公开(公告)号：CN101712023A

公开(公告)日：2010-05-26

申请号：CN200910178729.7

申请日：2009-09-28

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 釜谷学

IPC: B05C13/02 ,  B05C21/00

Abstract: 本发明提供一种提升销，所述提升销能够对提升销孔成为必要以上的大径的情况进行抑制，同时吸收在提升销的前端部与基板抵接时产生的冲击。一种提升销(41)，其从设置在载物台(3)的插通孔(33)露出没入，并在载物台(3)的表面(31)载置基板(K)，其特征在于，具有：销上端部(41S)，其能够插通于载物台(3)的插通孔(33)，并且与基板(K)的背面抵接将基板(K)支承在规定的位置；销基部(41H)，其配置在载物台(3)的背面侧并与销上端部(41S)联结，所述销基部(41H)具有缓和所述销上端部(41S)与基板(K)抵接时的冲击的缓冲机构(44)

公开(公告)号：CN101518769A

公开(公告)日：2009-09-02

申请号：CN200910006827.2

申请日：2009-02-27

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 釜谷学 ,  森俊裕

IPC: B05C5/00 ,  B05C11/00 ,  B05C13/00

Abstract: 本发明提供一种通过迅速产生吸附基板的吸引力而缩短吸附时间，从而能够提高涂敷装置整体的生产周期的涂敷装置。其具备：基板保持机构，其在形成于载物台的表面的吸引孔产生吸引力而将基板吸附保持于载物台的表面；涂敷组件，其相对于基板相对移动的同时喷出涂敷液，其中，在基板保持机构的吸引孔连通连接与产生吸引力的吸引力产生装置连接的主配管及副配管，在主配管设有开闭主配管路径的主阀，在副配管设有开闭副配管路径的副阀，并设置有具备储存部的储存箱，所述储存部在比该副阀靠吸引力产生装置侧具有规定容量，储存部具有比一定区间的副配管的容量大的容量。