公开(公告)号：CN1253485C

公开(公告)日：2006-04-26

申请号：CN02819081.5

申请日：2002-12-12

Applicant: 住友电木株式会社

Inventor： L·F·罗德斯 ,  R·维卡里 ,  L·J·兰格斯多弗 ,  A·A·索比克 ,  E·P·博伊德 ,  B·本乃特

IPC: C08G61/00 ,  C08F232/08 ,  G03F7/004

CPC classification number: C08G61/06 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0395 ,  G03F7/0397

Abstract: 本发明涉及多环聚合物，多环聚合物的生产方法，以及其在制造集成电路中用作光刻胶的使用方法。在一实施方案中，本发明涉及由至少一种卤化多环单体或氢卤化多环单体形成的光刻胶组合物。在另一实施方案中，本发明涉及由至少一种卤化多环单体或氢卤化多环单体与至少一种非-卤化多环单体的共聚合而形成的光刻胶组合物。另外，本发明还涉及借此对所述光刻胶组合物进行后-处理以便获得下列之一或更多的方法：(1)降低聚合物组合物的光密度；和(2)降低聚合物组合物中剩余金属和/或单体的含量。此外，本发明还披露了用来生产本发明光刻胶组合物的催化剂体系，所述催化剂体系能够控制光刻胶产物的分子量。

公开(公告)号：CN1140549C

公开(公告)日：2004-03-03

申请号：CN96194166.9

申请日：1996-05-20

Applicant: 住友电木株式会社

Inventor： L·F·罗德斯 ,  B·L·古多尔 ,  R·默豪普特 ,  R·A·希克 ,  G·M·本尼迪克特 ,  S·K·贾雅拉曼 ,  L·M·索比 ,  L·H·麦金托什三世

IPC: C08F232/00 ,  C08G61/00 ,  C08F277/00 ,  C08F279/02 ,  C08F297/00 ,  C08L45/00 ,  C08L65/00

CPC classification number: C08G77/442 ,  C08F232/08 ,  C08F277/00 ,  C08L53/025 ,  C08L2666/04

Abstract: 衍生自降冰片烯型单体的多环加成聚合物与各种其它聚合物混合产生一系列新的共混物，合金和嵌段聚合物。