一种干法刻蚀设备石英部件表面金属硼氯化物的清洗方法

    公开(公告)号:CN117443796A

    公开(公告)日:2024-01-26

    申请号:CN202311414024.7

    申请日:2023-10-30

    发明人: 王志远 李文明

    摘要: 本发明是一种干法刻蚀设备石英部件表面金属硼氯化物的清洗方法,循环清洗骤如下:1)初次来料检查;2)纯水冲洗,并使用百洁布擦拭部件表面污染物;3)丙酮浸泡;4)高压水洗;5)烘烤干燥;6)二次来料检查石英部件工作面;7)用专用工装防护石英部件密封面;8)喷砂处理;9)检测粗糙度测量;10)去掉密封面防护;11)超声波清洗;12)100级无尘室超声波溢流清洗;13)烘烤干燥;14)UV灯检测;15)Particle检测;16)真空加防静电包装。本发明不使用酸碱化学品,清洗过程中不会对部件本身造成损伤,且清洗后酸碱化学品废液零排放,清洗后达到晶圆厂可上机使用。

    一种用于两轴数控机床随时检测被加工零件直径的测量装置及其方法

    公开(公告)号:CN117066971A

    公开(公告)日:2023-11-17

    申请号:CN202311016674.6

    申请日:2023-08-14

    IPC分类号: B23Q17/20

    摘要: 本发明涉及一种用于两轴数控机床随时检测被加工零件直径的测量装置及其方法及其方法,磁力底座通过连接板与滚珠丝杆导轨连接,滚珠丝杆导轨上安装有表座,用于安装通用表架,同时,磁力底座上部安装有水平尺,用于确定导轨使用中是否水平,保证测量数值准确,滚珠丝杆与摇臂手轮连接,通过转动摇臂手轮,带动丝杆导轨转动的同时,使表座沿导轨线性移动。本发明的装置,可实现高精度直径尺寸在两轴数控车床的在机快速测量。

    一种铝合金表面超纯超高抗蚀性及良好绝缘性处理方法

    公开(公告)号:CN116641111A

    公开(公告)日:2023-08-25

    申请号:CN202310324269.4

    申请日:2023-03-30

    发明人: 张少杰 何向军

    摘要: 本发明涉及表面处理技术领域,具体涉及一种铝合金表面超纯超高抗蚀性及良好绝缘性处理方法,该方法采用真空镀膜的方法在铝合金表面镀纯铝层,然后对所述致密铝膜表面进行硬质阳极氧化,最终在铝膜表面形成一层具有表面超纯、超高抗蚀性及良好绝缘性的氧化层。本发明克服铝合金基材本身杂质元素和合金元素的影响,克服铝合金本身热处理强化时显微组织的不均匀性的影响,与传统的铝合金硬质阳极氧化工艺相比,本发明形成的硬质阳极氧化层具有良好的外观质量、平整度、优良的界面结合力、超高的纯度和超强的抗腐蚀性及良好的绝缘性,可应用于半导体精密刻蚀反应腔体及其它3C领域具有重要意义。

    一种利用已有数据提升效率的方法

    公开(公告)号:CN116361500A

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN202210451256.9

    申请日:2022-04-26

    发明人: 李宗阳

    IPC分类号: G06F16/58 G06F16/535

    摘要: 本发明公开了一种利用已有数据提升效率的方法,实现PCP文件的自动创建,取消人工手动填写步骤和校验步骤。本发明包括以下步骤:步骤1:数据查找系统根据零件的图号和版本自动将前一工段已经做完的数据都取出来,不需要再重新做数据,通过利用已有的数据提升工作效率,杜绝手动录数据产生的错误。步骤2:通过已有数据筛选出需要的数据。步骤3:判断是否缺少需要的数据以及所选数据是否正确。步骤4:对筛选好的数据一键输出。本发明可以省去人工编写PCP的步骤,提高了工艺编制人员的工作效率。本发明相同的工作只有一个人去做,有效地降低了零件的制造成本。

    一种316L不锈钢上化学镀Ni-P合金工艺

    公开(公告)号:CN116356298A

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN202210327638.0

    申请日:2022-03-30

    发明人: 郭昊

    IPC分类号: C23C18/18 C23C18/50

    摘要: 本发明涉及一种316L不锈钢上化学镀Ni‑P合金工艺,其特征在于,包括以下步骤:步骤1)对不锈钢工件化学除油,除油水洗后工件表面产生水破现象;步骤2)将洁净的不锈钢工件在盐酸‑氯化镍槽液中化学活化;步骤3)在活化后,等到在不锈钢工件产生小气泡后,在活化溶液中进行阴极冲击镀镍处理;步骤4)将冲击镍后的不锈钢工件放入以六水合硫酸镍为镍源,次亚磷酸钠为还原剂的化学镍溶液中。生成的化学镀镍膜层结合力好,可以适应弯曲划痕等结合力要求。

    一种圆形机械零部件加工用定位工装

    公开(公告)号:CN116352600A

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN202211706974.2

    申请日:2022-12-29

    发明人: 丛雪 王作奇

    IPC分类号: B24B41/06 B24B41/00

    摘要: 本发明公开一种圆形机械零部件加工用定位工装,包括工作台,所述的工作台内设有底座,所述的底座上方滑动设有上座,所述的底座和上座侧面均设有斜坡,且底座和上座通过斜坡呈现凹槽状结构,所述的底座和上座设有弹簧圈,所述的弹簧圈上套接多个圆珠,所述的弹簧圈外侧设有圆形零件,所述的底座和工作台之间设有多个滚珠,所述的底座底部设有转轴,所述的转轴上设有从动齿轮,所述的工作台侧面设有主轴,所述的主轴上套接与从动齿轮相配合的转动齿轮。本发明的优点在于:底座和上座套接弹簧圈和圆柱,从圆环形零部件的内部进行撑起来,并且可以适用于不同尺寸的零部件,适用范围广;可以进行旋转共工作台,这样可以在打磨工序中进行使用。

    一种针对铣刀及钻头二次修磨的仿形磨刀机

    公开(公告)号:CN116352516A

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN202211697299.1

    申请日:2022-12-28

    摘要: 本发明公开一种针对铣刀及钻头二次修磨的仿形磨刀机,该设备由两个同步刃磨工位组成,左侧装夹实际需要刃磨的铣刀或钻头,右侧装夹标准铣刀或钻头。左侧砂轮为真实砂轮,右侧为固定模拟砂轮,操作者仅需通过手持右侧标准铣刀或钻头,在模拟砂轮上进行仿形移动,左侧铣刀或钻头即将会在连杆机构的带动下进行仿形修磨。整个修磨过程简单、安全,无需具备专业经验的操作者也可操作,而且采用实磨刀具与人工操作分离的方式,外加保护罩体,在高效刃磨的同时可有效的对操作人员起到安全防护的作用。

    一种圆环类零件自动上下料夹手
    18.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116352490A

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN202211668810.5

    申请日:2022-12-24

    IPC分类号: B23Q7/04 B25J15/06

    摘要: 本发明公开了一种圆环类零件自动上下料夹手,其涉及夹具技术领域,包括机器人过渡板、安装板、气动三爪卡盘和三组真空吸盘定位机构,所述机器人过渡板一侧与外部机器臂连接,另一侧与安装板连接,三组真空吸盘定位机构均匀的固定设置在安装板的侧壁一圈,所述气动三爪卡盘与安装板的底面固定连接;所述真空吸盘定位机构能够对工件上表面进行定位和吸附,所述气动三爪卡盘闭合时能够对进行居中对位和辅助夹持;本发明通过启动三爪卡盘对工件进行居中对位以及辅助夹紧,并通过真空吸盘定位机构对工件上表面进行吸附,不会出现工件的变形以及脱落的情况,提高工件的质量,保证夹持的稳定性。

    一种微纳米材料悬浮液的均匀处理方法

    公开(公告)号:CN116253319A

    公开(公告)日:2023-06-13

    申请号:CN202310127728.X

    申请日:2023-02-17

    发明人: 徐宏岩 丛雪

    IPC分类号: C01B32/194 C01B32/184

    摘要: 本发明涉及微纳米材料技术领域,且公开了一种微纳米材料悬浮液的均匀处理方法,利用甲醇钠活化氧化石墨烯表面的羟基,生成活性的醇钠基团,然后与环氧氯丙烷进行反应,得到环氧改性石墨烯,从而在石墨烯表面接枝了丰富的环氧基团,进一步与亚氨基二乙酸的亚氨基发生开环加成反应,此反应过程在,环氧基团开环生成羟基,得到二乙酸基石墨烯,从而在石墨烯中引入了丰富的亲水性羧基和羟基,提高了石墨烯的亲水性,并经过超声处理,使石墨烯在水介质中具有优异的分散性,克服了石墨烯的团聚问题,拓展了石墨烯的发展和应用。

    一种半导体水冷环零件加工工艺方法

    公开(公告)号:CN116140799A

    公开(公告)日:2023-05-23

    申请号:CN202310177629.2

    申请日:2023-02-28

    IPC分类号: B23K26/21

    摘要: 本发明公开了一种半导体水冷环零件加工工艺方法,半导体水冷环零件包含水冷环主体和一个盖板两部分,主体上开有环形槽特征,盖板置于环槽内,通过焊接方式形成密封的水道结构,加工方法包括两次机加工和一次焊接。其中,第一次机加工分别加工水冷环主体与盖板,在水冷环主体正、反两面分别加工出环形槽特征,焊接时在两面均装配盖板,分别焊接正、反两面,第二次机加工将焊接后的零件在主体厚度方向中心位置采用线切割方式切开,形成两个水冷环零件。本发明的工艺方法在焊接时为两面焊,可有效减小焊接变形,焊接后无需矫形,同时一次焊接后经过机加工可形成两件水冷环,可提高生产效率。