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公开(公告)号：CN103728494A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201310697613.0
申请日：2013-12-17
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R23/02
Abstract: 本发明涉及一种谐振频率测量及跟踪系统和方法，主要组成包括计算机、多功能数据采集卡、直接数字频率合成器和传感器接口电路。与传统锁相环电路相比，省去了移相器，减少了不必要单元对信号造成的干扰，提高了信号精度。本发明简化了谐振频率的测量与跟踪，谐振频率及其变化便于实时观察并且自动保存于存储器中，检测过程无需技术人员干预完全由系统自动完成。
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公开(公告)号：CN103668141A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201210315544.8
申请日：2012-08-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: C23C18/44 , C04B35/628
Abstract: 本发明涉及一种在氧化石墨烯表面生长贵金属纳米晶的方法，采用油胺（Oleylamine，CAS号：112-90-3）作为反应的溶剂以及反应体系中的还原剂，在具有含氧官能团（如羟基、羧基、羰基和环氧基）修饰的石墨烯材料表面将贵金属前驱体还原成贵金属纳米晶，制造具有贵金属纳米晶负载的氧化石墨烯材料。该方法具有原理清晰、方法先进、易于操作、造价低廉、适用于多种贵金属和批量生产的特点。
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公开(公告)号：CN103667039A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201210332526.0
申请日：2012-09-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
CPC classification number: C12Q1/6825 , C12Q2521/301 , C12Q2563/131 , C12Q2531/113
Abstract: 本发明涉及传感器制造领域，尤其涉及一种用于基因检测的质量型传感器。本发明提供一种用于基因检测的质量型传感器，包括质量型传感器本体，其特征在于，所述质量型传感器本体的非检测敏感位置表面设有聚乙二醇单分子层，所述质量型传感器本体的检测敏感位置表面设有巯基生物素单分子层，所述巯基生物素单分子层上嫁接有链亲和素层。使用本发明所提供的质量传感器，主要优点包括实时在线检测、结果准确、检测速度快、节约成本和扩展性好。
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公开(公告)号：CN102175764A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201110044289.3
申请日：2011-02-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N29/036 , G01N29/22 , B81B3/00 , B81C1/00
Abstract: 本发明涉及一种利用功能化介孔为敏感材料的质量型化学传感器、制造方法及应用，属于微纳传感器领域。本发明的特征是所述的化学传感器使用有机功能化介孔材料为敏感材料、使用质量型换能器为敏感检测的平台。本发明所述的化学传感器利用功能化介孔材料具有的特定有机官能团实现对特定目标化学分子的选择性吸附、利用功能化介孔材料具有高的比表面积以及高孔隙率提高敏感材料对特定目标化学分子的吸附量、利用质量型换能器将功能化介孔材料对特定目标化学分子的吸附转化为电学信号输出，从而实现对特定目标化学分子的检测。
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公开(公告)号：CN101451946B
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN200810208129.6
申请日：2008-12-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N19/00
Abstract: 本发明涉及一种利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法及悬臂梁的制作，特征在于在悬臂梁高阶弯曲模态振幅为零处和悬臂梁的自由端处表面分别淀积不同的特异性识别的敏感膜，利用振幅为零处在高阶模态下质量检测灵敏度为零，而自由端处质量检测灵敏度最大的特性，通过同时记录悬臂梁的各个模态在检测前后频率的变化，得到各个敏感位置所吸附的不同物质的质量，从而实现用单根悬臂梁检测多种物质。本发明的特点是结构简单、制作方便、容易实现以及扩展性好等特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101712451A
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200910198994.1
申请日：2009-11-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B81C99/00
Abstract: 本发明涉及一种在微悬臂梁的二氧化硅表面一步制造羧酸功能化自组装单层膜的新方法，属于纳米功能薄膜制造领域。本发明的特征是采用三羟基硅基乙酸钠水溶液(Carboxyethylsilanetriol，sodium salt；25％)或者N-(三甲氧基硅丙基)乙二胺三乙酸钠盐水溶液(N-(Trimethoxysilypropyl)ethylenediamine triacetic acid，trisodium salt；45％)为薄膜制造原料，配制成一定浓度与酸度的水溶液，将经过严格清洗的微悬臂梁没入其中，氮气保护下加热反应10-100小时。反应结束后，用大量的去离子水冲洗微悬臂梁，即可制得羧酸功能化的微悬臂梁器件。
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公开(公告)号：CN101451946A
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200810208129.6
申请日：2008-12-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N19/00
Abstract: 本发明涉及一种利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法及悬臂梁的制作，特征在于在悬臂梁高阶弯曲模态振幅为零处和悬臂梁的自由端处表面分别淀积不同的特异性识别的敏感膜，利用振幅为零处在高阶模态下质量检测灵敏度为零，而自由端处质量检测灵敏度最大的特性，通过同时记录悬臂梁的各个模态在检测前后频率的变化，得到各个敏感位置所吸附的不同物质的质量，从而实现用单根悬臂梁检测多种物质。本发明的特点是结构简单、制作方便、容易实现以及扩展性好等特点。
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公开(公告)号：CN113125552B
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202010027371.4
申请日：2020-01-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N29/02 , G01N29/036 , G01N5/00
Abstract: 本发明公开了一种测定固液界面上动力学及热力学参数的方法，根据多种不同待测浓度配体溶液各自对应的频率‑时间曲线图和两种不同温度下另一待测浓度的配体溶液的频率‑时间曲线图，通过分析微悬臂梁传感器输出频率‑时间曲线并计算，得到固液界面上核酸适配体与其配体的动力学及热力学参数(结合/解离平衡常数KA/KD，吉布斯自由能△G°，表面覆盖度θ，结合/解离速率常数ka/kd，反应活化能Ea)。本方法克服了传统方法仪器昂贵，操作繁琐，参数测定单一等缺点，具有灵敏度高，成本低，操作简单快捷，无需标记与校正，可有效避免系统误差，一次性测定相关参数等优势，适用于多种核酸适配体与其配体的动力学与热力学参数的测定。
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公开(公告)号：CN115876835A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202211574079.X
申请日：2022-12-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种差分量热式MEMS气体传感器及气体检测方法，该传感器包括检测热电堆、参考热电堆、环境电阻、屏蔽环，检测热电堆及参考热电堆均包括单晶硅衬底、隔热空腔、多个单晶硅热偶对及支撑膜，其中，隔热空腔位于单晶硅衬底内，多个单晶硅热偶对串联连接且通过支撑膜支撑以悬设于隔热空腔之上实现热隔离，单晶硅热偶对包括串联的N型单晶硅热偶及P型单晶硅热偶，其中，检测热电堆的中心设置有催化剂材料。本发明的传感器对于痕量气体催化吸放热非常灵敏，且响应及恢复速度快，气体的浓度线性检测范围宽，可用于各种基于催化吸放热的气体浓度检测。本发明的检测方法对气体具有良好的选择性，能够实现目标气体的快速、超灵敏检测。
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公开(公告)号：CN114965549A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210515530.4
申请日：2022-05-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N25/12 , G01N5/04 , G01N23/04 , G01N23/20 , G01N23/20008
Abstract: 本发明提供一种纳米材料物相转变温度的测量方法，包括以下步骤：悬臂梁老化、测量基线获取、样品制备、样品预处理、测试曲线获取、数据处理。通过利用集成式谐振悬臂梁和数据采集处理系统，得到纳米材料在不同气氛下程序升温过程的热重曲线，进而可以分析得到样品的合适物相转变温度点，另外，还包括原位透射电子显微镜样品制备装载及原位透射电子显微镜观察的步骤，与气相原位透射电子显微镜联用，可以实时观察纳米材料在升温过程中的形貌变化，以得到能保持形貌稳定且物相转变的合适温度点，本发明的测量方法具有精确度高、效率高、所需样品量少、反馈及时等优点，可为材料的煅烧工艺提供关键的定量数据。
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