多线放电加工机、多线放电加工系统

    公开(公告)号:CN115297984B

    公开(公告)日:2024-12-24

    申请号:CN202080098442.8

    申请日:2020-03-18

    Inventor: 糸数笃

    Abstract: 多线放电加工机(1)具有:加工电源(7),其对被加工物(2)和切断线部(6a)之间施加加工脉冲电压;以及线断线检测部(20),其对线电极(6)的断线进行检测。线断线检测部(20)与在从线电极(6)的抽出侧的一个部位至线电极(6)的排出侧的一个部位为止的区间张设的线电极部分并联地电连接,具有:线断线检测电路(206),其是将至少在对被加工物(2)进行切断加工中始终对线电极部分供给直流电流的线断线检测用电源(204)及电流限制电阻(205)各自串联地接线而成的电气电路;以及线断线判定部(207),其基于在电流限制电阻(205)中流动的电流而对线电极的断线进行判定。

    线放电加工装置及半导体晶片的制造方法

    公开(公告)号:CN115916444B

    公开(公告)日:2024-11-29

    申请号:CN202080102529.8

    申请日:2020-09-10

    Abstract: 为了在多线放电加工中减小从被加工物切出的多个薄板状部件的板厚的波动,具有:1根线电极(1),其绕多个引导辊(2)卷绕多次,由此形成并列设置有多个线切断部的并列线部(1a);放电波形控制装置(32),其基于放电波形指令对极间的电压波形或极间的电流波形进行控制;线行进控制装置(35),其基于线电极行进指令对线电极的行进进行控制;切断台驱动装置(34),其基于切断进给台指令对并列线部和被加工物之间的相对位置进行控制;加工状态取得部(33),其取得极间的电气特性即切断部电气特性或与线切断部的状态有关的信息即电极状态信息而作为加工状态信息;以及加工控制装置(31),其基于加工状态信息而决定线电极行进指令、放电波形指令及切断进给台指令。

    多线放电加工机
    14.
    发明授权

    公开(公告)号:CN116367947B

    公开(公告)日:2024-06-21

    申请号:CN202180073350.9

    申请日:2021-04-12

    Inventor: 糸数笃

    Abstract: 多线放电加工机(1)具有:多个切断线部(6a),它们通过使线电极(6)卷绕于引导辊(3a~3d),从而使线电极(6)与被加工物(2)相对而并列配置;驱动单元(14),其对被加工物和切断线部之间的相对距离进行调整;加工电源(7),其对被加工物和切断线部之间施加脉冲电压;加工状态检测装置(15),其对切断线部中的加工状态进行检测;以及加工控制装置(9),其对驱动单元及加工电源进行控制,加工控制装置在表示加工状态的值超过阈值的情况下,将按照避免线电极的断线的加工条件得到的脉冲电压的施加指令输出至加工电源。

    线放电加工机及线放电加工方法

    公开(公告)号:CN109041572B

    公开(公告)日:2020-04-07

    申请号:CN201780003444.2

    申请日:2017-04-11

    Inventor: 糸数笃 原正行

    Abstract: 一种线放电加工机,其在被加工物和线电极之间发生放电而对所述被加工物进行加工,该线放电加工机具有:驱动控制装置(20),其对线电极与被加工物的相对距离进行控制;极间平均加工电压检测部(40),其对线电极和被加工物之间的极间平均加工电压进行检测;加工速度控制部(43),其基于极间平均加工电压和预先设定的目标电压,对驱动控制装置进行控制;以及电压校正部,其基于加工中的加工信息和加工方向,对极间平均加工电压或者目标电压的任意者进行校正,以使得与加工方向无关地使线电极和被加工物之间的侧面间隙成为恒定。

    多线放电加工机
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116367947A

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN202180073350.9

    申请日:2021-04-12

    Inventor: 糸数笃

    Abstract: 多线放电加工机(1)具有:多个切断线部(6a),它们通过使线电极(6)卷绕于引导辊(3a~3d),从而使线电极(6)与被加工物(2)相对而并列配置;驱动单元(14),其对被加工物和切断线部之间的相对距离进行调整;加工电源(7),其对被加工物和切断线部之间施加脉冲电压;加工状态检测装置(15),其对切断线部中的加工状态进行检测;以及加工控制装置(9),其对驱动单元及加工电源进行控制,加工控制装置在表示加工状态的值超过阈值的情况下,将按照避免线电极的断线的加工条件得到的脉冲电压的施加指令输出至加工电源。

    多线放电加工机、多线放电加工系统

    公开(公告)号:CN115297984A

    公开(公告)日:2022-11-04

    申请号:CN202080098442.8

    申请日:2020-03-18

    Inventor: 糸数笃

    Abstract: 多线放电加工机(1)具有:加工电源(7),其对被加工物(2)和切断线部(6a)之间施加加工脉冲电压;以及线断线检测部(20),其对线电极(6)的断线进行检测。线断线检测部(20)与在从线电极(6)的抽出侧的一个部位至线电极(6)的排出侧的一个部位为止的区间张设的线电极部分并联地电连接,具有:线断线检测电路(206),其是将至少在对被加工物(2)进行切断加工中始终对线电极部分供给直流电流的线断线检测用电源(204)及电流限制电阻(205)各自串联地接线而成的电气电路;以及线断线判定部(207),其基于在电流限制电阻(205)中流动的电流而对线电极的断线进行判定。

    线电极放电加工装置、线电极放电加工方法、薄板制造方法、以及半导体晶片制造方法

    公开(公告)号:CN104053520A

    公开(公告)日:2014-09-17

    申请号:CN201280067416.4

    申请日:2012-12-17

    CPC classification number: B23H7/06 B23H1/028 B23H7/02 B23H7/10

    Abstract: 本发明的目的在于防止在端面加工中由加工电流从不产生放电的切断线电极部流入而导致的线电极的断裂、加工面精度的降低,在本发明的线电极放电加工装置中具有控制部件,该控制部件基于被加工物的端面和与该端面非平行的包含多个切断线电极的面所成的角度、切断线电极的并列间隔、以及切断线电极和被加工物的相对距离,选择由脉冲电压产生单元施加脉冲电压的切断线电极,驱动单元构成为,在不与包含多个切断线电极的面垂直的方向驱动被加工物,通过施加脉冲电压对被加工物进行放电加工从而进行切断。

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