公开(公告)号：CN112903688A

公开(公告)日：2021-06-04

申请号：CN202110164582.7

申请日：2021-02-05

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 武震宇 ,  陈浩 ,  姜新泉 ,  程建功 ,  谢非

IPC: G01N21/87 ,  G01N21/01 ,  G02B6/32 ,  G02B6/42

Abstract: 本发明提供一种钻石NV色心磁场传感器探头器件及传感器，该探头器件包括：光纤耦合模块及多层叠探头芯片模块。多层叠探头芯片的加工基于高精准度、高可靠的芯片加工工艺和MEMS产线标准流程，可实现高一致性的批量加工；另外，多层叠探头芯片通过MEMS键合技术，实现了单晶钻石与晶圆的异质集成，实现了毫米芯片尺寸级别的光学封装，极大地减小了传感器体积；再者，光纤耦合模块与多层叠探头芯片的耦合形成高Q值的FP腔结构，极大地提高了激发光的腔内功率，从而提高传感器的激发效率；最后，多层叠探头芯片的三层带开腔的键合结构，结合对荧光高反射的介电膜层形成全高反射内腔，荧光唯一出口为耦合的光纤，极大地提高了荧光的收集效率。

公开(公告)号：CN218767080U

公开(公告)日：2023-03-28

申请号：CN202221955451.7

申请日：2022-07-27

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 武震宇 ,  陈浩 ,  刘启慧 ,  程建功

IPC: G01R19/00

Abstract: 本实用新型提供一种基于钻石NV色心的量子电流传感器，该传感器包括电磁转换收集模块(收集穿过聚磁环的待测导线的电流的感应磁场)、磁场检测模块(检测聚磁环开口处的磁场信息，并通过输入其内部钻石NV色心处的激光和微波共同作用后产生的荧光信号输出)、光电转换模块(接收激光输入设备产生的参考激光及环形器输出的荧光信号，并将参考激光和荧光信号转换成电信号放大)和微波生成与分析模块(输入频率自主实时切换的微波信号至钻石NV色心磁传感探头并基于光电转换模块输出的电信号解调出磁场信息)。本实用新型的基于钻石NV色心的量子电流传感器由模块化与芯片化器件构成，可实现不同应用场景下的便携电流测量。