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公开(公告)号：CN109725495A
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201711046800.7
申请日：2017-10-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种防撞装置及曝光机台，所述防撞装置包括力传递机构和缓冲机构，所述力传递机构包括一环形结构，所述环形结构用于以非接触的方式包围一物体；所述缓冲机构为多个并用于在所述物体的四周设置，多个所述缓冲机构用于分别与所述物体以及所述力传递机构连接。所述曝光机台包括曝光台以及所述防撞装置。本发明提供的防撞装置能够承受所述物体由于惯性而产生的碰撞，避免了所述物体与其他部件发生直接碰撞，保护了所述物体和所述其他部件；同时，此种结构的防撞装置占用空间小以及可承受来自所述物体任意方向上的碰撞。
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公开(公告)号：CN109848691A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201711244930.1
申请日：2017-11-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种调节锁紧装置，包括：与所述微动电机连接的定位簧片；一调节单元，所述调节单元通过调节所述定位簧片的垂向高度以调整所述微动电机的垂向位置；一锁紧单元，所述锁紧单元通过锁紧所述定位簧片以锁紧所述微动电机；一配合单元，所述配合单元转移所述定位簧片施加至所述调节单元和所述锁紧单元的反作用力。本发明在实现微动电机的高度和水平度调节与锁紧的同时，将调节锁紧作业时产生的反作用力作用于自身机构壳体上，减小了对粗动壳体的影响，提升了运动台的可靠性。通过改进调节锁紧装置的结构，减小了垂向尺寸，提高了调节精度。
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公开(公告)号：CN107561869A
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201610510840.1
申请日：2016-06-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种工件台锁定限位装置和采用该装置的工件台，该工件台锁定限位装置包括：安装在支架上的驱动组件、与所述驱动组件的活动端连接的插销和开设在防撞模块上的插销孔，所述插销孔与所述插销间隙配合，其中，所述插销孔和插销为圆弧形或者直线形。本发明可将上下片时硅片台的自由度限制在安全范围内，保护对准系统各元器件的安全，并可在极端情况硅片台异常运动时，减缓硅片台上各精密元器件所受冲击，防止损坏。
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公开(公告)号：CN109725495B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201711046800.7
申请日：2017-10-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种防撞装置及曝光机台，所述防撞装置包括力传递机构和缓冲机构，所述力传递机构包括一环形结构，所述环形结构用于以非接触的方式包围一物体；所述缓冲机构为多个并用于在所述物体的四周设置，多个所述缓冲机构用于分别与所述物体以及所述力传递机构连接。所述曝光机台包括曝光台以及所述防撞装置。本发明提供的防撞装置能够承受所述物体由于惯性而产生的碰撞，避免了所述物体与其他部件发生直接碰撞，保护了所述物体和所述其他部件；同时，此种结构的防撞装置占用空间小以及可承受来自所述物体任意方向上的碰撞。
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公开(公告)号：CN109634060B
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201710931323.6
申请日：2017-10-09
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种线缆支撑机构，所述线缆支撑机构包括固定模块、随动模块及支撑转接模块；所述固定模块固定在底部框架上；所述随动模块固定在线缆的可活动部分上；所述支撑转接模块分别连接所述固定模块和所述随动模块以支撑所述随动模块及所述线缆。实现了在工作台运动时，多层线缆垂向全程无摩擦跟随支撑，不占用垂向空间，为线缆本身预留出更多的空间；同时去掉了原始设计中不必要的机构，精简结构，提升了线缆支撑机构的可维护性以及可靠性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109856916A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201711244615.9
申请日：2017-11-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种防撞装置、工件台及曝光装置，所述防撞装置安装在工件台的边缘，可以节省工件台内部的大量空间；所述滚轮套接在所述转轴组件外，所述滚轮能够相对所述工件台转动，当工件台失控时，由于防撞装置安装在工件台的边缘，保证了发生碰撞的部件始终是防撞装置，防撞装置中的滚轮可以转动，以吸收碰撞能量，避免损伤工件台内的精密部件，并且所述防撞装置占用空间小、重量轻，也可实现对任意方向碰撞的防撞。
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公开(公告)号：CN109799682A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201711140379.6
申请日：2017-11-16
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种防撞装置，包括：框架、第一缓冲结构、第二缓冲结构及连接部件，所述第一缓冲结构的一端与所述第二缓冲结构的一端通过所述连接部件呈锐角可旋转相连，所述第一缓冲结构的另一端与所述第二缓冲结构的另一端设置在所述框架上。本发明的防撞装置通过两个一端通过连接部件呈锐角可旋转相连的缓冲结构将连接部件引导施加的任意方向上的撞击力转化两个缓冲结构垂向的力，解决了传统一维的油压缓冲器或记忆合金防撞条只能防撞一个方向的碰撞的问题；防撞装置的结构布局简单，安装调试大为便捷，减轻了防撞装置自身的重量；不占用垂向空间，应用到光刻机工件台系统时节省了大量空间，方便工件台系统的后续升级改进。
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公开(公告)号：CN109634060A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201710931323.6
申请日：2017-10-09
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种线缆支撑机构，所述线缆支撑机构包括固定模块、随动模块及支撑转接模块；所述固定模块固定在底部框架上；所述随动模块固定在线缆的可活动部分上；所述支撑转接模块分别连接所述固定模块和所述随动模块以支撑所述随动模块及所述线缆。实现了在工作台运动时，多层线缆垂向全程无摩擦跟随支撑，不占用垂向空间，为线缆本身预留出更多的空间；同时去掉了原始设计中不必要的机构，精简结构，提升了线缆支撑机构的可维护性以及可靠性。
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公开(公告)号：CN106933056B
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201511031911.1
申请日：2015-12-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种线缆支撑机构及线缆台，该线缆支撑机构包括多层排线和/或多层排管，线缆支撑机构包括支撑线夹、第一连杆、第二连杆和可调式连接件，U形线缆穿过支撑线夹，且支撑线夹夹紧U形线缆中最内一层排线或排管，第一连杆的两端分别连接支撑线夹和所述第二连杆的一端，所述第二连杆的另一端与可调式连接件活动连接。本发明通过支撑线夹对最内一层排线或排管进行夹紧，有效防止U型线缆下垂，避免与基础框架或其他部件发生碰撞摩擦；通过调整支撑线夹与U型线缆的位置进一步优化支撑效果，使U型线缆下垂量最小，此外通过可调式连接件调节第二连杆的位置，保证支撑线夹随U型线缆进行运动的过程中更平稳，降低对工件台的影响。
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