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公开(公告)号：CN112415856A
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN201910785428.4
申请日：2019-08-23
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种柔性吸附装置及光刻设备，包括移动模块及设置于移动模块相对的两端的两个柔性支撑件，所述柔性支撑件内设置有一真空吸附腔，以实现对被吸附件的真空吸附，所述柔性支撑件的刚度小于所述被吸附件的刚度，以使吸附所述被吸附件时，形变发生在所述柔性支撑件上，使得所述被吸附件的形变量和扭曲度更小，并且，所述柔性支撑件与所述移动模块之间具有一阻尼气膜，能够抑制所述被吸附件的垂向高频振动，且振动越强，抑制效果越好。
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公开(公告)号：CN111720440A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201910222059.8
申请日：2019-03-22
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventor： 刘屈武
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明公开了一种气浮垫结构，包括气浮垫本体，气浮垫本体包括出气面、与出气面对应的非出气面以及连接出气面和非出气面的多个侧面；至少一个侧面设置有气体入口；出气面设置有多个第一出气单元；第一出气单元至少包括第一节流孔、第一均压槽、第一凸台和第二均压槽；第一均压槽环绕第一节流孔设置；第一凸台环绕第一均压槽设置；第二均压槽环绕第一凸台设置。采用上述技术方案，通过设置第一凸台环绕第一均压槽，保证通过第一凸台阻挡气流在流动过程中湍流的充分发展，降低涡流，从而减少气浮垫压力波动，改善气振情况；同时，设置第二均压槽环绕第一凸台，保证气浮垫结构具备更大的峰值刚度和更大的峰值承载力，提升气浮垫结构的承载能力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109634060B
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201710931323.6
申请日：2017-10-09
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种线缆支撑机构，所述线缆支撑机构包括固定模块、随动模块及支撑转接模块；所述固定模块固定在底部框架上；所述随动模块固定在线缆的可活动部分上；所述支撑转接模块分别连接所述固定模块和所述随动模块以支撑所述随动模块及所述线缆。实现了在工作台运动时，多层线缆垂向全程无摩擦跟随支撑，不占用垂向空间，为线缆本身预留出更多的空间；同时去掉了原始设计中不必要的机构，精简结构，提升了线缆支撑机构的可维护性以及可靠性。
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公开(公告)号：CN109856916A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201711244615.9
申请日：2017-11-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种防撞装置、工件台及曝光装置，所述防撞装置安装在工件台的边缘，可以节省工件台内部的大量空间；所述滚轮套接在所述转轴组件外，所述滚轮能够相对所述工件台转动，当工件台失控时，由于防撞装置安装在工件台的边缘，保证了发生碰撞的部件始终是防撞装置，防撞装置中的滚轮可以转动，以吸收碰撞能量，避免损伤工件台内的精密部件，并且所述防撞装置占用空间小、重量轻，也可实现对任意方向碰撞的防撞。
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公开(公告)号：CN109799682A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201711140379.6
申请日：2017-11-16
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种防撞装置，包括：框架、第一缓冲结构、第二缓冲结构及连接部件，所述第一缓冲结构的一端与所述第二缓冲结构的一端通过所述连接部件呈锐角可旋转相连，所述第一缓冲结构的另一端与所述第二缓冲结构的另一端设置在所述框架上。本发明的防撞装置通过两个一端通过连接部件呈锐角可旋转相连的缓冲结构将连接部件引导施加的任意方向上的撞击力转化两个缓冲结构垂向的力，解决了传统一维的油压缓冲器或记忆合金防撞条只能防撞一个方向的碰撞的问题；防撞装置的结构布局简单，安装调试大为便捷，减轻了防撞装置自身的重量；不占用垂向空间，应用到光刻机工件台系统时节省了大量空间，方便工件台系统的后续升级改进。
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公开(公告)号：CN109634060A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201710931323.6
申请日：2017-10-09
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种线缆支撑机构，所述线缆支撑机构包括固定模块、随动模块及支撑转接模块；所述固定模块固定在底部框架上；所述随动模块固定在线缆的可活动部分上；所述支撑转接模块分别连接所述固定模块和所述随动模块以支撑所述随动模块及所述线缆。实现了在工作台运动时，多层线缆垂向全程无摩擦跟随支撑，不占用垂向空间，为线缆本身预留出更多的空间；同时去掉了原始设计中不必要的机构，精简结构，提升了线缆支撑机构的可维护性以及可靠性。
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公开(公告)号：CN106933056B
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201511031911.1
申请日：2015-12-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种线缆支撑机构及线缆台，该线缆支撑机构包括多层排线和/或多层排管，线缆支撑机构包括支撑线夹、第一连杆、第二连杆和可调式连接件，U形线缆穿过支撑线夹，且支撑线夹夹紧U形线缆中最内一层排线或排管，第一连杆的两端分别连接支撑线夹和所述第二连杆的一端，所述第二连杆的另一端与可调式连接件活动连接。本发明通过支撑线夹对最内一层排线或排管进行夹紧，有效防止U型线缆下垂，避免与基础框架或其他部件发生碰撞摩擦；通过调整支撑线夹与U型线缆的位置进一步优化支撑效果，使U型线缆下垂量最小，此外通过可调式连接件调节第二连杆的位置，保证支撑线夹随U型线缆进行运动的过程中更平稳，降低对工件台的影响。
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