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公开(公告)号：CN103888888B
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201410159536.8
申请日：2014-04-18
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明提供了种电容式硅微型麦克风及其制作方法。种电容式硅微型麦克风,包括衬底、背板以及支撑结构,所述衬底上设有隧穿层,所述隧穿层上设有介质层,所述介质层作为存储层,所述存储层上设有阻挡层;在所述衬底正中下方位置开设有空腔,位于所述空腔正上方的衬底、隧穿层、存储层以及阻挡层共同构成振膜;所述背板设在所述衬底上方,所述背板设有通孔;所述背板和所述振膜之间通过支撑结构连接,并在所述振膜正上方形成间隙。本发明提供的电容式硅微型麦克风无需外加电源,与CMOS工艺兼容,具有易于微型化、低成本、高精度、高可靠性的优点,并能应用于高温、高湿等恶劣环境。
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公开(公告)号：CN105628277A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201610029440.9
申请日：2016-01-15
Applicant: 东南大学
IPC: G01L5/00
CPC classification number: G01L5/0047
Abstract: 本发明公开一种基于角度变化的MEMS微梁应力梯度的测试结构和测量方法，包括衬底、两个锚区、两根被测悬臂梁、四根小悬挂梁和六根细短梁，整个测试结构分为关于纵向中轴线L完全对称的左边结构和右边结构；所述测试结构中的四根悬挂梁、两根被测悬臂梁的末端，以及相连的六根细短梁，围成一矩形环状。当悬臂梁因应力梯度的存在而产生向上或向下的弯曲时，将会带动矩形环变形，成为类似菱形环的形状，通过测量类菱形环的夹角，即可判断出结构层应力梯度的大小。本发明方法与常用光学方法比较，降低了对观测设备的要求，直观、方便。
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公开(公告)号：CN103904932B
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201410164513.6
申请日：2014-04-23
Applicant: 东南大学
IPC: H02N1/06
Abstract: 本发明公开了一种静电式振动能量收集器及其制作方法，采用在电荷陷阱型非易失性存储器结构(10)上表面通过支撑结构(21)设置盖板(22)构成腔体，在腔体内设置有可动金属电极(23)，可动金属电极（23）能够在电荷陷阱型非易失性存储器结构(10)表面运动，储存在电荷陷阱型非易失性存储器结构中的电荷极化可动金属电极。本发明提供的静电式振动能量收集器无需外加电源，设计和结构简单，具有高的能量采集效率，与CMOS工艺兼容，易于微型化，可靠性高，并能应用于高温、高湿等恶劣环境。
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公开(公告)号：CN103552973B
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201310565297.1
申请日：2013-11-14
Applicant: 东南大学
IPC: B81B3/00
Abstract: 本发明公开了一种微机械系统中带有热驱动粘附消除机构的微悬臂梁结构，包括衬底、通过锚区连接在衬底上的悬臂梁、用于静电激励的下拉电极、衬底接触电极和粘附消除机构。所述粘附消除机构位于悬臂梁的末端，由一根与悬臂梁末端垂直连接的直梁、与该直梁两端垂直连接的横梁、以及与所述横梁两端分别垂直连接的纵向臂构成。该粘附消除机构通过热驱动方式消除悬臂梁在加工和使用中的粘附现象。本发明还公开了粘附消除机构的具体工作方式，方便可行。
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公开(公告)号：CN103604533B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201310611720.7
申请日：2013-11-27
Applicant: 东南大学
IPC: G01L1/14
Abstract: 一种偏转电容式表面微机械加工残余应力测试结构，包括衬底、两块下极板和上极板、左横梁、右横梁和两个锚区；下极板沉积于衬底上表面；两个锚区置于衬底上；上极板悬置在下极板上方；左横梁和右横梁完全相同，分别位于上极板的横向中轴线L两侧，且相距中轴线L的距离相等；左横梁的右侧连接上极板左侧，左横梁的左侧固定在一个锚区侧面；右横梁的左侧连接上极板右侧，右横梁的右侧固定在另一个锚区侧面；上极板与左横梁和右横梁位于同一平面。该发明结构简单，易于加工且测试设备简单、精度高，通过增加测试结构中电容上、下极板的面积可以提高测量精度，且发明中采用的上极板旋转方法比平移方法易于获得更大的电容变化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103552979B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201310565107.6
申请日：2013-11-14
Applicant: 东南大学
IPC: B81B7/02
Abstract: 本发明公开了一种热-静电强回复型MEMS四点支撑悬挂梁结构，包括衬底、涂敷于衬底顶面上的静电下拉电极、锚区、悬挂主梁和弯折支撑梁。所述悬挂主梁通过四个锚区和弯折支撑梁悬挂在衬底上方；所述悬挂梁在下拉态（“down”态）向悬挂态（“up”态）转换过程中，通过对弯折支撑梁的欧姆加热，使悬挂主梁受到拉伸作用，提高了悬挂主梁的有效刚度，增强了回复力；所述弯折支撑梁中的纵梁采用双根并列的宽窄梁设计，使悬挂主梁更稳定，且加热后更有利于悬挂主梁从“down”态回复到“up”态。本发明还公开了增强回复力的具体工作方式，方法简单、方便可行。
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公开(公告)号：CN103604536A
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN201310618847.1
申请日：2013-11-27
Applicant: 东南大学
IPC: G01L1/14
Abstract: 一种电容式表面微机械加工残余应力测试结构，包括衬底、两块下极板和上极板、直角梁和两个锚区；下极板沉积于衬底上表面；两个锚区置于衬底上；上极板悬置在下极板上方，直角梁以上极板为轴分为完全对称的两部分，每一部分包括两个直角边，其中一个直角边连接上极板的一侧，另一个直角边固定在一个锚区侧面；上极板与直角梁位于同一平面，该平面与衬底所在平面平行；两块下极板与上极板之间分别形成平板电容C1和C2。结构层残余应力在引起上极板的平移后，电容C1和C2会发生变化，通过MEMS电容常规测试，即可获取残余应力的具体信息。本发明通过简单的电容结构，实现了表面微机械加工过程中产生的残余应力的测试，且成本低廉，易于操作。
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公开(公告)号：CN103552979A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201310565107.6
申请日：2013-11-14
Applicant: 东南大学
IPC: B81B7/02
Abstract: 本发明公开了一种热-静电强回复型MEMS四点支撑悬挂梁结构，包括衬底、涂敷于衬底顶面上的静电下拉电极、锚区、悬挂主梁和弯折支撑梁。所述悬挂主梁通过四个锚区和弯折支撑梁悬挂在衬底上方；所述悬挂梁在下拉态（“down”态）向悬挂态（“up”态）转换过程中，通过对弯折支撑梁的欧姆加热，使悬挂主梁受到拉伸作用，提高了悬挂主梁的有效刚度，增强了回复力；所述弯折支撑梁中的纵梁采用双根并列的宽窄梁设计，使悬挂主梁更稳定，且加热后更有利于悬挂主梁从“down”态回复到“up”态。本发明还公开了增强回复力的具体工作方式，方法简单、方便可行。
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公开(公告)号：CN103552973A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201310565297.1
申请日：2013-11-14
Applicant: 东南大学
IPC: B81B3/00
Abstract: 本发明公开了一种微机械系统中带有热驱动粘附消除机构的微悬臂梁结构，包括衬底、通过锚区连接在衬底上的悬臂梁、用于静电激励的下拉电极、衬底接触电极和粘附消除机构。所述粘附消除机构位于悬臂梁的末端，由一根与悬臂梁末端垂直连接的直梁、与该直梁两端垂直连接的横梁、以及与所述横梁两端分别垂直连接的纵向臂构成。该粘附消除机构通过热驱动方式消除悬臂梁在加工和使用中的粘附现象。本发明还公开了粘附消除机构的具体工作方式，方便可行。
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公开(公告)号：CN102589965B
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201210005078.3
申请日：2012-01-10
Applicant: 东南大学
IPC: G01N3/00
Abstract: 本发明公开了一种多晶硅泊松比在线测试结构，包括绝缘衬底、非对称的多晶硅十字梁、第一多晶硅下极板和第二多晶硅下极板，并通过静电力驱动的方式使非对称的多晶硅十字梁发生偏转，从而根据几何关系和材料力学原理获得多晶硅材料的泊松比参数。本发明通过激励电压所产生的静电力使测试结构发生转动，通过结构设计使最大扭转角成为已知量，并根据测试结构达到最大扭转角时的激励电压测量值，以及已知的结构几何参数和物理参数计算得到多晶硅材料的泊松比，因而测试设备要求低，且测试方法简单，测试过程及测试参数值稳定。多晶硅加工制备过程与后续微机电器件（MEMS）的制造同步进行时，没有特殊加工要求，完全符合在线测试的要求。
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