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公开(公告)号:CN113851448A
公开(公告)日:2021-12-28
申请号:CN202110709426.4
申请日:2021-06-25
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L23/498 , H01L23/48 , H01L25/18
Abstract: 本公开提供半导体器件、器件和封装。该器件包括:基板;在基板上的外围电路和第一接合焊盘;围绕第一接合焊盘的侧表面的第一绝缘结构;接触第一接合焊盘的第二接合焊盘;在第一绝缘结构上的第二绝缘结构;在第二绝缘结构上的钝化层;上绝缘结构,在钝化层和第二绝缘结构之间;阻挡盖层,在上绝缘结构和钝化层之间;导电图案,在上绝缘结构中彼此间隔开;第一图案结构,在上绝缘结构和第二绝缘结构之间;堆叠结构,在第二绝缘结构和第一图案结构之间,并包括栅极层;以及垂直结构,穿过堆叠结构并包括数据存储结构和沟道层。