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公开(公告)号：CN1787704A
公开(公告)日：2006-06-14
申请号：CN200510092214.7
申请日：2005-07-01
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: H01L51/5203 , C23C14/352 , H01L51/0008 , H01L51/0021
Abstract: 本发明提供一种通过利用对面靶溅射设备制造有机发光器件的方法。该方法包括在基板上形成第一电极；在第一电极上形成有机薄膜；以及通过对面靶溅射设备在有机薄膜上形成第二电极。因此，以低的温度在有机发光器件上形成电极薄膜而没有由于等离子体导致的劣化，可以提高光发射效率和有机发光器件的电光特性。
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