操作真空沉积装置的方法和真空沉积装置

    公开(公告)号:CN1966757B

    公开(公告)日:2010-04-21

    申请号:CN200610160377.9

    申请日:2006-11-15

    CPC classification number: C23C14/30 C23C14/16 C23C14/20 C23C14/546 C23C14/562

    Abstract: 在长条状基材上沿其纵向沉积具有均匀厚度薄膜的沉积作业初步试验中,测量从沉积作业开始时的经过时间以及在该经过时间下电源的输出功率。并将所得到的经过时间和输出功率之间的关系储存在存储装置中。随后通过这样一种方法,在长条状基材上进行沉积,其中首先在沉积作业开始之前的预加热步骤中,使用晶体振荡器测厚仪,将该电源的输出功率控制稳定在期望值,然后驱动该基材输送装置,从而在获得期望的沉积速度之后,在该长条状基材上开始沉积作业。在开始该沉积作业之后,将电源的输出功率控制成与储存在该存储装置中的该经过时间下的输出功率相一致。

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