一种包覆结构的二硼化钛-镍薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN103160777A

    公开(公告)日:2013-06-19

    申请号:CN201110418976.7

    申请日:2011-12-15

    Abstract: 本发明涉及一种具有包覆结构的二硼化钛-镍薄膜,其特征在于该TiB2-Ni薄膜是以金属Ni为连续相,TiB2晶粒为弥散相原位复合而成,在该TiB2-Ni薄膜中,金属Ni以三维连续胞状结构均匀构成薄膜的基本构架,而TiB2晶粒则以颗粒状均匀的填补在胞状结构内部,形成金属Ni均匀包裹TiB2晶粒的包覆显微结构,其中TiB2含量为60-95at.%,Ni含量为5-40at.%。本发明的包覆结构的TiB2-Ni薄膜表现出了良好的韧性和很高的硬度,这极大扩大了此薄膜的应用范围;同时采用双靶共溅射磁控溅射技术操作方便,通过工艺条件的调控可以很好的控制TiB2-Ni薄膜材料的组成、结构和性能,并且该方法无需后处理工序,制备周期短,成本低,可复现性好,便于实现工业化生产。

    一种二硼化钛-镍涂层或薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN103160776A

    公开(公告)日:2013-06-19

    申请号:CN201110418928.8

    申请日:2011-12-15

    Abstract: 本发明涉及一种二硼化钛-镍涂层或者薄膜及其制备方法,其特征在于该涂层或者薄膜是以TiB2为主晶相,金属Ni为次晶相利用物理气相沉积技术原位复合而成的,其中TiB2含量为65-95at.%,Ni含量为5-35at.%;所述涂层或者薄膜的基板采用单晶硅、玻璃、高速钢、合金钢或者钛合金等,薄膜的厚度为20nm-1um;涂层的厚度为1um-1mm。本发明设计了一种新涂层材料体系,即原位合成的金属Ni增韧的TiB2涂层或者薄膜,涂层硬度高达25GPa以上,导电性能良好,同时具有良好的韧性和抗腐蚀、抗烧蚀性能及优异的摩擦、磨损性能,可以广泛应用于刀具、模具、电接触、防护等领域;并且制备工艺简单,生产周期短,成本低,便于大规模工业化生产。

    多层复合膜、其制备方法以及作为碳化硅及其复合材料连接材料的应用

    公开(公告)号:CN107488043B

    公开(公告)日:2022-10-25

    申请号:CN201610406767.3

    申请日:2016-06-12

    Abstract: 本发明提供了一种由纳米钛层、纳米碳层以及钛硅碳层组成的多层复合膜。该多层复合模可作为碳化硅及其复合材料的连接层而应用。其优点是:利用高活性金属钛层与基体碳化硅之间的反应,打破基体碳化硅中的硅碳共价键,可形成较强的界面过渡层碳化钛;钛与碳反应放热有利于连接致密化,降低成本;耐高温耐腐蚀性能优良、且在高温下具有准塑性的三元层状陶瓷钛硅碳层可在高温缓解连接界面的崩塌式失效,并且可弥补碳化硅及其复合材料的表面缺陷,降低对碳化硅及其复合材料的表面加工精度要求,提高生产效率,降低生产成本。

    一种铜掺氧化锌透明导电薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN114107917A

    公开(公告)日:2022-03-01

    申请号:CN202111332943.0

    申请日:2021-11-11

    Abstract: 本发明公开一种CZO透明导电薄膜,成分组成为:Cu(1at.%~2at.%),Zn(48at.%~50at.%),O(50at.%~52at.%),呈纤维状生长结构,包括多条被阻断的柱状晶,相邻柱状晶之间无微裂纹或微孔洞,密度为5.3~5.5g/cm3。该导电薄膜具有较低的电阻率,较好的透光率。本发明还提供了一种CZO透明导电薄膜的制备方法,包括:向镀膜腔室抽真空,持续通入惰性气体,设置靶电源参数,采用纯CZO陶瓷靶在基体上进行单靶溅射、以ZnO陶瓷靶和金属Cu靶在基体上进行双靶共溅射或以ZnCu合金靶在基体上进行反应溅射以形成CZO透明导电薄膜。该方法制备简单、高效。

    一种具有长时间耐高温水蒸汽氧化的Fe-Cr-Al基防护涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN112853288A

    公开(公告)日:2021-05-28

    申请号:CN202011623564.2

    申请日:2020-12-31

    Abstract: 本发明属于合金涂层防护领域,公开一种具有长时间耐高温水蒸汽氧化的Fe‑Cr‑Al基防护涂层及其制备方法,该涂层的组成表示为FexCryAlzMemSinYp,Me选自Mo、Nb、Ni中的一种或两种,其中x,y,z,m,n,p为原子比,30.5≤x≤34.9,20.6≤y≤23.2,11.6≤z≤16.1,13.4≤m≤14.9,13.6≤n≤17.4,1.6≤p≤2.6;所述的Fe‑Cr‑Al基防护涂层为非晶结构或非晶中弥散分布纳米晶的两相结构,涂层呈非柱状晶生长,沿涂层生长方向无贯穿性空隙或裂纹。该防护涂层应用于Zr合金包壳管上,可提高锆合金抵抗高温水蒸汽(1000~1200℃)氧化的能力,一方面为事故留下更多的容错时间,另一方面可显著延长核电用包壳管的使用寿命。

    一种具有长时间耐高温水蒸汽氧化的防护涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN112853287A

    公开(公告)日:2021-05-28

    申请号:CN202011618645.3

    申请日:2020-12-31

    Abstract: 本发明涉及核电防护涂层领域,公开了一种具有长时间耐高温水蒸汽氧化的防护涂层及其制备方法,该防护涂层包括陶瓷层和合金层,所述的合金层组成表示为CraMe100‑a,Me为Al、Ni中的一种,84.6≤a≤100;陶瓷层组成表示为(CrxAlySi100‑x‑y)zT100‑z,T选自C、N中的一种,其中40.7≤x≤61.2,29.8≤y≤45.3,78.5≤z≤89.5;其中a、x、y、z都为原子比。该防护涂层通过物理气相磁控溅射法制备,在高温水蒸气(1200℃)氧化过程中可形成连续、致密且无开裂、拱起等缺陷的Cr2O3防护层,进而显著提高耐高温水蒸气氧化时间(8~12h),可用于核电中锆合金包壳管的防护。

    一种SiC陶瓷的防护涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN112125705A

    公开(公告)日:2020-12-25

    申请号:CN202010947693.0

    申请日:2020-09-10

    Abstract: 本发明涉及高温腐蚀防护涂层领域,公开了一种SiC陶瓷的防护涂层及其制备方法,该防护涂层组成表示为MexO1‑x,其中x为原子百分比,0.6≤x≤1;Me选自Cr、CrAl、CrNi中任一种,所述CrAl为Cr为主元,与Al的固溶体结构,所述CrNi为Cr为主元,与Ni的固溶体结构,所述防护涂层采用磁控溅射法制备,利用射频辅助直流的电源来驱动Me靶,通过调节反应气体O2的有无及O2比例和其他工艺参数,在SiC陶瓷表面沉积得到不同结构的防护涂层。该防护涂层,可显著降低SiC陶瓷的腐蚀失重,失重率减少88%~97%。

    一种具有抗菌和耐腐蚀性能的硬质陶瓷涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN109112481B

    公开(公告)日:2020-05-12

    申请号:CN201811148672.1

    申请日:2018-09-29

    Abstract: 本发明公开了一种具有抗菌和耐腐蚀性能的硬质陶瓷涂层,涂层的组成为ZrxCuyAlzN100‑x‑y‑z,x=39.1~45.1,y=17.5~18.8,z=4.8~7.2,x,y,z为原子比,其中,Cu为非晶结构且以Cu+形式存在,涂层由ZrN晶相和非晶相两相复合而成。本发明还公开了上述硬质陶瓷涂层的制备方法,采用物理气相磁控溅射法制备,具体包括:基体清洗、连接电源、涂层沉积,得到的涂层硬度高,结合力好,易释放出杀菌物质,耐腐蚀性强,能够为物件提供有效的抗菌和耐腐蚀防护。

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