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公开(公告)号：CN1749436A
公开(公告)日：2006-03-22
申请号：CN200510096646.5
申请日：2005-08-31
Applicant: 三洋电机株式会社
Abstract: 本发明提供利用电解法有效地生成可以用于上下水道或食品等的清洗杀菌处理或半导体设备制造工序等中的清洗处理等的臭氧水的臭氧发生用电极以及该臭氧发生用电极的制造方法。在构成臭氧发生用电极(1)的导电性基体(2)的表面，形成覆盖铂等贵金属或贵金属氧化物的中间层(3)，在该中间层(3)的表面又形成由电介质形成的表面层(4)，在该表面层上具有孔。
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