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公开(公告)号：CN103575590A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310471647.8
申请日：2013-10-10
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01N3/02
Abstract: 本发明公开了一种用于3D-TSV铜互连材料力学性能测试的原位拉伸试样，所述试样包括试样部分，固定部分和用于夹持试样的夹持部分，所述的试样部分是在硅通孔中形成的圆形金属柱；所述的固定部分为有固定槽的电镀金属；所述的夹持部分为带有定位孔和带网状支撑结构的金属框架。试样与实际生产中TSV-Cu互连材料主体尺寸基本相同，与实际应用中TSV-Cu互连材料的成型工艺与结构相同，试样受力方向与铜柱的生长方向一致。能与TSV-Cu材料在实际中的受力情况很好的匹配。
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公开(公告)号：CN101399484B
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200810201926.1
申请日：2008-10-30
Applicant: 上海交通大学
IPC: H02K35/02
Abstract: 本发明公开一种新能源技术领域的定圈式微机械电磁式振动能量采集器，包括：低频拾振台、高频谐振台、垫片和感应线圈，低频拾振台包括：顶盖、上层平面弹簧和起振永磁体和/或软磁体。上层平面弹簧固定在顶盖凹坑的边沿上，上层平面弹簧包括上层中央平台及其周围的上层悬臂梁，起振永磁体和/或软磁体固定在上层中央平台上；高频谐振台包括：边框、下层平面弹簧、谐振永磁体，下层平面弹簧固定在边框上，下层平面弹簧包括下层中央平台及其四周的下层悬臂梁、谐振永磁体固定在下层中央平台上；垫片位于高频谐振台和感应线圈之间；感应线圈绕组固定在绝缘衬底上，在垫片下方固定不动。本发明转换效率高、易于实现批量化集成制造。
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公开(公告)号：CN101345466A
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200810042168.3
申请日：2008-08-28
Applicant: 上海交通大学
IPC: H02K35/00
Abstract: 一种新能源技术领域的基于升频转换的动圈式微机械电磁振动能量采集器，包括上层拾振台、垫片和下层拾振台，上层拾振台包括顶盖、上层平面弹簧和永磁体，平面弹簧在顶盖凹坑边沿上，上层平面弹簧包括上层中央平台及其四周的上层悬臂梁，永磁体在上层中央平台上；下层拾振台包括底座、下层平面弹簧、绝缘层、微线圈绕组、软磁衔铁，下层平面弹簧在底座凹坑边沿上，下层平面弹簧包括下层中央平台及其四周的下层悬臂梁，下层中央平台上覆盖绝缘层，微线圈绕组在绝缘层上，软磁衔铁位于微线圈绕组中央和/或下方和/或四周，永磁体和微线圈绕组相对于顶盖和底座上下直线运动和/或倾斜摆动。本发明转换效率高、频率适应性好、易于实现批量化制造。
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公开(公告)号：CN100357773C
公开(公告)日：2007-12-26
申请号：CN200510030975.X
申请日：2005-11-03
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机械光纤定位器，属于微机械和光学技术领域。本发明包括：定位槽和挠性夹，挠性夹设在定位槽的上方。所述的定位槽包括：单晶硅衬底和截面槽，截面槽设在单晶硅衬底上，所述的挠性夹包括：金属基座和挠性片，金属基座和挠性片设在同一平面内，金属基座和挠性片为一体化结构，金属基座和挠性片的底面均与单晶硅衬底的顶面贴合，金属基座设在单晶硅衬底表面上，金属基座与单晶硅衬底之间通过溅射金属时产生的粘附力固定，利用挠性片内部的弹性变形力将光纤固定在定位器中。本发明易于大批量制作，实现光纤与光纤、光纤与有源模块快速、可靠、精确定位。
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公开(公告)号：CN1186670C
公开(公告)日：2005-01-26
申请号：CN02136828.7
申请日：2002-09-05
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 电磁驱动位错型微机械可变光衰减器属于光纤通信领域。包括：电磁驱动线圈、底座、两段光纤、定位槽、可动平台、磁性体和弹性体，光纤和分别固定在底座和可动平台上的定位槽中，可动平台与磁性体固定在一起，可动平台相对于底座上下移动，底座与可动平台通过弹性体连接并调整上下位置，底座与电磁驱动线圈固定。本发明结构和光路简洁，易于实现阵列化封装；插入损耗低于1分贝，回波损耗高于60分贝、动态范围大于50分贝；波长相关性损耗小于0.2分贝，偏振相关性损耗小于0.2分贝，工作电压低于5伏，与现有集成电路的工作电压兼容；各部件都可用基本的集成电路工艺制作，实现低成本，大批量，自动化生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1402052A
公开(公告)日：2003-03-12
申请号：CN02136828.7
申请日：2002-09-05
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 电磁驱动位错型微机械可变光衰减器属于光纤通信领域。主要包括：电磁驱动线圈、底座、两段光纤、定位槽和、可动平台、磁性体和弹性体，光纤和分别固定在底座和可动平台上的定位槽中，可动平台与磁性体固定在一起，可动平台相对于底座上下或/和左右移动，底座与可动平台通过弹性体连接并调整上下位置，底座与电磁驱动线圈固定。本发明结构和光路简洁，易于实现阵列化封装；插入损耗低于1分贝，回波损耗高于60分贝、动态范围大于50分贝；波长相关性损耗小于0.2分贝，偏振相关性损耗小于0.2分贝，工作电压低于5伏，与现有集成电路的工作电压兼容；各部件都可用基本的集成电路工艺制作，实现低成本，大批量，自动化生产。
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公开(公告)号：CN116429366A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202310396336.3
申请日：2023-04-14
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种滑块冲击过载响应原位观测装置及观测方法，该装置包括：落锤试验台，包括载物台；观测夹具，固定于载物台上，包括底座、侧盖板和上盖板，底座侧面切边后形成的平面上设有凹槽，侧盖板盖合于凹槽，其上开设第一观察孔，上盖板盖合于底座和侧盖板上方；定制样品，竖直位于侧盖板和凹槽与载物台围成的空间内；定制样品包括底板、滑块层和观测盖板，滑块层包括沿定制样品的长度方向运动的滑块，观测盖板上开设第二观察孔；加速度传感器，用于实时获取冲击过程中对定制样品施加的冲击载荷；高速图像获取装置，用于通过第一观察孔和第二观察孔获取滑块的实时运动图像。本发明可以直接观察器件在冲击过程中的响应情况，降低测试成本。
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公开(公告)号：CN111245294A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010067919.8
申请日：2020-01-20
Applicant: 上海交通大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明提供了一种集成制造的非线性级联多自由度振动能量采集器，其中，内圈永磁体质量块设置于内圈可动平台处，内圈可动平台通过内圈非线性弹簧固定在外圈振子内缘；外圈质量块设置于外圈可动平台处，外圈可动平台通过外圈非线性弹簧固定在支撑块内缘。支撑块上开有贯通的通孔。平面线圈设置于支撑块下表面。内圈永磁体质量块上下运动，改变通过平面线圈的磁通大小，从而实现振动能量到电能的转换。本发明通过独立改变内圈振子与外圈振子参数，可以实现两个非线性模态之间间距与单个非线性模态带宽特性的调整，可以显著增加振动能量采集器工作带宽，且器件易于集成化制造。
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公开(公告)号：CN109802593B
公开(公告)日：2019-12-27
申请号：CN201910088243.8
申请日：2019-01-29
Applicant: 上海交通大学
IPC: H02N1/00
Abstract: 本发明提出一种结构刚度可定制的微作动器，包括外框、第三锚点、第四锚点、第一顶杆、第二顶杆，其中，第一顶杆和第二顶杆对称设置于动极板的两侧，第一顶杆、第二顶杆的长度方向与动极板运动方向平行；外框的一侧连接动极板，外框的上、下两端分别对称设置第一预定制曲线轮廓和第二预定制曲线轮廓，第一预定制曲线轮廓和第二预定制曲线轮廓的曲面分别对应第一顶杆和第二顶杆的自由端，当动极板在静电力作用在水平方向运动时，使第一顶杆的自由端和第二顶杆的自由端分别沿外框上的第一预定制曲线轮廓、第二预定制曲线轮廓滑动，产生水平方向的作用力。本发明可以针对不同驱动方式的工况特点，满足微作动器件对特定刚度‑位移特性的灵活需求。
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公开(公告)号：CN109802593A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201910088243.8
申请日：2019-01-29
Applicant: 上海交通大学
IPC: H02N1/00
Abstract: 本发明提出一种刚度可定制的微作动器，包括外框、第三锚点、第四锚点、第一顶杆、第二顶杆，其中，第一顶杆和第二顶杆对称设置于动极板的两侧，第一顶杆、第二顶杆的长度方向与动极板运动方向平行；外框的一侧连接动极板，外框的上、下两端分别对称设置第一预定制曲线轮廓和第二预定制曲线轮廓，第一预定制曲线轮廓和第二预定制曲线轮廓的曲面分别对应第一顶杆和第二顶杆的自由端，当动极板在静电力作用在水平方向运动时，使第一顶杆的自由端和第二顶杆的自由端分别沿外框上的第一预定制曲线轮廓、第二预定制曲线轮廓滑动，产生水平方向的作用力。本发明可以针对不同驱动方式的工况特点，满足微作动器件对特定刚度-位移特性的灵活需求。
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