制备硅基微电极的方法
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103101878A

    公开(公告)日:2013-05-15

    申请号:CN201310062478.2

    申请日:2013-02-28

    Abstract: 本发明提供了一种制备硅基微电极的方法。该方法利用贵金属纳米颗粒在硅片表面催化腐蚀形成纳米孔洞阵列;在该纳米孔洞阵列上制备下绝缘层、导电层和上绝缘层,进而形成带有纳米孔洞阵列的微记录点。本发明制备硅基微电极的方法减少了工艺流程,降低了成本。

    一种用于组装神经元微电极阵列的电极排针

    公开(公告)号:CN103768709A

    公开(公告)日:2014-05-07

    申请号:CN201410027692.9

    申请日:2014-01-21

    Abstract: 本发明公开了一种用于组装神经元微电极阵列的电极排针,包括:多个排针针体,其由三部分组成:前端电极排针记录点、中间绝缘针体部分和后端压焊区域;其后端周期性排列固定于连接框架上,其前端为锥形;连接框架,其用于固定所述多个排针针体,且每两个排针针体固定的部分具有双面V形分割槽,所述分割槽的总深度小于连接框架的厚度。本发明提出的电极排针阵列可以通过硅微加工工艺批量制备,这种批量制备的电极可以根据动物试验的不同需求,通过电极数量选取、对准连接和去除框架等几部简单地操作,灵活组装成具有不同数量和电极长度的电极。

    纳米刻蚀印章及利用其进行纳米刻蚀的方法

    公开(公告)号:CN103145092A

    公开(公告)日:2013-06-12

    申请号:CN201310062552.0

    申请日:2013-02-28

    Abstract: 本发明提供了一种纳米刻蚀印章。该纳米刻蚀印章包括:印章体,其底面具有待加工纳米图形的反相图形;保护层,至少形成于印章体与腐蚀液接触部分的表面,其材料为抗腐蚀液的材料;以及金属催化层,至少形成于反相图形与待刻蚀衬底接触部分的保护层上,其材料为可催化腐蚀液与待刻蚀衬底反应的材料。本发明纳米刻蚀印章及利用其进行纳米刻蚀的方法中,在印章体上预先制备好了需要的纳米结构,通过金属催化腐蚀的手段可以直接将图形转移到衬底表面,图形化过程简单,无需附加掩模层,简化了纳米结构制备的工艺流程。

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