公开(公告)号：CN222411988U

公开(公告)日：2025-01-28

申请号：CN202421163555.3

申请日：2024-05-24

Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司 ,  上海新昇晶睿半导体科技有限公司

Inventor： 李嘉伟 ,  李寅锋 ,  金光勳

IPC: C30B15/14 ,  C30B29/06

Abstract: 本实用新型提供一种单晶炉加热器及单晶炉，该单晶炉加热器包括：多个呈U字形结构的下加热器；多个呈倒置的U字形结构的上加热器，所述上加热器位于所述下加热器的上方，两者彼此错位设置从而形成蛇形的加热器；其中所述上加热器沿竖直方向的长度大于所述下加热器沿所述竖直方向的长度。本申请方案的单晶炉加热器由下加热器和上加热器组成，上加热器在沿竖直方向的长度大于下加热器沿竖直方向的长度，使得单晶炉加热器的加热中心位于上加热器中，这样在单晶炉加热器由于老化而导致加热中心厚度变薄时，只需要更换上加热器即可，无需更换完整的单晶炉加热器，能够降低成本与节省物料。

公开(公告)号：CN217922421U

公开(公告)日：2022-11-29

申请号：CN202220754553.6

申请日：2022-03-31

Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司 ,  中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 魏星 ,  李寅锋 ,  李名浩

IPC: C30B15/00 ,  C30B15/20 ,  C30B29/06

Abstract: 本申请公开了一种拉晶装置，包括保温毡和坩埚，所述保温毡呈圆柱筒状围绕所述坩埚设置，所述保温毡的上部包括分段式保温毡，所述保温毡的下部包括开孔。根据本申请的拉晶装置，其对热场重新设计以达到控制晶体中氧含量的目的，所述保温毡能够调节坩埚底部的温度，从而调节熔体与坩埚内表面的反应速度，进而调节进入熔体中的氧，最终调节了单晶产物中的氧含量。本申请的拉晶装置可以仅仅通过改变保温毡的结构以生长满足不同氧含量要求的单晶，且成本低、调试简单。