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公开(公告)号：CN109196960A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201780032809.4
申请日：2017-05-17
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 鸟井夏实
IPC: H05H1/46 , H01L21/3065
Abstract: 本发明提供一种能够实现高速匹配动作的匹配器。一实施方式的匹配器具备串联部、并联部及一个以上的可变直流电源。串联部包含具有可变电容的第1二极管，且设置于高频输入端与高频输出端之间。并联部包含具有可变电容的第2二极管，且设置于输入端与输出端之间的节点及地之间。一个以上的可变直流电源以对第1二极管及第2二极管施加可变反向偏置电压的方式而设置。
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