-
公开(公告)号:CN102479804A
公开(公告)日:2012-05-30
申请号:CN201110389294.8
申请日:2011-11-30
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H01L29/778 , H01L29/0657 , H01L29/1606
Abstract: 本发明公开一种石墨烯电子器件。该石墨烯电子器件包括:栅电极;设置在栅电极上的栅氧化物;形成在栅氧化物上的石墨烯沟道层;以及分别设置在石墨烯沟道层的两端上的源电极和漏电极。在石墨烯沟道层中,多个纳米孔沿石墨烯沟道层的宽度方向布置成单一行。