公开(公告)号：CN213581020U

公开(公告)日：2021-06-29

申请号：CN201922236434.2

申请日：2019-12-13

Applicant: 中北大学

Inventor： 张瑞 ,  秦世洋 ,  李孟委 ,  金丽

IPC: G01P15/105

Abstract: 本实用新型属微惯性导航的技术领域，具体涉及一种隧道磁阻检测的三轴加速度计装置。一种隧道磁阻检测的三轴加速度计装置，主要结构由键合基板、支撑框架、敏感质量块、检测梁、连接块、悬臂梁、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在支撑框架上设置敏感质量块、检测组合梁、悬臂梁，在敏感质量块上设置检测磁体，所述敏感质量块、及位于敏感质量块两侧的检测组合梁共同构成矩形体检测结构，所述矩形体检测结构位于三轴加速度计装置整体结构检测方向的轴线方向上，实现高精度的加速度检测。此装置结构对微弱磁场变化具有高灵敏特性，设计合理、简单，易单片集成，适合微型化。

公开(公告)号：CN212158620U

公开(公告)日：2020-12-15

申请号：CN202020165659.3

申请日：2020-02-13

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  郝飞帆 ,  张瑞

IPC: G01C19/5726 ,  G01C19/5733

Abstract: 一种光栅面内检测的解耦式全对称微陀螺，包括：键合基板，支撑框架，驱动质量块，检测质量块，中心质量块，驱动组件和检测组件；支撑框架设置在键合基板上，支撑框架内侧面设有驱动座槽和检测座槽，驱动质量块分别设置在驱动座槽内；驱动质量块远离支撑框架中心一侧设置有可动梳齿，驱动座槽内对应可动梳齿的位置设置有固定梳齿，可动梳齿与固定梳齿交叉配合；检测质量块分别设置在检测座槽内，检测质量块上设置有可动光栅；中心质量块设置在支撑框架中心位置，中心质量块通过驱动组件与相邻的检测质量块连接，中心质量块通过检测组件与相邻的驱动质量块连接；键合基板上设置有凹槽，凹槽内两端对应可动光栅的位置对称设置有固定光栅。

公开(公告)号：CN211717458U

公开(公告)日：2020-10-20

申请号：CN201922243807.9

申请日：2019-12-13

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  郝飞帆 ,  张瑞

IPC: G01C19/5656 ,  G01C19/5663

Abstract: 本实用新型公开了一种内驱外检式平面线圈解耦微陀螺，包括：下基板，设置在下基板上的键合框体以及设置在键合框体上的上部支撑框，所述上部支撑框内侧的相对两端分别设置有检测质量块，所述检测质量块两侧通过检测组合梁与所述上部支撑框连接，两个所述检测质量块之间设置有驱动质量块，所述驱动质量块位于上部支撑框中心，所述驱动质量块通过驱动组合梁与所述检测质量块连接。本实用新型的微机械陀螺仪，其整体结构对称，采用内部驱动带动外部质量块检测，起到正交解耦效果，利用平面线圈动生电动势效应检测微弱柯式力，位移灵敏度高，结构合理、紧凑，抗电磁干扰能力强，且具有噪声小、稳幅驱动的优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN210570714U

公开(公告)日：2020-05-19

申请号：CN201920541160.5

申请日：2019-04-19

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  张瑞 ,  丁希聪 ,  秦世洋

IPC: G01C19/5656

Abstract: 一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置,主要结构由键合基板、微陀螺结构、磁阻基板三部分组成，其中键合基板设置于微陀螺结构下方，微陀螺结构上表面中心位置设置有蛇形通电线圈，磁阻基板设置于微陀螺结构上方，其中心设置有隧道磁阻元件，隧道磁阻元件与蛇形通电线圈相对应，通过敏感到蛇形通电线圈产生的正弦磁场变化，自身阻值发生剧烈改变，进而实现对微陀螺科氏力的检测。此装置整体结构设计合理紧凑，创新性的将蛇形通电线圈应用于微陀螺中，此外还采用高灵敏的隧道磁阻元件检测微弱磁场变化，预期可将微陀螺的检测精度提高一至两个数量级，整体结构设计合理，工艺制造简单，可实现性强且容易检测。