公开(公告)号：CN110392864A

公开(公告)日：2019-10-29

申请号：CN201880015518.9

申请日：2018-03-27

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 谷垣勇刚 ,  三好一登

IPC: G03F7/037 ,  C08F2/44 ,  C08F20/20 ,  C08F291/00 ,  G02F1/1335 ,  G02F1/1339 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/032 ,  G03F7/038 ,  G03F7/075 ,  G03F7/20 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22

Abstract: 本发明的目的在于得到敏感度高、能够在显影后及热固化后形成低锥度形状的图案、能够抑制热固化前后的图案开口尺寸宽度变化、且遮光性优异的固化膜及形成其的负型感光性树脂组合物。负型感光性树脂组合物，其含有(A)碱溶性树脂、(B)自由基聚合性化合物、(C1)光聚合引发剂及(Da)黑色剂，(A)碱溶性树脂含有(A1)第一树脂，所述(A1)第一树脂包含选自由(A1-1)聚酰亚胺、(A1-2)聚酰亚胺前体、(A1-3)聚苯并噁唑、(A1-4)聚苯并噁唑前体及(A1-5)聚硅氧烷组成的组中的一种以上，(B)自由基聚合性化合物含有选自由(B1)含有芴骨架的自由基聚合性化合物及(B2)含有茚满骨架的自由基聚合性化合物组成的组中的一种以上。

公开(公告)号：CN107429058A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201680017449.6

申请日：2016-04-20

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 藤原健典 ,  谷垣勇刚

IPC: C08L79/08 ,  C08L79/04 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  G03F7/09 ,  G03F7/40 ,  G03F7/42

Abstract: 树脂组合物，其特征在于，所述树脂组合物含有：(A1)具有特定的结构单元的碱溶性树脂；(A2)选自由具有与前述碱溶性树脂的反应性基团反应的取代基的聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰胺酰亚胺、它们的前体及它们的共聚物组成的组中的一种以上的树脂；及(B)感光剂，相对于100重量份的树脂(A1)而言，树脂(A2)为310～2000重量份。本发明提供一种可适合地用作即使在高温工艺处理后也可维持高分辨率和图案的形状、在工艺处理后可剥离的光致抗蚀剂的树脂组合物。

公开(公告)号：CN109804310B

公开(公告)日：2022-09-30

申请号：CN201780059377.6

申请日：2017-08-22

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 谷垣勇刚 ,  石川晓宏 ,  三好一登

IPC: G03F7/037 ,  C08F20/28 ,  G02F1/1335 ,  G02F1/1339 ,  G03F7/004 ,  G03F7/033 ,  G03F7/038 ,  G03F7/075 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22

Abstract: 本发明提供能够抑制由颜料引起的显影残渣的产生、并且能够得到敏感度高、耐热性及遮光性优异的固化膜的负型感光性树脂组合物。负型感光性树脂组合物含有(A)碱溶性树脂、(B)自由基聚合性化合物、(C1)光聚合引发剂及(D1)颜料，上述(B)自由基聚合性化合物含有(B1)含柔软链的自由基聚合性化合物，上述(B1)含柔软链的自由基聚合性化合物含有下述化合物，所述化合物具有(I)来自在分子中具有至少三个羟基的化合物的结构、(II)至少三个烯键式不饱和双键基团、及(III)至少一个脂肪族链，上述脂肪族链的平均分子量为40～500，上述(D1)颜料的含有比率为全部固态成分中的5～70质量％。

公开(公告)号：CN108604062B

公开(公告)日：2021-11-09

申请号：CN201780009369.0

申请日：2017-03-15

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 谷垣勇刚 ,  崎井大辅 ,  龟本聪

IPC: G03F7/037 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  H01L51/50 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22

Abstract: 本发明提供负型感光性树脂组合物，其能够得到高敏感度且低锥度的图案形状，并能够得到耐热性优异的固化膜。本发明的负型感光性树脂组合物的特征在于，其含有(A)碱溶性树脂、(B)自由基聚合性化合物、及(C)光聚合引发剂，上述(A)碱溶性树脂含有选自(A‑1)聚酰亚胺、(A‑2)聚苯并噁唑、(A‑3)聚酰亚胺前体、(A‑4)聚苯并噁唑前体、(A‑5)聚硅氧烷及(A‑6)Cardo系树脂中的一种以上的树脂，上述(B)自由基聚合性化合物在51～99质量％的范围内含有(B‑1)在分子内具有5个烯键式不饱和键合基团的化合物。

公开(公告)号：CN108027561B

公开(公告)日：2021-10-08

申请号：CN201680055361.3

申请日：2016-09-26

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 谷垣勇刚 ,  龟本聪 ,  三好一登

IPC: G03F7/037 ,  C08F2/50 ,  C08F290/08 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/038 ,  G03F7/075 ,  H01L51/50 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22 ,  H05B33/28

Abstract: 本发明提供可进行碱显影的负型感光性树脂组合物，其能够以高分辨率且低锥度的图案形状得到耐热性及遮光性优异的固化膜。本发明的负型感光性树脂组合物的特征在于，其含有(A1)第1树脂、(A2)第2树脂、(C)光聚合引发剂及(D)着色剂，上述(A1)第1树脂为(A1‑1)聚酰亚胺及/或(A1‑2)聚苯并噁唑，上述(A2)第2树脂为选自(A2‑1)聚酰亚胺前体、(A2‑2)聚苯并噁唑前体、(A2‑3)聚硅氧烷、(A2‑4)Cardo系树脂、及(A2‑5)丙烯酸树脂中的一种以上，上述(A1)第1树脂在上述(A1)第1树脂及上述(A2)第2树脂的总量100质量％中所占的含有比率在25～90质量％的范围内。

公开(公告)号：CN107077070B

公开(公告)日：2020-06-16

申请号：CN201580052929.1

申请日：2015-09-18

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 谷垣勇刚 ,  藤原健典

IPC: G03F7/075 ,  C08K3/36 ,  C08K5/28 ,  C08L83/06 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  G03F7/09 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027 ,  H01L21/3065

Abstract: 本发明提供可得到能形成高分辨率的图案且耐热性及耐裂纹性优异的固化膜、并且可进行碱显影的感光性树脂组合物，并提供能够将在半导体基板中形成杂质区域等之后为除去组合物的固化膜而所需的工序缩短的方法及使用其的半导体器件的制造方法。本发明的感光性树脂组合物的特征在于，其为含有(A)聚硅氧烷的感光性树脂组合物，所述(A)聚硅氧烷为通式(1)表示的聚硅氧烷，(X)及(Y)由一般式(4)～(6)表示，7.5≤(X)≤75(4)，2.5≤(Y)≤40(5)，1.5×(Y)≤(X)≤3×(Y)(6)。

公开(公告)号：CN111164512A

公开(公告)日：2020-05-15

申请号：CN201880062538.1

申请日：2018-09-27

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 谷垣勇刚 ,  三好一登

IPC: G03F7/037 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1335 ,  G02F1/1339 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/075 ,  G03F7/20 ,  G09F9/30 ,  H01L27/32 ,  H01L51/50 ,  H05B33/02 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22

Abstract: 本发明的目的是获得高灵敏度，在热固化后可以形成低锥形形状的图案，能够抑制热固化前后的图案开口尺寸宽度的变化，并且遮光性优异的固化膜以及形成该固化膜的感光性树脂组合物。一种感光性树脂组合物，是含有(A)碱溶性树脂、(C)感光剂，(Da)黑色剂和(F)交联剂的感光性树脂组合物，(A)碱溶性树脂含有(A1)第1树脂，上述(A1)第1树脂包含选自特定的(A1-1)聚酰亚胺、(A1-2)聚酰亚胺前体、(A1-3)聚苯并 唑、和(A1-4)聚苯并 唑前体中的一种以上，并且，以特定比率含有具有氟原子的结构单元，(Da)黑色剂的含有比率为特定比率，并且(F)交联剂含有特定结构的环氧化合物、和/或具有特定结构单元的环氧树脂。

公开(公告)号：CN108885399A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201780016752.9

申请日：2017-03-17

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 谷垣勇刚 ,  龟本聪 ,  三好一登

IPC: G03F7/032 ,  G03F7/037 ,  G03F7/038 ,  G03F7/075 ,  G03F7/20 ,  G09F9/30 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10 ,  H05B33/22

CPC classification number: G03F7/032 ,  G03F7/037 ,  G03F7/038 ,  G03F7/075 ,  G03F7/20 ,  G09F9/30 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10 ,  H05B33/22

Abstract: 本发明提供敏感度高、半色调特性优异、能够得到低锥度的图案形状且可进行碱显影的负型感光性树脂组合物。负型感光性树脂组合物，其至少包含(A1)含有弱酸性基团的树脂及(A2)含有不饱和基团的树脂作为(A)碱溶性树脂，上述(A1)含有弱酸性基团的树脂具有在二甲基亚砜中的酸解离常数在13.0～23.0的范围内的酸性基团，上述(A2)含有不饱和基团的树脂具有烯键式不饱和双键基团。

公开(公告)号：CN107077070A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580052929.1

申请日：2015-09-18

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 谷垣勇刚 ,  藤原健典

IPC: G03F7/075 ,  C08K3/36 ,  C08K5/28 ,  C08L83/06 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  G03F7/09 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027 ,  H01L21/3065

Abstract: 本发明提供可得到能形成高分辨率的图案且耐热性及耐裂纹性优异的固化膜、并且可进行碱显影的感光性树脂组合物，并提供能够将在半导体基板中形成杂质区域等之后为除去组合物的固化膜而所需的工序缩短的方法及使用其的半导体器件的制造方法。本发明的感光性树脂组合物的特征在于，其为含有(A)聚硅氧烷的感光性树脂组合物，所述(A)聚硅氧烷为通式(1)表示的聚硅氧烷，(X)及(Y)由一般式(4)～(6)表示，7.5≤(X)≤75(4)，2.5≤(Y)≤40(5)，1.5×(Y)≤(X)≤3×(Y)(6)。

公开(公告)号：CN104487516A

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：CN201380037773.0

申请日：2013-07-16

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 藤原健典 ,  谷垣勇刚

IPC: C08L83/04 ,  C09D183/04

CPC classification number: C09D183/04 ,  C08G77/80

Abstract: 本发明的课题是提供图案固化被膜的密合性印刷图案的转印性优异的适合于墨液用的聚硅氧烷组合物、由该墨液组合物形成的固化被膜以及电子器件或光学器件。一种适合于墨液的硅氧烷组合物，其特征在于，包含：(A)通过使包含选自通式(1)～(3)中的1种以上硅烷化合物的硅烷化合物水解和缩合而得的聚硅氧烷，和(b)溶剂。R02-nR1nSi(OR9)2(1)(R0表示氢、烷基、链烯基、苯基或它们的取代体。R1表示多环式芳香族基或其取代体。R9表示氢、甲基、乙基、丙基或丁基，可以相同也可以不同。n为1或2。在n为2的情况下，多个R1可以相同也可以不同。)R2Si(OR10)3(2)(R2表示多环式芳香族基或其取代体。R10表示氢、甲基、乙基、丙基或丁基，可以相同也可以不同。)(R11O)mR43-mSi-R3-Si(OR12)lR53-l(3)(R3表示2价的多环式芳香族基或其取代体。R4和R5表示氢、烷基、链烯基、芳基或它们的取代体，分别可以相同也可以不同。R11和R12表示氢、甲基、乙基、丙基或丁基，分别可以相同也可以不同。m和l各自独立地为1～3的整数。)。