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公开(公告)号：CN111989618A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN201980026596.3
申请日：2019-04-15
Applicant: 三菱化学株式会社
Abstract: 提供一种干膜抗蚀剂用聚酯薄膜，其不仅能够实现高平坦性及透明性、薄膜的滑动性良好、薄膜的宽度方向的厚度不均少、能够卷取为卷状，而且此时能够使空气不会封在薄膜间，作为这样新的DFR用聚酯薄膜，其特征在于，是在特性粘度为0.65dl/g以上的基材聚酯薄膜的至少单面侧具备含颗粒表面层的干膜抗蚀剂用聚酯薄膜，前述基材聚酯薄膜以10～7000ppm的质量比例包含平均粒径为0.030～0.200μm的颗粒，是由实质上不含粒径为0.300μm以上的颗粒的聚酯层(称为“A层”)形成的单层或在表面具备该A层的多层的薄膜，前述含颗粒表面层包含平均粒径0.005～0.150μm的颗粒。
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