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公开(公告)号：CN113946099B
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202111145605.6
申请日：2021-09-28
Applicant: 北京北旭电子材料有限公司 , 北旭(湖北)电子材料有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
Abstract: 本申请提供了一种正性光刻胶组合物，基于所述正性光刻胶组合物的总重量，所述正性光刻胶组合物包括：酚醛树脂10‑20wt％，感光化合物4‑6wt％，交联剂5‑10wt％，流平剂0.05‑0.10wt％，粘附性促进剂0.05‑0.10wt％，溶剂65‑80wt％；其中，所述酚醛树脂为线性酚醛树脂，结构式如式I所示，其中，n1为自然数，85≤n1≤170。本申请提供的正性光刻胶组合物，具有高耐热的特性，耐热温度可达到230‑250℃，可用于具有高温工艺的生产流程，在曝光工艺中能够形成良好的图形形貌，同时具有良好的均一性，用于外围电路时，能够有效减少磨边时崩坏不良的发生。
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公开(公告)号：CN114047670A
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202111460811.6
申请日：2021-12-02
Applicant: 北京北旭电子材料有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
Abstract: 本申请提供了一种正型光刻胶组合物，其包含酚醛树脂、感光化合物以及混合溶剂，其中，混合溶剂包含第一溶剂和第二溶剂，第一溶剂选自乳酸乙酯、3‑乙氧基丙酸乙酯、4‑甲基‑2‑戊酮和2‑庚酮中的至少一种；第二溶剂选自乙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇二甲醚、丙二醇甲醚乙酸酯、乙酸乙酯和乙酸正丁酯中的至少一种。本申请提供的光刻胶组合物，其稳定性优于使用单一溶剂的光刻胶组合物，可以更好的应用于有机电致发光显示器中。
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公开(公告)号：CN113946099A
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202111145605.6
申请日：2021-09-28
Applicant: 北京北旭电子材料有限公司 , 北旭(湖北)电子材料有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
Abstract: 本申请提供了一种正性光刻胶组合物，基于所述正性光刻胶组合物的总重量，所述正性光刻胶组合物包括：酚醛树脂10‑20wt％，感光化合物4‑6wt％，交联剂5‑10wt％，流平剂0.05‑0.10wt％，粘附性促进剂0.05‑0.10wt％，溶剂65‑80wt％；其中，所述酚醛树脂为线性酚醛树脂，结构式如式I所示，其中，n1为自然数，85≤n1≤170。本申请提供的正性光刻胶组合物，具有高耐热的特性，耐热温度可达到230‑250℃，可用于具有高温工艺的生产流程，在曝光工艺中能够形成良好的图形形貌，同时具有良好的均一性，用于外围电路时，能够有效减少磨边时崩坏不良的发生。
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公开(公告)号：CN113341651A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110716154.0
申请日：2021-06-25
Applicant: 北京北旭电子材料有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
Abstract: 本申请提供一种光刻胶及图案化方法，属于光刻技术领域。光刻胶包括酚醛树脂和感光剂，感光剂包括第一感光物质和第二感光物质，第一感光物质为多环芳烃与2‑叠氮‑1‑萘酚‑5‑磺酰氯和/或多环芳烃与2‑叠氮‑1‑萘酚‑4‑磺酰氯取代反应的产物，第二感光物质为酚醛树脂四聚体与2‑叠氮‑1‑萘酚‑5‑磺酰氯和/或酚醛树脂四聚体与2‑叠氮‑1‑萘酚‑4‑磺酰氯取代反应的产物。该酚醛树脂型光刻胶能够兼具较好的分辨率以及抗干刻性能。
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