/或抗蚀剂层压体得到的制品。本发明是感光树脂组合物，其含有以下：环氧树脂(A)，具有特定结构的多元酚化合物(B)，阳离子聚合光引发剂(C)，含环氧基的硅烷化合物(D)，和具有特定结构的反应性环氧单体(E)。环氧树脂(A)含有式(1)表示的苯酚衍生物，通过与表卤代醇反应得到的环氧树脂(a)，和式(2)表示的环氧树脂(b)。反应性环氧单体(E)是双酚环氧树脂。
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公开(公告)号：CN103718108B
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201280037959.1
申请日：2012-07-26
Applicant: 日本化药株式会社
Abstract: 本发明涉及一种碱显影型光敏树脂组合物，包含：多羧酸树脂(A)，其通过使在两末端具有环氧基并且环氧当量为600g/当量～1,300g/当量的双官能双酚环氧树脂(a)和具有醇羟基的一元羧酸化合物(b)的反应产物(ab)与多元酸酐(c)反应而得到；在一个分子中具有两个以上环氧基的环氧树脂(B)；以及光酸产生剂(C)，其中所述一元羧酸化合物(b)对所述环氧树脂(a)的1当量环氧基的加成率为80当量%以上；并且所述多元酸酐对所述反应产物(ab)的1当量伯羟基的加成率为80当量%以上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104813235A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201380061192.0
申请日：2013-11-21
Applicant: 日本化药株式会社
CPC classification number: G03F7/0755 , C08G59/063 , C08G59/24 , C08G59/245 , C08G59/32 , C08G59/3218 , C08G59/38 , C08G59/62 , C08G59/621 , C08K5/109 , C08K5/13 , C08K5/5419 , C08L33/068 , C08L63/00 , G03F7/038 , G03F7/0751
Abstract: 本发明的目的是提供以下：感光环氧树脂组合物，其通过光刻法可形成高分辨率、低应力图像，所述图像具有垂直侧壁和并且耐湿热；和/或利用所述感光环氧树脂组合物的抗蚀剂层压体；以及通过固化所述感光环氧树脂组合物和/或抗蚀剂层压体得到的制品。本发明是感光树脂组合物，其含有以下：环氧树脂(A)，具有特定结构的多元酚化合物(B)，阳离子聚合光引发剂(C)，含环氧基的硅烷化合物(D)，和具有特定结构的反应性环氧单体(E)。环氧树脂(A)含有式(1)表示的苯酚衍生物，通过与表卤代醇反应得到的环氧树脂(a)，和式(2)表示的环氧树脂(b)。反应性环氧单体(E)是双酚环氧树脂。
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公开(公告)号：CN104813234A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201380061133.3
申请日：2013-11-21
Applicant: 日本化药株式会社
CPC classification number: G03F7/004 , B32B27/08 , B32B27/32 , B32B2255/10 , B32B2255/26 , B32B2307/71 , B32B2559/00 , C08G59/063 , C08G59/226 , C08G59/245 , C08G59/38 , C08K5/5435 , C08L63/00 , C08L71/02 , G03F7/038 , G03F7/0751 , G03F7/0755
Abstract: 本发明的目的是提供以下：感光环氧树脂组合物，其通过光刻法可形成高分辨率、低应力图像，所述图像具有垂直侧壁并且耐湿热；和/或利用所述感光环氧树脂组合物的抗蚀剂层压体；以及通过固化所述感光环氧树脂组合物和/或抗蚀剂层压体得到的制品。本发明是感光树脂组合物，其含有以下：环氧树脂(A)，具有特定结构的多元醇化合物(B)，阳离子聚合光引发剂(C)，含环氧基的硅烷化合物(D)，和具有特定结构的反应性环氧单体(E)。环氧树脂(A)含有式(1)表示的苯酚衍生物，通过与表卤代醇反应得到的环氧树脂(a)，和式(2)表示的环氧树脂(b)。
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公开(公告)号：CN103608727A
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN201280030558.3
申请日：2012-06-19
Applicant: 日本化药株式会社
CPC classification number: G03F7/0382 , C08G59/063 , C08G59/3218 , C08G59/42 , C08L63/00 , G03F7/038
Abstract: 本发明公开了一种负型光敏树脂组合物，所述负型光敏树脂组合物包含：一个分子中具有两个以上环氧基的环氧树脂(A)；(B)碱溶性树脂；和(C)阳离子光聚合引发剂。所述环氧树脂(A)为通过由式(1)表示的酚衍生物与环氧卤丙烷之间的反应而得到的环氧树脂。
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公开(公告)号：CN101208260B
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN200680022865.1
申请日：2006-06-15
Applicant: 国立大学法人东北大学 , 日本化药株式会社
CPC classification number: F04D29/281 , B29C64/106 , B29C64/124 , B29L2031/7496 , B81C99/008 , F04D29/023 , F05D2230/31 , F05D2300/44
Abstract: 一种制造树脂的微型机器部件的方法，该方法包括以下步骤：(a)在基片上形成一层牺牲层；(b)在所述牺牲层上顺序形成至少两层光敏树脂组合物层，并对形成的各光敏树脂组合物层进行光刻，形成限定微型机器部件的周边部分的气隙部分和构成微型机器部件的内部结构的气隙部分，因而形成多层结构；(c)在固化的光敏树脂组合物层的多层结构上沉积干膜抗蚀剂，对所述干膜抗蚀剂层进行光刻，形成固化的干膜蚀刻层，其中，形成限定遮蔽层的周边部分的气隙部分和构成遮蔽层结构的气隙；和(d)通过去除所述牺牲层将所述微型机器部件与所述基片分离，所述微型机器部件具有固化光敏树脂组合物层和固化的干膜抗蚀剂层的多层结构。
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公开(公告)号：CN1934498A
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：CN200580008836.5
申请日：2005-02-10
IPC: G03F7/038
Abstract: 一种永久的光致抗蚀剂组合物，其包括：(A)根据式I的一种或更多种双酚A－酚醛环氧树脂；其中：在式I中的每一基团R独立地选自缩水甘油基或氢，和在式I中的k是范围为0－约30的实数；(B)选自式BIIa和BIIb表示的基团中的一种或更多种环氧树脂；其中在式BIIa中的每一R1、R2和R3独立地选自氢或具有1－4个碳原子的烷基，和在BIIa中的数值p是范围为1－30的实数；在BIIb中的数值n和m独立地为范围是1－30的实数，以及在BIIb中的每一R4和R5独立地选自氢、具有1－4个碳原子的烷基或三氟甲基；(C)一种或更多种阳离子光引发剂(也称为光酸生成剂或PAG)；和(D)一种或更多种溶剂。
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