加热辅助化学机械复合磨料流抛光装置及方法

    公开(公告)号:CN111716235A

    公开(公告)日:2020-09-29

    申请号:CN202010566904.6

    申请日:2020-06-19

    Abstract: 本发明提供了一种加热辅助化学机械复合磨料流抛光装置及方法,包括液压系统、温度测量与反馈控制系统、加热系统、氧化剂注入系统、氧化剂排出系统、磨料、上磨料缸、下磨料缸、上活塞、下活塞以及夹具;夹具连接上磨料缸、下磨料缸,上磨料缸、下磨料缸内分别设置有上活塞、下活塞,上活塞、下活塞分别连接液压系统并能够在液压系统的作用下往复运动,磨料设置在上磨料缸和/或下磨料缸内;夹具夹持区域内为抛光反应区,温度测量与反馈控制系统能够控制加热系统对抛光反应区加热的温度;氧化剂注入系统和氧化剂排出系统分别能够向上下磨料缸注入和排出氧化剂。本发明采用机械抛光结合化学抛光再通过加热辅助的方式,提高了抛光的效率和质量。

    利用化学气相沉积制备单层金刚石磨料工具的方法

    公开(公告)号:CN106926148B

    公开(公告)日:2020-07-14

    申请号:CN201710072261.8

    申请日:2017-02-08

    Abstract: 本发明公开了一种利用化学气相沉积制备单层金刚石磨料工具的方法;该方法针对碳化硅基体,将金刚石磨料混入光刻胶溶液并将其超声振荡,利用旋转甩胶均匀分散金刚石磨粒,实现其在基体衬底均匀分布,采用CVD方法在金刚石磨粒和碳化硅基体之间沉积金刚石涂层结合剂,将磨料与基体牢固的连结起来,同时磨粒生长成为高品级立方八面体单晶颗粒。本发明制备的单层金刚石磨料工具磨粒把持力强,出露高度高,容屑空间大,避免了电镀和钎焊单层金刚石磨料工具缺点,适用于制备细粒度(5‑100μm)单层金刚石磨料工具。本发明制备的单层金刚石磨料工具在半导体、光学晶体、人造蓝宝石、玻璃等脆硬材料的高精密磨削加工领域,具有广阔应用前景。

    制备硬质合金基体金刚石涂层的预处理方法

    公开(公告)号:CN106544641B

    公开(公告)日:2019-08-23

    申请号:CN201610920894.5

    申请日:2016-10-21

    Abstract: 本发明涉及一种制备硬质合金基体金刚石涂层的喷砂预处理方法;该方法针对硬质合金基体;首先,采用喷砂技术对硬质合金基体表面进行冲蚀粗化,然后采用酸处理以对基体进行脱钴,制备出适合金刚石薄膜生长的均匀粗化的表面形貌。本发明涉及的预处理方法与常规酸碱两步法预处理相比,可以有效控制硬质合金基体表面粗糙度,极大提高金刚石涂层沉积初期的形核密度,并且在预处理后不会形成疏松层,有效提高了金刚石涂层与基体的附着力。该预处理方法不受基体形状的限制,适用于复杂形状硬质合金基体的金刚石涂层制备,且操作简单、应用方便,生产效率高、无污染,产业化前景光明,因而具有显著地经济效益。

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