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公开(公告)号：CN104267556A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201410491343.2
申请日：2014-09-24
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种可补偿光程差的光纤相移装置，包括底座、分别固定在该底座两端的第一光纤耦合器模块和第二光纤耦合器模块，第一光纤耦合器模块和第二光纤耦合器模块相互准直，第一光纤耦合器模块包括第一光纤传输线、第一五自由度加旋转调整光纤耦合器和第一支架，第一五自由度加旋转调整光纤耦合器通过第一支架固定在底座上，第一光纤传输线与第一五自由度加旋转调整光纤耦合器相接。本发明在测量成像系统光路以外产生相移，消除了传统相移产生的系统误差，能够补偿特殊光程差，简化了测量系统整体结构，且具有结构简单、组装容易的优点。
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公开(公告)号：CN112965099B
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202110184543.3
申请日：2021-02-10
Applicant: 上海市农业科学院 , 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海束能辐照技术有限公司
IPC: G01T1/36
Abstract: 一种电子加速器能量测量方法，将所述的辐射变色计放置在电子加速器束流输出口，且所述的辐射变色计的长度方向沿束流方向；设置所述的电子加速器输出能量值，开启束流,在束流输出时间t后关闭束流；利用所述的变色长度测量单元测量所述的辐射变色计经加速器束流辐照后发生变色的变色区域长度L；计算束流能量E元。本发明可以在极短的时间内对辐射变色计能量进行测量，无需繁杂的计算过程，提高了电子加速器能量的测量精度，节省了测量时间，能够适用于需要方便携带且实现现场实时测量的工况。
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公开(公告)号：CN114322748A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111392143.8
申请日：2021-11-19
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B9/02
Abstract: 一种偏振同步相移点衍射干涉仪及其检测方法，干涉仪的组成包括：理想波前发生模块、待测光学系统、像面掩模、偏振相移模块、二维偏振成像光电探测器和数据处理单元。本发明采用单个光电探测器实现3个以上相移量干涉图的同步探测，具有抑制环境干扰、光路灵活、测量精度高、能够标定干涉仪系统误差等优点。
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公开(公告)号：CN112013972A
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201910450984.6
申请日：2019-05-28
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明涉及一种横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及方法。该标定装置包括准直光源、带有已知底角度数的多边形相位台阶标定板，以及待标定的横向剪切干涉波前传感器。该标定方法利用差分波前的提取算法，从待标定传感器所采集到的干涉图提取沿剪切方向的差分波前信息，并结合差分波前的几何特征分布，计算出剪切量的大小，从而实现对波前传感器剪切量的标定。
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公开(公告)号：CN110736544A
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201910948566.X
申请日：2019-10-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及标定方法。该标定装置包括准直光源、圆形相位台阶标定板，以及待标定的横向剪切干涉波前传感器。该标定方法利用差分波前的提取算法，从待标定传感器所采集到的干涉图提取沿剪切方向的差分波前信息，并根据差分波前的特征图形面积大小，计算剪切量的标定结果。本发明采用圆形相位台阶标定板，基于差分波前的特征图形对剪切量进行标定，对相位板的摆放角度无特殊要求，从而在简化了标定装置的同时，提高了剪切量标定的精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109814270A
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201910226513.7
申请日：2019-03-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种激光器输出光空间相干性抑制装置，包括激光器、扩束镜、聚焦透镜、第一毛玻璃、传输光纤、成像透镜、第二毛玻璃、匀光棒、成像透镜、第三毛玻璃。本发明利用第一毛玻璃破坏激光器输出光的空间相干性，利用传输光纤模间色散效应及匀光棒的非相干叠加原理进一步抑制光束的空间相干性；通过两个成像透镜调节照明NA(数值孔径)与照明视场的大小；通过第二毛玻璃、第三毛玻璃增强照明光场和照明光瞳的均匀性。
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公开(公告)号：CN107462179B
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201710547369.8
申请日：2017-07-06
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种双点光源间距的纳米精度测量方法，将面阵探测器放置在两个点光源下方，建立双点光源干涉场的数学模型，通过控制点光源的开闭并结合图像处理技术，获得点光源间距的粗测值，然后保持两个点光源均打开，采集两个点光源的干涉图，求解干涉相位，按照面阵探测器坐标系，对得到的干涉相位进行泽尼克多项式前9项拟合得到泽尼克多项式系数值。通过计算像差项系数的偏导数，并结合面阵探测器采集到的干涉相位拟合泽尼克多项式的系数值，利用偏导数的定义实现对点光源间距d、点光源的连线中心与面阵探测器光敏面的垂直距离Z、面阵探测器旋转角度θ和面阵探测器倾斜角γ的修正。通过迭代计算，得到点光源间距d的精确值，实现两点光源间距的纳米精度测量。
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公开(公告)号：CN107036529B
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201710312393.3
申请日：2017-05-05
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B9/02
Abstract: 一种偏振同步相移干涉仪，包括偏振干涉仪和同步相移模块；同步相移模块包括非偏振分束器，第一检偏器阵列，第二检偏器阵列或检偏器，第一光电探测器阵列和第二光电探测器阵列。本发明采用2个光电探测器阵列实现3个以上相移量干涉图的同步探测，具有光电探测器阵列坐标关系标定难度低，光路简单，检偏器阵列复杂性降低，检测空间分辨率高的优点。
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公开(公告)号：CN108106818A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201711310720.8
申请日：2017-12-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种光学成像系统倍率与畸变高精度测量装置，包括至少两个点光源、面阵探测器、物方工作台、像方工作台，其中：由物方工作台承载的两个点光源位于待测光学成像系统的物方视场内，出射光来自同一光源并可相互干涉；而由像方工作台承载的面阵探测器位于待测光学成像系统的像方区域。采用上述装置测量待测光学成像系统的倍率与畸变：首先，测量成像系统中心视场沿物方工作台X和Y方向的倍率作为这两个方向上的理想倍率βx0和βy0；然后，通过测量相邻两个点光源间距及其经过成像系统后所成的两个像点间距，得到成像系统全视场X和Y方向的倍率分布；最后利用各视场点的倍率和坐标值，得到全视场X和Y方向上相对畸变分布。
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公开(公告)号：CN106324996A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201510325941.7
申请日：2015-06-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种光刻机原位多通道成像质量检测装置及方法，该装置包括光刻机的光源、照明系统、掩模台、投影物镜、工件台和计算机，还包括物面光栅板、波像差传感器。利用该装置原位检测光刻机的成像质量：波像差、畸变与场曲，提高了成像质量检测的并行通道数和检测速度。
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