公开(公告)号：CN211904158U

公开(公告)日：2020-11-10

申请号：CN201922245474.3

申请日：2019-12-13

Applicant: 中北大学

Inventor： 张瑞 ,  秦世洋 ,  李孟委 ,  金丽

IPC: G01C19/5656 ,  G01C19/5663

Abstract: 本实用新型属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的技术领域，具体涉及基于四桥路隧道磁阻元件的面内检测MEMS陀螺装置。所述面内检测MEMS陀螺装置包括至少一个键合基板、至少一个微陀螺结构、至少一个磁阻基板、及隧道磁阻器件；隧道磁阻器件通过敏感到回折形通电线圈产生的正弦磁场变化，自身阻值发生剧烈改变，进而实现对微陀螺科氏力的检测。此装置整体结构设计合理紧凑，创新性的通过结合相反性能隧道磁阻元件、多路差分电压输出实现对微弱磁场变化高灵敏检测，整体结构设计合理、简单，能够有效的避免外磁干扰，且可以减小由于集成造成的误差。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN207395752U

公开(公告)日：2018-05-22

申请号：CN201721017176.3

申请日：2017-08-15

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  秦世洋 ,  丁希聪 ,  王威 ,  李秀源

IPC: G01C21/16

Abstract: 一种隧道磁阻检测的微惯性组件，主要结构由键合基板，支撑框架、敏感质量块、检测梁、连接块、悬臂梁、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在支撑框架上设置敏感质量块、检测组合梁、悬臂梁，在敏感质量块上设置检测磁体，检测组合梁由检测梁、连接块组成，隧道磁阻元件设置于键合基板凹槽上并与敏感质量块上方检测磁体相对应，对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此装置结构设计合理、简单，无需驱动，易单片集成，适合微型化。

公开(公告)号：CN207197533U

公开(公告)日：2018-04-06

申请号：CN201721017277.0

申请日：2017-08-15

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  丁希聪 ,  秦世洋 ,  王威 ,  李秀源

IPC: G01C19/5656

Abstract: 一种隧道磁阻非谐振式三轴MEMS陀螺，主要结构由键合基板、支撑框架、敏感质量块、检测梁、连接块、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在支撑框架上设置敏感质量块、检测组合梁，在敏感质量块上设置检测磁体，检测组合梁由检测梁、连接块组成，隧道磁阻元件设置于键合基板凹槽上并与敏感质量块上方检测磁体相对应，对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此陀螺结构设计合理、简单，无需驱动，易单片集成。

公开(公告)号：CN213581020U

公开(公告)日：2021-06-29

申请号：CN201922236434.2

申请日：2019-12-13

Applicant: 中北大学

Inventor： 张瑞 ,  秦世洋 ,  李孟委 ,  金丽

IPC: G01P15/105

Abstract: 本实用新型属微惯性导航的技术领域，具体涉及一种隧道磁阻检测的三轴加速度计装置。一种隧道磁阻检测的三轴加速度计装置，主要结构由键合基板、支撑框架、敏感质量块、检测梁、连接块、悬臂梁、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在支撑框架上设置敏感质量块、检测组合梁、悬臂梁，在敏感质量块上设置检测磁体，所述敏感质量块、及位于敏感质量块两侧的检测组合梁共同构成矩形体检测结构，所述矩形体检测结构位于三轴加速度计装置整体结构检测方向的轴线方向上，实现高精度的加速度检测。此装置结构对微弱磁场变化具有高灵敏特性，设计合理、简单，易单片集成，适合微型化。

公开(公告)号：CN210570714U

公开(公告)日：2020-05-19

申请号：CN201920541160.5

申请日：2019-04-19

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  张瑞 ,  丁希聪 ,  秦世洋

IPC: G01C19/5656

Abstract: 一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置,主要结构由键合基板、微陀螺结构、磁阻基板三部分组成，其中键合基板设置于微陀螺结构下方，微陀螺结构上表面中心位置设置有蛇形通电线圈，磁阻基板设置于微陀螺结构上方，其中心设置有隧道磁阻元件，隧道磁阻元件与蛇形通电线圈相对应，通过敏感到蛇形通电线圈产生的正弦磁场变化，自身阻值发生剧烈改变，进而实现对微陀螺科氏力的检测。此装置整体结构设计合理紧凑，创新性的将蛇形通电线圈应用于微陀螺中，此外还采用高灵敏的隧道磁阻元件检测微弱磁场变化，预期可将微陀螺的检测精度提高一至两个数量级，整体结构设计合理，工艺制造简单，可实现性强且容易检测。

公开(公告)号：CN207395750U

公开(公告)日：2018-05-22

申请号：CN201721017271.3

申请日：2017-08-15

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  丁希聪 ,  秦世洋 ,  李秀源

IPC: G01C19/5656 ,  G01R33/09

Abstract: 一种电磁驱动式隧道磁阻面内检测微陀螺装置,主要结构由键合基板、支撑框架、驱动组合梁、检测组合梁、驱动质量块、检测质量块、驱动梁、检测梁、驱动梁连接块、检测梁连接块、驱动磁体、检测磁体、隧道磁阻元件、导线、电极组成，支撑框架设置于键合基板上方，支撑框架通过驱动组合梁连接驱动质量块，驱动质量块通过检测组合梁连接检测质量块，隧道磁阻元件设置在检测质量块上表面中心位置并与键合基板凹槽内沉积的检测磁体相对应，此装置整体结构设计合理紧凑，采用电磁驱动，隧道磁阻检测，隧道磁阻元件对微弱磁场变化具有高灵敏特性，可将微陀螺的检测精度提高一至两个数量级，且使用方便、可靠性好、适合微型化。