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公开(公告)号:CN100363163C
公开(公告)日:2008-01-23
申请号:CN200410048944.2
申请日:2004-06-11
CPC classification number: B29C33/56 , B29C33/10 , B29C45/14655 , B29C45/34 , B29C70/72 , H01L2224/48091 , Y10S425/812 , H01L2924/00014
Abstract: 树脂成型模用材料(12)具备多个从型面(6)向内部几乎以直线状延伸、具有1nm级至100nm级的孔径的一维连通孔(10),包含型面(6)和一维连通孔的表面层(13),覆盖该表面层的背面侧的支持层(14),以及支持层中与一维连通孔连通而设置的具有1μm级的孔径的多个三维连通孔(15)。该结构使液状树脂难以进入到一维连通孔的内部,减少型面和液状树脂的接触面积,使型面起到排斥液状树脂的作用。此外,模腔(5)内的气体依次通过一维连通孔和三维连通孔被排出。其结果是,使型面和成型品间的脱模性有所提高,同时能够抑制空隙的产生。
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公开(公告)号:CN1572454A
公开(公告)日:2005-02-02
申请号:CN200410048944.2
申请日:2004-06-11
CPC classification number: B29C33/56 , B29C33/10 , B29C45/14655 , B29C45/34 , B29C70/72 , H01L2224/48091 , Y10S425/812 , H01L2924/00014
Abstract: 树脂成型模用材料(12)具备多个从型面(6)向内部几乎以直线状延伸、具有1nm级至100nm级的孔径的一维连通孔(10),包含型面(6)和一维连通孔的表面层(13),覆盖该表面层的背面侧的支持层(14),以及支持层中与一维连通孔连通而设置的具有1μm级的孔径的多个三维连通孔(15)。该结构使液状树脂难以进入到一维连通孔的内部,减少型面和液状树脂的接触面积,使型面起到排斥液状树脂的作用。此外,模腔(5)内的气体依次通过一维连通孔和三维连通孔被排出。其结果是,使型面和成型品间的脱模性有所提高,同时能够抑制空隙的产生。
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