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公开(公告)号：CN115940868A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211613870.7
申请日：2022-12-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Inventor： 欧欣 , 孙米静 , 张师斌 , 张丽萍 , 郑鹏程
IPC: H03H9/02
Abstract: 本发明提供一种声表面波谐振器，通过在衬底与压电薄膜之间引入由n层参数渐变的介质层构成的渐变复合层，使得高阶杂散模式的能量能逐步向下传导，从而可有效抑制高阶杂散模式，以在实现温度补偿提升谐振器Q值的同时，还可避免对谐振器性能的影响。
