公开(公告)号：CN116318023A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202310354290.9

申请日：2023-04-04

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 欧欣 ,  隋东辰 ,  郑鹏程 ,  吴进波 ,  张师斌

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/56

Abstract: 本发明提供一种兰姆波谐振器及滤波器，通过调控局部薄膜的厚度来改善声阻抗的匹配性，包括在第一材料区中的压电薄膜中设置凹槽，或在第二材料区中的压电薄膜下方形成介质层，以对由叉指电极构成的具有厚度差的兰姆波谐振器进行局部厚度调整，使得第一材料区与第二材料区沿厚度方向交错设置，以抑制兰姆波谐振器的杂散模式，并根据该谐振器构建响应的滤波器，以抑制由杂散模式带来的通带性能恶化现象，从而有助于高频大带宽声学谐振器的发展。

公开(公告)号：CN115412052A

公开(公告)日：2022-11-29

申请号：CN202211034736.1

申请日：2022-08-26

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 欧欣 ,  孙米静 ,  张师斌 ,  郑鹏程 ,  隋东辰

IPC: H03H9/25 ,  H03H9/145

Abstract: 本发明公开了一种声表面波谐振器，包括：由下至上层叠设置的支撑衬底、压电薄膜和电极结构；电极结构的两侧分别设置有一个反射栅阵列；电极结构包括输入区叉指电极阵列、切换区叉指电极阵列和输出区叉指电极阵列；输入区叉指电极阵列、切换区叉指电极阵列和输出区叉指电极阵列并列且串联连接；输入区叉指电极阵列的输入端为声表面波谐振器的输入端，输入区叉指电极阵列的输出端与切换区叉指电极阵列的输入端连接；切换区叉指电极阵列的输出端与输出区叉指电极阵列的输入端连接，输出区叉指电极阵列的输出端为声表面波谐振器的输出端。本发明能够在保证声表面波谐振器性能的同时，有效降低其静态电容，满足设计需求。