公开(公告)号：CN1976055A

公开(公告)日：2007-06-06

申请号：CN200610172884.4

申请日：2006-09-13

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 金汉基 ,  李奎成 ,  金敬桓 ,  琴旻钟

IPC: H01L27/32 ,  H01L21/283 ,  H01L21/31 ,  H01L51/56 ,  C23C14/34

CPC classification number: H01L27/3258 ,  C23C14/35 ,  C23C14/352 ,  H01L51/0021 ,  H01L51/5221

Abstract: 本发明公开了一种有机发光显示器和沉积法，用于通过将Ar与比Ar气体重的惰性气体混合，利用箱式阴极溅射法或对面靶溅射法沉积电极或钝化层。本发明实施例提供一种有机发光显示器，包括：基板；形成在基板上的薄膜晶体管；形成在薄膜晶体管上的第一电极；形成在第一电极上的有机层；及通过将Ar气体与比所述Ar气体重的惰性气体混合，利用箱式阴极溅射法或对面靶溅射法溅射沉积在有机层上的第二电极。

公开(公告)号：CN1787704A

公开(公告)日：2006-06-14

申请号：CN200510092214.7

申请日：2005-07-01

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 李奎成 ,  金汉基 ,  金度根 ,  许明洙 ,  郑锡宪

IPC: H05B33/10 ,  H05B33/26

CPC classification number: H01L51/5203 ,  C23C14/352 ,  H01L51/0008 ,  H01L51/0021

Abstract: 本发明提供一种通过利用对面靶溅射设备制造有机发光器件的方法。该方法包括在基板上形成第一电极；在第一电极上形成有机薄膜；以及通过对面靶溅射设备在有机薄膜上形成第二电极。因此，以低的温度在有机发光器件上形成电极薄膜而没有由于等离子体导致的劣化，可以提高光发射效率和有机发光器件的电光特性。