基于ZnO纳米线阵列的三维MIS结构及其制备方法及β核电池

    公开(公告)号:CN114203328A

    公开(公告)日:2022-03-18

    申请号:CN202111518664.3

    申请日:2021-12-13

    Abstract: 本发明公开了基于ZnO纳米线阵列的三维MIS结构及其制备方法及β核电池,制备方法包括以下步骤:S1、水热生长ZnO纳米线阵列:采用由硝酸锌和六亚甲基四胺组成的生长溶液,通过水热反应在目标基底上形成ZnO纳米线阵列;S2、采用ALD法在步骤S1制备的ZnO纳米线阵列表面沉积绝缘层;S3、采用ALD法在步骤S2制备的绝缘层表面沉积辐射源层。通过本发明所述制备方法制备的三维MIS结构不仅能够提高辐射源与换能器件的接触面积,进而提高辐射源的利用率,且辐射源可作为肖特基结的金属材料,从而简化了电池结构。

    大功率堆叠β核电池、双端二氧化钛β核电池及制备方法

    公开(公告)号:CN114188062A

    公开(公告)日:2022-03-15

    申请号:CN202111537071.1

    申请日:2021-12-13

    Abstract: 本发明公开了大功率堆叠β核电池、双端二氧化钛β核电池及制备方法,大功率堆叠β核电池,由若干换能单元逐级堆叠形成,所述若干换能单元包括双端TiO2纳米管阵列薄膜,所述双端TiO2纳米管阵列薄膜的一端设置有辐射源薄膜;所述双端TiO2纳米管阵列薄膜包括钛片,所述钛片的两端均通过阳极氧化法生长形成TiO2纳米管阵列薄膜。本发明由阳极氧化法制备的双端TiO2纳米管阵列薄膜结合超薄辐射源得到超薄β核电池器件极大的降低了器件重复单元的厚度;利用本发明得到的TiO2基堆叠β核电池厚度可控,功率密度大幅提高,应用范围广泛。

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