公开(公告)号：CN110983227B

公开(公告)日：2022-09-27

申请号：CN201911269195.9

申请日：2017-11-07

Applicant: 东京毅力科创株式会社 ,  福吉米株式会社

Inventor： 长山将之 ,  伊部博之 ,  益田敬也

IPC: C23C4/04 ,  C23C4/12

Abstract: 本发明涉及喷镀用材料和带喷镀膜的构件。提供能够形成耐等离子体侵蚀性进一步提高了的致密的喷镀膜的喷镀用材料。利用本发明公开的技术，制成下述喷镀用材料，其包含稀土元素(RE)、氧(O)和卤素元素(X)作为构成元素，并且包含稀土元素卤氧化物(RE‑O‑X)与稀土元素卤化物(REX3)的混晶。

公开(公告)号：CN108070812A

公开(公告)日：2018-05-25

申请号：CN201711086205.6

申请日：2017-11-07

Applicant: 东京毅力科创株式会社 ,  福吉米株式会社

Inventor： 长山将之 ,  伊部博之 ,  益田敬也

IPC: C23C4/04 ,  C23C4/12

Abstract: 本发明涉及喷镀用材料和带喷镀膜的构件。提供能够形成耐等离子体侵蚀性进一步提高了的致密的喷镀膜的喷镀用材料。利用本发明公开的技术，制成下述喷镀用材料，其包含稀土元素(RE)、氧(O)和卤素元素(X)作为构成元素，并且包含稀土元素卤氧化物(RE-O-X)与稀土元素卤化物(REX3)的混晶。

公开(公告)号：CN115896672A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202211217540.6

申请日：2022-09-30

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 关康平 ,  冈本直树 ,  益田敬也 ,  伊部博之

IPC: C23C4/11 ,  C23C4/134

Abstract: 本发明涉及喷镀用粉末及喷镀膜的制作方法。提供：维持适于喷镀的流动性、且在喷镀时可以供给更微细化的陶瓷颗粒的技术。此处公开的喷镀用粉末由陶瓷颗粒构成。该喷镀用粉末的特征在于，将该喷镀用粉末以下述条件在水中进行大气压等离子喷镀后与该喷镀前相比时，该喷镀用粉末的基于激光衍射散射法的平均粒径(D50)的值至少减小25％。所述条件为：等离子工作气体：氩(Ar)气：50psi；及氦(He)气：50psi；等离子输出：36kW；喷镀用粉末的供给速度：20g/分钟；喷镀距离：400mm。

公开(公告)号：CN108070812B

公开(公告)日：2019-12-27

申请号：CN201711086205.6

申请日：2017-11-07

Applicant: 东京毅力科创株式会社 ,  福吉米株式会社

Inventor： 长山将之 ,  伊部博之 ,  益田敬也

IPC: C23C4/04 ,  C23C4/12

Abstract: 本发明涉及喷镀用材料和带喷镀膜的构件。提供能够形成耐等离子体侵蚀性进一步提高了的致密的喷镀膜的喷镀用材料。利用本发明公开的技术，制成下述喷镀用材料，其包含稀土元素(RE)、氧(O)和卤素元素(X)作为构成元素，并且包含稀土元素卤氧化物(RE‑O‑X)与稀土元素卤化物(REX3)的混晶。

公开(公告)号：CN108624835A

公开(公告)日：2018-10-09

申请号：CN201810225757.9

申请日：2018-03-19

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 益田敬也 ,  伊部博之 ,  杉村和弥

IPC: C23C4/10 ,  C23C4/134

CPC classification number: C23C4/11 ,  C09D1/00 ,  C23C4/134 ,  C23C4/10

Abstract: 本发明涉及一种喷镀用浆料。提供抑制裂纹的产生、并且能形成致密的喷镀皮膜的喷镀用浆料。喷镀用浆料含有平均粒径为1μm以上且10μm以下的喷镀颗粒和分散有喷镀颗粒的分散介质，通过下述数学式算出的填充率为84质量％以下。下述数学式中的A为通过离心分离法使喷镀用浆料中的喷镀颗粒沉降而形成的喷镀颗粒的滤饼的质量，B为从滤饼中去除滤饼所含有的分散介质而得到的干燥物的质量。填充率(质量％)＝B/A×100。