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公开(公告)号:CN114407214A
公开(公告)日:2022-04-29
申请号:CN202210108565.6
申请日:2022-01-28
申请人: 广东高景太阳能科技有限公司
摘要: 本发明公开一种大尺寸硅片切割砂浆液浓度自动调节系统,包括检测执行系统和控制系统,所述检测执行系统包括检测模块、浓度监测模块、排液模块和补液模块,所述控制系统包括显示器、参数设定模块、调控模块和搅拌模块;本发明通过对砂浆液浓度的自动检测和调控可以不停机实现自动化循环补液功能,提高硅片切割效率和切割质量,减少断线、厚薄、线痕等异常的发生,在增效提质方面取得明显的效果。
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公开(公告)号:CN114311355A
公开(公告)日:2022-04-12
申请号:CN202210245418.3
申请日:2022-03-14
申请人: 广东高景太阳能科技有限公司
摘要: 本发明公开一种单晶硅片的生产方法及单晶硅片,涉及半导体硅片的生产制造领域,能够生产出120微米厚度以下的单晶硅片,从而能够降低硅片的生产成本。具体方案包括:获取单晶硅,并将单晶硅固定于晶托;控制晶托固定有单晶硅的一侧下压,利用切割装置对单晶硅进行切割,切割装置包括:金刚石切割线,金刚石切割线包括颗粒粒径范围在4~10μm的金刚石,金刚石切割线的张力为4.7~5.7牛;在切割过程中利用喷淋装置对单晶硅进行喷淋处理,且利用导轮吹气装置对切割装置进行清洁处理;下压切割行程结束后,控制晶托上移,再将单晶硅从晶托处脱离,得到多个单晶硅片;将单晶硅片逐片插入花篮中,对每个单晶硅片进行清洗处理,得到多个目标单晶硅片。
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公开(公告)号:CN113773920A
公开(公告)日:2021-12-10
申请号:CN202111084976.8
申请日:2021-09-16
申请人: 广东金湾高景太阳能科技有限公司 , 广东高景太阳能科技有限公司
摘要: 本发明公开一种硅片单组份清洗剂及其制备方法,包括以下重量份原料:无机碱2‑10份、螯合剂1‑10份、缓冲剂1‑5份、分散剂1‑5份、复合非离子表面活性剂10‑20份,悬浮剂2‑6、助溶剂2‑5份、磺酸2‑5份、消泡剂1‑3份、缓蚀剂1‑3份、去离子水5‑10份和纯水20‑30份;本发明采用单组分的配方,使用的添加比较方便,清洗效果良好,对于光伏硅片脏污有较强的去除能力,同时此清洗剂泡沫较小,能满足硅片清洗要求,同时此清洗剂浊点在60度以上,可以在较高温度下使用,降低了硅片清洗过程中的成本和减少清洗浮片异常引起的硅片表面硅粉污、崩边和破片,相比现有的清洗剂成本较低且硅片表面清洗脏污效果更好。
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公开(公告)号:CN115307435A
公开(公告)日:2022-11-08
申请号:CN202210937898.X
申请日:2022-08-05
申请人: 广东高景太阳能科技有限公司 , 广东金湾高景太阳能科技有限公司
摘要: 本发明公开了一种利用废热能对硅棒加热的方法及装置,所述方法包括:将待加热硅棒运输至加热箱,并实时检测待加热硅棒的温度;获取待加热硅棒的硅棒参数、废热能输入管道的管道参数以及加热箱的加热箱参数;根据硅棒参数、管道参数、加热箱参数、待加热硅棒的初始温度以及预设的目标温度,计算将待加热硅棒加热至目标温度所需的加热热量以及加热时间;根据加热热量以及加热时间,调节废热能输入管道的进气量以及电加热装置的状态,以对待加热硅棒进行加热,直至加热至目标温度。本发明通过实时检测硅棒的温度并计算加热热量和加热时间,能够准确控制硅棒的加热时间以及出库温度,且利用车间产生的废热能对硅棒进行加热,能够有效减少能耗。
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公开(公告)号:CN114800899A
公开(公告)日:2022-07-29
申请号:CN202210436801.7
申请日:2022-04-19
申请人: 广东高景太阳能科技有限公司 , 广东金湾高景太阳能科技有限公司
摘要: 本发明提供了一种单晶硅片色差改善方法、系统、存储介质及电子设备。该方案包括提取当前的供回线周期、切割方向和切割位置,计算色差指数;获得当前的收线速度、放线速度和切割张力,实时进行动作风险指数和硅棒断线位置计算;获取色差指数,根据实测数据值更新色差指数,计算新供回线周期、新切割方向、新切割位置、收线速度指数更新值、放线速度指数更新值和切割张力更新值;根据硅棒断线位置,平整并剪断钢丝;设置钢丝控制参数;获取收线速度指数更新值、放线速度指数更新值和切割张力更新值,进行自动的收放钢丝线控制。该方案通过在晶棒切割过程中,自动调整学习和调整周期位置、切割方向及位置,改善单晶硅片色差,提升硅片质量。
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公开(公告)号:CN114758968A
公开(公告)日:2022-07-15
申请号:CN202210297698.2
申请日:2022-03-24
申请人: 广东高景太阳能科技有限公司 , 广东金湾高景太阳能科技有限公司
IPC分类号: H01L21/67 , H01L21/677
摘要: 本发明公开的一种用于防止硅片排片时撞片的吹片装置及其硅片排片机,包括对水槽中清洗处理后的硅片依次连续水平传送至硅片插片花篮处的输送线;花篮处的输送线上硅片下侧设置有多个对硅片外缘及中心分别吹气、用于吹除硅片吸附的清洗水及气动吹浮承托硅片防止外缘弯曲的气嘴;所有气嘴通过管路与设置的气源泵连通,管路上还设置有对对应气嘴的喷气压力进行调节的气压调节阀;通过气嘴有效的吹除硅片下表面吸附的清洗水,缓解硅片在花篮中的弯曲度,以及气动吹浮的承托硅片外缘四角防止外缘弯曲,防止硅片四角翘曲和便于有序排片。
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公开(公告)号:CN114725240A
公开(公告)日:2022-07-08
申请号:CN202210344738.4
申请日:2022-04-02
申请人: 广东高景太阳能科技有限公司 , 青海高景太阳能科技有限公司
摘要: 本发明公开的属于半导体制造技术领域,具体为一种硅晶体材料的厚片处理装置及处理方法,包括蓄水箱,所述蓄水箱的顶部设有箱盖,所述蓄水箱的底部固定安装若干支撑腿,所述蓄水箱的内侧固定安装温度传感器,所述蓄水箱上安装有超声波组件,且蓄水箱的底端安装有加热结构,所述加热结构包括加热组件、搅拌组件和驱动组件,所述蓄水箱的底部左侧安装加热组件,所述蓄水箱的底端内壁连接搅拌组件,所述蓄水箱的底部右侧安装驱动组件,本发明能有效去除硅料脏污盒胶,杜绝金属扩散,转运损耗,一方面能去除脏污、胶,又能有效的保证料的品质,较其他的洗料方法能够减少过程损耗,另外一方面可以减少生产辅材的损耗。
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公开(公告)号:CN114717661A
公开(公告)日:2022-07-08
申请号:CN202210258638.X
申请日:2022-03-16
申请人: 广东高景太阳能科技有限公司 , 青海高景太阳能科技有限公司
摘要: 本发明公开一种单晶炉热场的主加热器的拆装装置及方法,涉及半导体技术领域。包括横杆、第一定位杆、第二定位杆以及承重组件,第一定位杆的一端和第二定位杆的一端分别与横杆连接,第一定位杆的另一端和第二定位杆的另一端用于在拆装主加热器时,与单晶炉热场的电极孔、主加热器的脚板孔配合,承重组件与横杆转动连接,用于在拆装主加热器时,与主加热器的发热区凹槽配合。该拆装装置能够避免工作人员在拆卸主加热器时过近地接触主加热器,提高了拆卸操作的安全性和拆卸效率,还能使主加热器的拆装过程更加平稳。且在安装主加热器时,该拆装装置还能保证主加热器的脚板孔与电极孔的对中性,从而提高安装效率。
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公开(公告)号:CN114701083A
公开(公告)日:2022-07-05
申请号:CN202210628736.8
申请日:2022-06-06
申请人: 广东高景太阳能科技有限公司 , 青海高景太阳能科技有限公司
摘要: 本发明提供了一种硅片切割原料处理方法、系统、介质及设备。该方案包括对硅片的表面进行图像采集,并根据采集到的表面图像,获得所述硅片的表面光滑度和所述硅片上设定的实时测量点的灰度值;根据所述表面光滑度和所述实时测量点的灰度值,计算最大线痕深度;根据所述实时测量点的横纵坐标,计算线痕长度和线痕宽度;根据所述最大线痕深度和所述线痕宽度计算循环次数;根据所述线痕长度和所述线痕宽度计算颗粒大小修正值;根据所述循环次数和所述颗粒大小修正值对所述硅片进行表面处理,以完成硅片切割。本发明方案中,对原料来料进行表面处理,进而进行部分分离和循环料清洗,提升硅片的清洗使用率,降低成本,保障原料品质。
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公开(公告)号:CN114695083A
公开(公告)日:2022-07-01
申请号:CN202210322243.1
申请日:2022-03-29
申请人: 广东高景太阳能科技有限公司 , 青海高景太阳能科技有限公司
IPC分类号: H01L21/02
摘要: 本发明涉及晶硅处理技术领域,公开一种硅片清洗方法,硅片清洗方法包括:步骤S110:调配混酸溶液,混酸溶液由氢氟酸、硝酸以及纯水组成,氢氟酸、硝酸与纯水的体积比分别为1:(4‑6):(9‑11);步骤S120:将硅片添加至调配完毕的混酸溶液中,并持续进行搅拌;步骤S130:搅拌完成后的硅片倒入水槽中,对硅片进行沥酸处理,并对沥酸处理后的硅片进行冲水处理;步骤S140:冲水处理后的硅片进行鼓泡清洗;步骤S150:冲水处理后的硅片放置于超声清理设备中,对硅片进行超声水洗处理;本发明技术方案旨在避免对硅片清洗过程因反应过于剧烈而带来的安全隐患。
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