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公开(公告)号:CN108987456A
公开(公告)日:2018-12-11
申请号:CN201710437128.8
申请日:2017-06-12
Applicant: 三垦电气株式会社
IPC: H01L29/06 , H01L21/336
CPC classification number: H01L29/7823 , H01L29/1608 , H01L29/24 , H01L29/66681
Abstract: 本发明实施例提供一种半导体装置以及半导体装置的制造方法。所述半导体装置包括碳化硅漂移层、掩埋碳化硅层和氧化物半导体层;所述掩埋碳化硅层位于所述碳化硅漂移层内,并且所述掩埋碳化硅层被所述氧化物半导体层覆盖。因此,可以进一步提高半导体装置的击穿特性和/或长时间可靠性。