公开(公告)号：CN102347518B

公开(公告)日：2014-01-22

申请号：CN201110180049.6

申请日：2011-06-24

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 周健 ,  孙晓玮 ,  谈惠祖 ,  周舟 ,  周建华 ,  王伟 ,  刘正新

IPC: H01M10/46 ,  H01M10/058

Abstract: 本发明涉及一种高体积比能量微能源系统及制作方法，其特征在于所述的系统由a)用金刚石钻头在玻璃衬底上打孔，孔为两个相对的空心圆台；b)在玻璃衬底正面和背面溅射Al薄膜，Al膜的厚度填满空洞深度，实现双面Al互联；c)在Al背面依次沉积氮化钴镍、LiPON薄膜、Li薄膜和Al薄膜；d)在未覆盖电池多层膜的Al膜表面安装能源管理模块和RF收发模块；e)在玻璃正面Al表面依次沉积n型微晶硅、i型GexSi1-x，0＜x＜1，p型非晶硅和含3％Al的AZO；f)用Au线连接AZO、Li电池阳极、能源管理模块输出端、RF收发模块输出端。采用方法为溅射沉积方法，制作微能源系统体积比能量密度大于291.9W/L，为物联网节点微型化、便携性、长时供电及野外应用提供技术手段。

公开(公告)号：CN102347518A

公开(公告)日：2012-02-08

申请号：CN201110180049.6

申请日：2011-06-24

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 周健 ,  孙晓玮 ,  谈惠祖 ,  周舟 ,  周建华 ,  王伟 ,  刘正新

IPC: H01M10/46 ,  H01M10/058

Abstract: 本发明涉及一种高体积比能量微能源系统及制作方法，其特征在于所述的系统由a)用金刚石钻头在玻璃衬底上打孔，孔为两个相对的空心圆台；b)在玻璃衬底正面和背面溅射Al薄膜，Al膜的厚度填满空洞深度，实现双面Al互联；c)在Al背面依次沉积氮化钴镍、LiPON薄膜、Li薄膜和Al薄膜；d)在未覆盖电池多层膜的Al膜表面安装能源管理模块和RF收发模块；e)在玻璃正面Al表面依次沉积n型微晶硅、i型GexSi1-x，0＜x＜1，p型非晶硅和含3％Al的AZO；f)用Au线连接AZO、Li电池阳极、能源管理模块输出端、RF收发模块输出端。采用方法为溅射沉积方法，制作微能源系统体积比能量密度大于291.9W/L，为物联网节点微型化、便携性、长时供电及野外应用提供技术手段。

公开(公告)号：CN102290595A

公开(公告)日：2011-12-21

申请号：CN201110180043.9

申请日：2011-06-24

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 周健 ,  孙晓玮 ,  谈惠祖 ,  周舟 ,  周建华 ,  王伟

IPC: H01M10/0525 ,  H01M4/136 ,  H01M4/58 ,  H01M4/1397 ,  H01M10/058 ,  H01M10/0562

Abstract: 本发明涉及一种全固态高循环寿命薄膜锂电池及制作方法，其特征在于薄膜锂电池组成为：①在玻璃衬底表面溅射一层Al薄膜；②在Al薄膜表面溅射沉积一层氮化镍钴薄膜，作为阳极薄膜，氮化镍钴薄膜的组成通式为ComNi1-mN(0＜m＜1)；③在氮化镍钴薄膜的表面溅射沉积组成通式为Li1+xMxTi(PO4)3薄膜(0＜x＜2)，M为Al、Sc、Y、Fe或Cr；④在Li1+MxTi(PO4)3薄膜上沉积一层金属锂薄膜；⑤在Li薄膜沉积Ni薄膜作为阴极集电极；⑥在Li薄膜表面覆盖封装后，且分别在阴极和阳极集电极处引出Au处。且具有制备工艺简单，不需要高温退火过程，电池按国标测定充放电循环次数达1500次，且保持电池容量80％，且可通过沉积多层膜方法实现高电压输出，在微能源、传感器以及网络方面有广泛应用。

公开(公告)号：CN101625558B

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN200910056429.1

申请日：2009-08-14

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 周健 ,  孙晓玮 ,  王伟 ,  谈惠祖 ,  周舟

IPC: G05B19/05 ,  H02J7/00 ,  H01M8/04 ,  H01L31/042 ,  H01L31/072 ,  H01L31/0304 ,  H01M8/10 ,  H01M10/36

CPC classification number: Y02E10/50

Abstract: 本发明涉及一种基于可再生燃料电池的野外应急可再生能源管理系统及其实施方法，由太阳能电池、燃料电池、蓄电池、储氢瓶、水罐、逆变器、负载、可编程逻辑能源控制单元和无线收发模块等单元互相连接组成。通过可编程逻辑能源控制中心的智能化管理，实现太阳能的有效利用，系统电力不足时通过GPRS向指挥中心发送信号；该系统具有智能化、长时间供电、无人值守等特点，使管理系统的总体能量转换效率高于10％。

公开(公告)号：CN101866959A

公开(公告)日：2010-10-20

申请号：CN201010175937.4

申请日：2010-05-14

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 周健 ,  孙晓玮 ,  谈惠祖 ,  周舟 ,  周建华

IPC: H01L31/0232 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/52 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明涉及一种基于单晶硅衬底的宽谱宽角吸收太阳电池类蛾眼减反结构及其制作方法，其特征在于借助仿生学原理，采用类蛾眼微纳结构作为减反层，增加光能捕获；微纳结构是采用拉膜(LM)法形成密集单层硅或硅化物颗粒网络，作为掩模形成的；采用干法刻蚀工艺，刻蚀单晶Si，形成微纳结构，避免了湿法腐蚀腐蚀深度受限的不足；调节掩模颗粒大小和密度，来调节类蛾眼微纳结构的光学折射系数梯度，实现0-60度宽入射光的宽角度吸收；采用调节微纳结构的尺寸(20-800纳米)、深度和周期性的方法，实现红外、可见、紫外(250纳米-2.5微米)的宽谱段光能吸收，从而提高电池效率。